用于单晶炉的水冷热屏装置.pdf
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用于单晶炉的水冷热屏装置.pdf
本发明提供的一种用于单晶炉的水冷热屏装置,包括进水管、出水管及水冷套,所述水冷套内设有水冷流道,所述进水管及出水管与所述水冷流道连通,该水冷热屏装置设置于所述单晶炉内液面上方,所述水冷套朝向所述液面一端连接有传热部件,所述传热部件与所述水冷套之间形成有具有临界温度的导热路径,所述临界温度小于所述水冷套朝向所述液面一端的材质熔点,当所述导热路径达至临界温度时,所述导热路径呈断开状态;通过应用有传热部件,使本发明的水冷热屏装置相比传统水冷热屏的应用,能使单晶生长速度进一步提高;同时能避免发生硅液熔穿水冷套导致
用于直拉硅单晶炉的热屏装置.pdf
本发明涉及一种用于直拉硅单晶炉的热屏装置,包括外筒、隔热层和内筒,还包括热反射层、隔热垫I、隔热垫II,热反射层置于外筒与隔热层之间;隔热层置于热反射层与内筒之间;隔热垫I设置在热屏装置上端的外筒和内筒之间,隔热垫I的一端与隔热层相接紧配合,隔热垫II设置在热屏装置底端的外筒和内筒之间,隔热垫II的一端与隔热层相接紧配合。本发明的特点是:有效防止钼片热反射层反射的热辐射对晶体的作用,更大程度加大了晶体的散热,提高了晶体生长速度。实现了对熔硅更强的保温,进一步降低了开炉功耗,节省了生产成本。成本低廉、容易实
单晶炉的水冷热屏结构、单晶炉及单晶硅的生长方法.pdf
本发明涉及单晶硅制造技术领域,尤其涉及一种单晶炉的水冷热屏结构、单晶炉及单晶硅的生长方法。所述单晶炉的水冷热屏结构包括:单晶炉炉盖;在所述单晶炉炉盖上方的喉口处设置有充气法兰;所述充气法兰设置有气体进口;与所述炉盖滑动配合的环状水冷热屏;设置在所述环状水冷热屏内部的盘旋状气管;气体进入所述充气法兰,经过所述盘旋状气管吹向所述单晶炉内的熔体液面。本发明在炉盖上方喉口法兰处增加一条气路,气路沿盘旋状气管环绕在环状水冷热屏内部,气体流出后以环流形式吹向液面。此设计增大了换热面积的同时引入气体换热,提升结晶潜热的
直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置,属于提高晶棒收率工艺的技术领域,所述水冷屏的侧壁与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°,当水冷屏与单晶炉的中轴线夹角为15°/2‑20°时,使得整个热场的温度得到改变,使得晶棒固液界面的中心温度与边缘温度接近,使得晶棒拉出后,晶棒的尾部的截面尽量接近水平,进而晶棒的收率提高。
直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉.pdf
本发明提供一种直拉单晶炉水冷屏装置及单晶炉,属于水冷屏装置的技术领域,包括水冷屏,所述水冷屏的下端设置圆环形护套,所述圆环形护套与所述水冷屏的下端连接,水冷屏上部分为不锈钢结构,而单晶炉内的加热器的加热温度为1450℃,炉腔内的环境温度在1000℃以上,不锈钢的耐高温温度为1000℃,在单晶炉内炉内温度过高容易造成不锈钢水冷屏高温熔断或爆裂,因此采用圆环形护套将水冷屏和圆环形护套固定在石英坩埚上方,避免水冷热屏高温熔断或爆裂,同时通过圆环形护套能够延伸水冷屏的长度,延伸水冷热屏的热折射,有效保证单晶炉内良