一种退火装置及退火方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115472496A(43)申请公布日2022.12.13(21)申请号202211150385.0H01L51/48(2006.01)(22)申请日2022.09.21C30B33/02(2006.01)(71)申请人华能新能源股份有限公司地址100036北京市海淀区复兴路甲23号申请人中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司华能青海发电有限公司(72)发明人肖平赵建勇杨永军赵东明赵志国李新连刘祥(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227专利代理师姚璐华(51)Int.Cl.H01L21/324(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图3页(54)发明名称一种退火装置及退火方法(57)摘要本申请提供了一种退火装置及退火方法，其中退火装置包括：退火炉，设置在所述退火炉内的调节装置，用于调节所述退火炉内部的工作参数，其中，所述工作参数包括温度参数和/或湿度参数。由于退火炉内存在调节装置，能够基于需求调整退火炉内部的工作参数，在退火的各个阶段都能提供合适的工作参数，进而保证了退火效果。CN115472496ACN115472496A权利要求书1/2页1.一种退火装置，其特征在于，包括：退火炉；设置在所述退火炉内的调节装置，用于调节所述退火炉内部的工作参数；其中，所述工作参数包括温度参数和/或湿度参数。2.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述退火炉具有炉腔，所述炉腔的底部为相对于所述炉腔的侧壁可以分离的加热板，所述加热板朝向所述炉腔的一侧用于放置待处理基片；其中，所述调节装置设置在所述炉腔的顶部，用于调节所述炉腔内的工作参数。3.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述退火炉具有隔离组件，所述隔离组件具有第一状态和第二状态，在所述第一状态时，在所述炉腔的底部指向所述炉腔的顶部方向上，所述隔离组件用于将所述炉腔隔离为第一空间和第二空间，在所述第二状态时，所述隔离组件能够使得所述第一空间和所述第二空间连通。4.根据权利要求3所述的退火装置，其特征在于，所述炉腔具有相对的第一侧壁和第二侧壁；所述隔离组件包括：第一子隔离组件，所述第一子隔离组件的一端可转动固定在所述第一侧壁；第二子隔离组件，所述第二子隔离组件的一端可转动固定在所述第二侧壁；在所述第一状态，所述第一子隔离组件的另一端与所述第二子隔离组件的另一端在所述方向上重叠，以将所述炉腔隔离为所述第一空间和所述第二空间；在所述第二状态，所述第一子隔离组件转动贴合到所述第一侧壁，所述第二子隔离组件转动贴合到所述第二侧壁。5.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述调节装置包括：传感器组件，用于采集所述炉腔内的工作参数；控制组件，用于控制所述炉腔内的工作参数。6.根据权利要求5所述的退火装置，其特征在于，所述传感器组件包括：湿度计，用于采集所述炉腔内的湿度参数；温度计，用于采集所述炉腔内的湿度参数。7.根据权利要求5所述的退火装置，其特征在于，所述控制组件包括：加热管，用于控制所述炉腔内的温度参数；位于所述炉腔底部的进气口以及出气口，所述进气口用于向所述炉腔内输入加湿气体，所述出气口用于排出所述炉腔内的气体，通过所述进气口以及所述出气口控制所述炉腔内的湿度参数。8.根据权利要求7所述的退火装置，其特征在于，还包括：排气阀，位于所述炉腔外部，与所述出气口连通；进气阀，位于所述炉腔外部，与所述进气口连通。9.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述加热板与所述炉腔的侧壁之间具有密闭垫，所述密闭垫用于将所述炉腔密闭。10.根据权利要求2所述的退火装置，其特征在于，所述退火炉顶部具有机械控制组件，用于控制所述炉腔的侧壁和顶部相对所述加热板移动。11.一种退火方法，其特征在于，包括：2CN115472496A权利要求书2/2页采用如权利要求1‑10任一项所述的退火装置对待处理基片进行退火处理。12.根据权利要求11所述的退火方法，其特征在于，所述待处理基片需要多个工作参数不同的退火阶段；所述退火方法包括：在不同的退火阶段，分别采用独立的所述退火装置对所述待处理基片进行退火处理；其中，在前一退火阶段结束前，通过后一退火阶段所对应的退火装置预先控制产生所述后一退火阶段所需的工作参数。3CN115472496A说明书1/7页一种退火装置及退火方法技术领域[0001]本申请涉及半导体处理领域，更具体的说是涉及一种退火装置及退火方法。背景技术[0002]在半导体行业中，对于半导体基片的处理包括成膜处理、氧化扩散处理、改质处理、退火处理等各种热处理。在实际生产为了获取特定的性质，通常会对半导体基片进行离子注入，而退火处理能够在特定的工作参数下消除印离子注入产生的组织缺陷，