一种低压扩散炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111521020A(43)申请公布日2020.08.11(21)申请号202010402807.3E05F15/53(2015.01)(22)申请日2020.05.13E05F15/40(2015.01)(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人孙朋涛桂晓波(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人彭瑞欣姜春咸(51)Int.Cl.F27D1/18(2006.01)F27D19/00(2006.01)C30B31/18(2006.01)H01L21/22(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图3页(54)发明名称一种低压扩散炉(57)摘要本发明提供一种低压扩散炉，包括基座、炉门、炉门驱动组件、控制单元，所述控制单元用于控制所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启或关闭。该低压扩散炉还包括至少一个第一接触开关和/或至少一个第二接触开关，所述第一接触开关与基座固定连接，所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述炉门驱动组件接触并触发所述第一接触开关，所述第一接触开关在被触发时向所述控制单元发出关门确认信号；和/或所述第二接触开关与基座固定连接，所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述炉门驱动组件接触并触发所述第二接触开关，所述第二接触开关在被触发时向所述控制单元发出开门确认信号。本发明提供的低压扩散炉提高了确认炉门位置的准确性和设备安全性。CN111521020ACN111521020A权利要求书1/2页1.一种低压扩散炉，所述低压扩散炉包括基座、炉门、炉门驱动组件和控制单元，所述炉门驱动组件设置在所述基座上，所述控制单元用于控制所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启或关闭，其特征在于，所述低压扩散炉还包括至少一个第一接触开关和/或至少一个第二接触开关；其中，所述第一接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述炉门驱动组件与所述第一接触开关接触并触发所述第一接触开关，所述第一接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出关门确认信号；和/或所述第二接触开关与所述基座固定连接，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述炉门驱动组件与所述第二接触开关接触并触发所述第二接触开关，所述第二接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出开门确认信号。2.根据权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉门驱动组件包括驱动机构和连接件，所述驱动机构与所述基座固定连接，所述驱动机构通过所述连接件与所述炉门连接，且能够通过所述连接件驱动所述炉门开启或关闭；所述低压扩散炉包括至少一个所述第一接触开关，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门关闭时，所述连接件能够触发所述第一接触开关。3.根据权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉门驱动组件包括驱动机构和连接件，所述驱动机构与所述基座固定连接，所述驱动机构通过所述连接件与所述炉门连接，且能够通过所述连接件驱动所述炉门开启或关闭；所述低压扩散炉包括至少一个所述第二接触开关，当所述炉门驱动组件驱动所述炉门开启时，所述连接件能够触发所述第二接触开关。4.根据权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉包括扩散炉管，所述扩散炉管设置在所述基座上的安装位置，所述炉门选择性地封闭所述扩散炉管的管口；所述低压扩散炉还包括第三接触开关，所述第三接触开关设置在所述扩散炉管的管口位置处，在所述扩散炉管位于所述安装位置时，所述扩散炉管管口处的侧壁接触并触发所述第三接触开关，所述第三接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出管口正常信号。5.根据权利要求4所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉还包括第四接触开关，所述第四接触开关设置在所述扩散炉管的尾部，在所述扩散炉管的管口沿所述扩散炉管的长度方向运动并脱离所述安装位置时，所述扩散炉管尾部的侧壁能够接触并触发所述第四接触开关，所述第四接触开关能够在被触发时向所述控制单元发出尾部异常信号。6.根据权利要求4或5所述的低压扩散炉，其特征在于，所述低压扩散炉还包括第一抽气管和第一压力传感器，所述第一抽气管与所述扩散炉管的尾部连通，用于抽出所述扩散炉管中的气体，所述第一压力传感器与所述第一抽气管连通，所述第一压力传感器用于检测所述第一抽气管中的气压并将检测到的第一气压值发送至所述控制单元；所述控制单元用于在所述第一压力传感器检测到的第一气压值超出预设气压范围时，控制所述炉门驱动组件停止驱动所述炉门运动。7.根据权利要求6所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉门具有炉门内腔，所述低压扩散炉还包括第二抽气管和第二压力传感器，所述第二抽气管与所述炉门内腔连通，用于抽出