一种气相沉积炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115852330A(43)申请公布日2023.03.28(21)申请号202211637241.8(22)申请日2022.12.20(71)申请人浙江锂宸新材料科技有限公司地址313000浙江省湖州市长兴县经济技术开发区高铁路669号国家大学科技园12号楼236室申请人临沂东木窑炉设备有限公司(72)发明人杜宁张金来王振杨传昌宋信信叶天成(74)专利代理机构浙江千克知识产权代理有限公司33246专利代理师周帅(51)Int.Cl.C23C16/26(2006.01)C23C16/455(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图4页(54)发明名称一种气相沉积炉(57)摘要本发明公开一种气相沉积炉包括回转炉体、炉体上框架、炉体下座；所述回转炉体沿轴线方向可转动的固定到炉体上框架上，所述炉体上框架可绕其一端可转动地连接到炉体下座；所述回转炉体为内部中空的筒形结构，内部设置有多组带料板，包括出料带料板、至少一组对称搅拌带料板组。本发明通过特殊设计的炉内带料板结构能够保证物料在炉管内部随着炉体转动实现轴与向径向同步轨迹运动；微负角度设计与带料板结合能够实现物料在炉内来回流转，使物料受热与炉内气氛接触的相对均匀，保证物料一致性；通过进气的花洒式结构，可以保障气体与物料的接触更加充分，实现沉积的均匀性。CN115852330ACN115852330A权利要求书1/1页1.一种气相沉积炉，其特征在于，包括回转炉体、炉体上框架、炉体下座；所述回转炉体沿轴线方向可转动的固定到炉体上框架上，所述炉体上框架可绕其一端可转动地连接到炉体下座；所述回转炉体为内部中空的筒形结构，内部设置有多组带料板，所述带料板包括出料带料板、至少一组对称搅拌带料板组。2.根据权利要求1所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述气相沉积炉还包括有致动杆，所述炉体上框架下部一端同炉体下座上部一端铰接，另一端同致动杆一端铰接，所述致动杆的另一端同炉体下座另一端铰接。3.根据权利要求2所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述致动杆为电动推杆、液压油缸中任一种，所述致动杆为一根或多根，沿回转炉体轴线对称分布。4.根据权利要求1所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述回转炉体设置有圆台状腔体的出料端，其轴线同所述回转炉体轴向重合，在所述出料端内壁上设置有至少一个同出料端轴线存在夹角的出料带料板。5.根据权利要求1所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述对称搅拌带料板组包括中间带料板和对称设置在中间带料板两侧的两端带料板；所述中间带料板平行于回转炉体的轴线，所述两端带料板同回转炉体的轴线设置有夹角。6.根据权利要求5所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述两端带料板包括多个带料子板，所述带料子板相互平行设置，沿回转炉体周向方向间隔布置。7.根据权利要求6所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述带料子板间隔角度为固定角度或相邻两块带料子板中其中一块带料子板底边最高点在上一块带料子板底边最低点和中点之间。8.根据权利要求1所述一种气相沉积炉，其特征在于，所述回转炉体还设置有进气管，所述进气管设置在回转炉体端部的轴线处，伸入到回转炉体内部，所述进气管为封闭的圆筒结构，侧面设置有多组进气孔。2CN115852330A说明书1/4页一种气相沉积炉技术领域[0001]本发明涉及热处理设备技术领域，具体为一种气相沉积炉。背景技术[0002]气相沉积技术是一种发展迅速、应用广泛的表面成膜技术，它不仅可以用来制备各种特殊力学性能（如超硬、高耐蚀、耐热和抗氧化等）的薄膜涂层，而且还可以用来制备各种功能薄膜材料和装饰薄膜涂层等。在锂电池材料的处理中也广泛使用，比如进行碳、硅或其他成本的气相沉积。[0003]在锂电池领域气相沉积主要应用于粉状原材料，如何保障气相沉积得充分、均匀、高效是生产过程中需要解决的主要问题，特别是对于石墨等较为轻质的原材料，如何避免原材料在沉积过程中成团导致的沉积不均匀是生产中的难点。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种气相沉积炉，以解决现有技术中存在的问题。[0005]为了实现上述目的，本发明的技术方案提供了一种气相沉积炉，包括回转炉体、炉体上框架、炉体下座；所述回转炉体沿轴线方向可转动的固定到炉体上框架上，所述炉体上框架可绕其一端可转动地连接到炉体下座；所述回转炉体为内部中空的筒形结构，内部设置有多组带料板，包括出料带料板、至少一组对称搅拌带料板组。[0006]优选的，所述气相沉积炉还包括有致动杆，所述炉体上框架下部一端同炉体下座上部一端铰接，另一端同致动杆一端铰接，所述致动杆的另一端同炉体下座另一端铰接。[0007]优选的，所述致动杆为电动推杆、液压油缸中任一种，所述致动杆为一根或多根，沿回转炉体轴线对称分布。[0008]优选