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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109470563A(43)申请公布日2019.03.15(21)申请号201811365132.9(22)申请日2018.11.16(71)申请人中国科学技术大学地址230026安徽省合肥市包河区金寨路96号(72)发明人李良彬陈晓伟孟令蒲王道亮叶克张文文严琦(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227代理人李海建(51)Int.Cl.G01N3/08(2006.01)B29C55/12(2006.01)B29L7/00(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图6页(54)发明名称双向拉伸装置及其方法(57)摘要本发明公开了一种双向拉伸装置及其方法,双向拉伸装置包括:拉伸机构,拉伸机构包括多个用于固定样品的夹具、第一拉伸部件、第二拉伸部件及驱动机构;用于检测样品拉伸力的应力采集系统;双层框架结构,其包括相互叠加的第一框架及第二框架,拉伸机构位于温度控制炉中,第二框架上设置有观察框;与观察框对应设置的X射线探测器;X-Z方向位移支架具有X方向调节装置及Z方向调节装置;控制及采集系统包括控制驱动机构运行的驱动控制单元、采集系统检测得到的拉伸力数值的应力应变采集单元及与X射线探测器连接的X射线散射图谱采集单元。上述双向拉伸装置,可以实现高通量的加工-结构-性能关系表征,从而为高性能薄膜生产提供强有力的指导。CN109470563ACN109470563A权利要求书1/2页1.一种双向拉伸装置,其特征在于,包括:拉伸机构(1),所述拉伸机构(1)包括多个用于固定样品的夹具(11)、驱动所述夹具(11)沿第一方向拉伸所述样品的第一拉伸部件(12)、驱动所述夹具(11)沿第二方向拉伸所述样品的第二拉伸部件(13)及调节所述第一拉伸部件(12)及所述第二拉伸部件(13)拉伸力的驱动机构(3),所述第一方向与所述第二方向垂直;用于检测所述样品拉伸力的应力采集系统(2);双层框架结构,其包括相互叠加的第一框架及第二框架,所述第一框架与所述第二框架之间形成温度控制炉,所述拉伸机构(1)位于所述温度控制炉中,所述第二框架上设置有所述拉伸机构(1)的样品安装部位对应设置的观察框(5);与所述观察框(5)对应设置的X射线探测器(6);调节所述双层框架结构沿平行于所述样品所在平面运动的X-Z方向位移支架(4),所述X-Z方向位移支架(4)具有调节所述双层框架结构水平运动的X方向调节装置及调节所述双层框架结构竖直运动的Z方向调节装置;控制及采集系统(7),所述控制及采集系统(7)包括控制所述驱动机构(3)运行的驱动控制单元、采集所述应力采集系统(2)检测得到的拉伸力数值的应力应变采集单元及与所述X射线探测器(6)连接的X射线散射图谱采集单元。2.如权利要求1所述的双向拉伸装置,其特征在于,所述第一拉伸部件(12)及所述第二拉伸部件(13)的数量均为两个;所述夹具(11)为多个且分为四组,四组所述夹具(11)分别与两个所述第一拉伸部件(12)及两个所述第二拉伸部件(13)一一对应;所述驱动机构(3)能够单独控制各个所述第一拉伸部件(12)及所述第二拉伸部件(13)的运动,实现单向受限、单向非受限、双向同步及双向异步的拉伸模式。3.如权利要求2所述的双向拉伸装置,其特征在于,两个所述第一拉伸部件(12)及两个所述第二拉伸部件(13)呈“井”字布置;所述第一拉伸部件(12)及所述第二拉伸部件(13)的相交处设置有滑块(14),所述滑块(14)能够沿所述第一拉伸部件(12)及所述第二拉伸部件(13)滑动;相邻两个所述滑块(14)之间设置有剪叉装置,所述夹具(11)固定于所述剪叉装置上。4.如权利要求1所述的双向拉伸装置,其特征在于,所述观察框(5)为伸入所述温度控制炉的梯形观察框,其大端朝向所述X射线探测器(6);所述观察框(5)上设置有可拆卸地封闭窗。5.如权利要求1所述的双向拉伸装置,其特征在于,还包括用于支撑所述X射线探测器(6)的探测器支架;所述X方向调节装置包括导轨及滑动设置于所述导轨上的滑动部,所述拉伸机构(1)与所述滑动部相对固定;所述Z方向调节装置包括丝杆及与所述丝杆配合的螺母结构,所述螺母结构与所述导轨相对固定,可以调节位置,使X射线通过样品。6.如权利要求1所述的双向拉伸装置,其特征在于,所述双层框架结构与所述X射线探测器(6)之间的间距可以调节的设置。7.如权利要求1所述的双向拉伸装置,其特征在于,还包括设置于所述温度控制炉内的2CN109470563A权利要求书2/2页保温层。8.如权利要求1-7任一项所述的双向拉伸装置,其特征在于,所述双层框架结构上具有用于与外界风热加热装置的出风口连通的热风进口,所述热风进口与所述温度控制炉连通。9.一种