气相沉积炉、其使用方法及气相沉积系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110629205A(43)申请公布日2019.12.31(21)申请号201911034660.0(22)申请日2019.10.29(71)申请人苏州创瑞机电科技有限公司地址215000江苏省苏州市工业园区苏虹东路17号2#厂房(72)发明人刘鑫培朱小刚刘慧敏(74)专利代理机构南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32297代理人陆明耀顾祥安(51)Int.Cl.C23C16/513(2006.01)C23C16/455(2006.01)C23C16/52(2006.01)权利要求书1页说明书7页附图12页(54)发明名称气相沉积炉、其使用方法及气相沉积系统(57)摘要本发明揭示了气相沉积炉、其使用方法及气相沉积系统，其中气相沉积炉，包括罩体及盖板，它们均连接一轴，罩体的侧壁上设置有第一气道、第二气道及第一电极及第二电极，第一电极电连接架设于罩体内的导电工件放置架，第二电极电连接位于罩体内且与导电工件放置架位置对应的导电板；盖板连接驱动其绕轴转动且在第一状态和第二状态之间切换的翻转驱动机构，第一状态下，盖板密封所述罩体的开口并与罩体形成一密封腔，第二状态下，盖板使罩体的开口保持敞开状态。本方案通过罩体与盖板形成腔体，且盖体可相对罩体翻转，极大的方便进行上下料作业，不需要采用微波发生器作为能量来源，有利于降低成本，盖板可以自动打开和关闭，效率高，易于操作。CN110629205ACN110629205A权利要求书1/1页1.气相沉积炉，其特征在于：包括罩体（1）及盖板（2），它们均连接一轴（3），所述罩体（1）的侧壁上设置有第一气道（4）、第二气道（5）及用于连接电源的第一电极（6）及第二电极（7），所述第一电极（6）电连接架设于所述罩体（1）内的导电工件放置架（8），所述第二电极（7）电连接位于所述罩体（1）内且与所述导电工件放置架（8）位置对应的导电板（9）；所述盖板（2）连接驱动其绕所述轴（3）转动且在第一状态和第二状态之间切换的翻转驱动机构（10），第一状态下，所述盖板（2）密封所述罩体（1）的开口并与罩体（1）形成一密封腔，第二状态下，所述盖板（2）使所述罩体（1）的开口保持敞开状态。2.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于：所述罩体（1）开口端的端面（11）处卡设有密封圈（20）。3.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于：所述第一气道（4）和第二气道（5）设置于罩体（1）相对的两个侧板（12）上，所述第一气道（4）和第二气道（5）均包括从侧板（12）的外表面向内延伸且长度小于侧板厚度的气孔（41、51），所述气孔（41、51）的内端与侧板内壁处形成的腰形槽（42、52）连通，所述腰形槽（42、52）的槽口处封盖有与气孔（41、51）的内端保持间隙的匀气板（43、53），所述匀气板（43、53）上形成有一组小气孔（44、54）。4.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于：所述第一电极（6）及第二电极（7）包裹于密封设置在底板（13）上的绝缘套（61、71）及与所述绝缘套（61、71）连接的绝缘盖帽（62、72）内，所述绝缘盖帽（62、72）位于罩体外且其上形成有从其外壁延伸到第一电极（6）及第二电极（7）处的走线通道（63、73）。5.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于：所述第一电极（6）的内端通过埋设于绝缘支座（30）上的导电件（40）连接所述导电工件放置架（8）。6.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于：所述导电工件放置架（8）包括矩形框架（81），所述框架内设置有一组横杆（82）和/或竖杆，每个所述横杆（82）和/或竖杆上设置有一排工件挂钩（83）。7.根据权利要求1所述的气相沉积炉，其特征在于：所述盖板（2）上设置有观察窗（50）。8.根据权利要求1-7任一所述的气相沉积炉，其特征在于：所述翻转驱动机构（10）包括一伸缩装置（101），所述伸缩装置（101）的伸缩端枢轴连接一传动杆（102）的一端，所述传动杆（102）的另一端与所述轴（3）固定连接，所述轴（3）的两端分别通过摆臂（103）连接所述盖板（2）的底部。9.气相沉积炉的使用方法，其特征在于：包括如下步骤：S1,提供如权利要求1-8任一所述的气相沉积炉；S2,翻转驱动机构（10）启动，打开所述盖板（2）使罩体（1）的开口打开，S3,先将导电工件放置架（8）固定在罩体内的绝缘支座（30、60）上与第一电极连接，再将一组待沉积工件挂设在导电工件放置架上或先将待沉积工件挂设于导电工件放置架（8）上后，再将导电工件放置架（8）固定在罩体内的绝缘支座（30、60）上与第一电极连接；S4,翻转驱动机构（10）启动使盖板（2）与罩体（1）密封连接，