退火装置及退火方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109371472A(43)申请公布日2019.02.22(21)申请号201710685367.5(22)申请日2017.08.11(71)申请人中天科技精密材料有限公司地址226010江苏省南通市开发区中天路3号申请人江苏中天科技股份有限公司(72)发明人王建卫沈一春庄卫星张贤根施敏丰(74)专利代理机构深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司44334代理人谢志为(51)Int.Cl.C30B33/02(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图3页(54)发明名称退火装置及退火方法(57)摘要一种退火装置包括：基座；设置在所述基座上的炉膛；两炉门，所述两炉门分别设置在所述炉膛两相对侧，所述炉门关闭时能够封闭所述炉膛；两支架台，所述两支架台设置于所述基座上，且分别用于放置待退火的石英棒；其中当所述两炉门均开启时，所述两支架台中的一个能够从两炉门中的其中一个移进所述炉膛而两支架台中的另一个从两炉门中的另一个移出所述炉膛。本发明还提供一种退火方法，所述退火装置及退火方法能够提高退火效率。CN109371472ACN109371472A权利要求书1/2页1.一种退火装置，其特征在于，包括：基座；设置在所述基座上的炉膛；两炉门，所述两炉门分别设置在所述炉膛两相对侧，所述炉门关闭时能够封闭所述炉膛；两支架台，所述两支架台设置于所述基座上，且分别用于放置待退火的石英棒；其中当所述两炉门均开启时，所述两支架台中的一个能够从两炉门中的其中一个移进所述炉膛而两支架台中的另一个从两炉门中的另一个移出所述炉膛。2.如权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述炉门能够相对所述炉膛升降。3.如权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述炉门包括门体部，门体驱动部、门体传动部及轨道，所述门体驱动部能够驱动所述门体传动部带动所述门体部相对所述炉膛上下滑动以开启或封闭所述炉膛。4.如权利要求3所述的退火装置，其特征在于，所述门体部包括门体及设置在所述门体远离所述炉膛内侧的一侧的门体保温层，所述门体保温层能够防止所述炉膛的温度传递至所述炉膛外。5.如权利要求3所述的退火装置，其特征在于，所述门体传动部包括链轮和链条，所述链轮能够在所述门体驱动部的驱动下转动，所述链条设置在所述链轮上，且一端与所述门体部固定连接，所述链条能够随所述链轮的转动上下移动，从而带动所述门体部相对所述炉膛上下移动。6.如权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述退火装置还包括台车，所述台车用于承载所述支架台，且能够相对所述炉膛移动以将所述支架台移进或移出所述炉膛。7.如权利要求6所述的退火装置，其特征在于，所述台车包括滑动部，所述基座上设置有导轨，所述滑动部能够与所述导轨配合以使得所述台车相对所述基座滑动以将所述支架台移进或移出所述炉膛。8.如权利要求7所述的退火装置，其特征在于，所述台车还包括台车驱动部及台车传动部，所述台车驱动部能够驱动所述台车传动部带动所述台车相对所述基座滑动。9.一种退火方法，其特征在于，利用权利要求1～8任一项所述的退火装置，所述方法包括：在第一支架台上放置待退火石英棒；开启第一炉门，将所述第一支架台移入所述炉膛；及升温所述炉膛以对所述第一支架台上的石英棒进行退火处理；在对第一支架台上的石英棒进行退火处理的同时，在第二支架台上放置待退火石英棒；第一支架台上的石英棒完成退火处理后，同时开启第一炉门和第二炉门，将所述第一支架台从所述第二炉门移出，同时将所述第二支架台从所述第一炉门移入，关闭第一炉门和第二炉门以对所述第二支架台上的石英棒进行退火处理。10.如权利要求9所述的退火方法，其特征在于，所述退火方法还包括：在对所述第二支架台上的石英棒进行退火处理的同时，使所述第一支架台上的石英棒自然冷却，然后移除所述第一支架台上的石英棒后重新放置待退火的石英棒；及2CN109371472A权利要求书2/2页第二支架台上的石英棒完成退火处理后，同时开启第一炉门和第二炉门，将所述第二支架台从所述第一炉门移出，同时将所述第一支架台从所述第二炉门移入，关闭第一炉门和第二炉门以对所述第一支架台上的石英棒进行退火处理。11.如权利要求9所述的退火方法，其特征在于，所述退火处理包括：升温到第一预设温度，保持一第一预设时间，然后再升温到第二预设温度，保持一第二预设时间完成退火；其中退火完成后，开启所述第一炉门和所述第二炉门时，所述炉膛内温度降至所述第一预设温度。3CN109371472A说明书1/7页退火装置及退火方法技术领域[0001]本发明涉及一种退火装置及其退火方法，尤其涉及一种用于给石英棒退火的退火装置及其退火方法。背景技术[0002]石英棒退火装置是一种新型换热设备，将石英棒缓慢加热到一定温度，保持足够时