一种低压扩散炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110172737A(43)申请公布日2019.08.27(21)申请号201811651087.3(22)申请日2018.12.31(71)申请人天合光能股份有限公司地址213022江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号(72)发明人丁志强刘列彭云(74)专利代理机构浙江永鼎律师事务所33233代理人郭小丽(51)Int.Cl.C30B31/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称一种低压扩散炉(57)摘要本发明公开了一种低压扩散炉，包括炉体，所述炉体包括炉管以及炉门，还包括真空泵、驱动炉门开启的退出推进气缸组件以及驱动炉门关闭的压紧松开气缸组件，所述炉管的尾部包括两个接口，其中一个接口与所述真空泵之间通过密封管道连接，另一个接口为进气源口，与外部管路连接。本发明可以充分利用现有闲置的常压扩散炉，将其改进为低压扩散炉，大大降低了成本，并且使得资源得到充分利用。CN110172737ACN110172737A权利要求书1/1页1.一种低压扩散炉，包括炉体，所述炉体包括炉管以及炉门，其特征在于，还包括真空泵、驱动炉门开启的退出推进气缸组件以及驱动炉门关闭的压紧松开气缸组件，所述炉管的尾部包括两个接口，其中一个接口与所述真空泵之间通过密封管道连接，另一个接口为进气源口，与外部管路连接。2.如权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述真空泵采用变频自动控制的耐腐蚀隔膜泵。3.如权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述外部管路上设置有控制气源压力大小的压力控制器。4.如权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉门包括炉门主体，所述炉门主体上设置有密封圈。5.如权利要求4所述的低压扩散炉，其特征在于，所述密封圈上设置有隔辐射传热隔块。6.如权利要求1所述的低压扩散炉，其特征在于，所述炉管的上套设于水套，所述水套上设置有供冷却水通过的水路结构。2CN110172737A说明书1/3页一种低压扩散炉技术领域[0001]本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种低压扩散炉。背景技术[0002]在当前光伏电池的制作过程中，PN结的生成主要是利用传统常压扩散炉，但随着电池工艺技术和相关材料的发展，低压扩散工艺的优势越来越明显，并且进来新建的电池车间基本都以采购低压扩散炉为主。[0003]但在前几年光伏行业高速发展过程中，各电池制造厂都采购了大量的常压扩散炉，若重新采购低压扩散炉，将消耗大量的成本，而且之前使用的常压扩散炉也造成大量的资源浪费。所以目前针对常压扩散炉改造成能进行低压扩散工艺的改造是各设备厂商技术人员研究的一个方向，并且需要保证改造后的工艺效果与新采购的低压扩散炉不能有明显的差异。发明内容[0004]为了解决上述问题，本发明提供了一种扩散炉，将现有闲置的常规的常压扩散炉改进成低压扩散炉。[0005]本发明的技术方案为：一种低压扩散炉，包括炉体，所述炉体包括炉管以及炉门，还包括真空泵、驱动炉门开启的退出推进气缸组件以及驱动炉门关闭的压紧松开气缸组件，所述炉管的尾部包括两个接口，其中一个接口与所述真空泵之间通过密封管道连接，另一个接口为进气源口，与外部管路连接。[0006]本发明中在现有常规的常压扩散炉的炉管尾部增加真空系统，以对扩散炉内部进行抽真空，并保持到设定值的真空值，例如可以为100mbar左右。本发明将在常压扩散炉的炉管尾部的三个接口中的两个接口，其中一个接口与所述真空泵之间通过密封管道连接，另一个接口为进气源口，与外部管路连接。[0007]另外现有常压扩散炉的炉门的开关为一个步进电机通过旋转机构连接，带动炉门进行90度的转动，以达到开和关的效果，本发明中炉门由于要考虑到隔热(保护高温密封圈)和水冷的目的，本发明中通过退出推进气缸组件驱动炉门开启，以及压紧松开气缸组件驱动炉门关闭，本发明中退出推进气缸组件和压紧松开气缸组件为现有常规结构，即本发明中通过两个驱动结构来进行炉门的开启和关闭的驱动。[0008]由于以上跟原有工艺流程增加或是修改了炉门的开关控制和抽真空及维持真空值的功能，所以需要设计增加一套外部控制系统，并与现有控制系统进行无缝通信对接。[0009]作为优选，所述真空泵采用变频自动控制的耐腐蚀隔膜泵。[0010]作为优选，所述外部管路上设置有控制气源压力大小的压力控制器。[0011]作为优选，所述炉门包括炉门主体，所述炉门主体上设置有密封圈。[0012]作为优选，所述密封圈上设置有隔辐射传热隔块。[0013]作为优选，所述炉管的上套设于水套，所述水套上设置有供冷却水通过的水路结3CN110172737A说明书2/3页构。水套上的水路结构可对密封作用的密封圈进行冷却的作用。[0014]驱动炉门开启的退