单晶炉的水冷热屏结构、单晶炉及单晶硅的生长方法.pdf
波峻****99
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单晶炉的水冷热屏结构、单晶炉及单晶硅的生长方法.pdf
本发明涉及单晶硅制造技术领域,尤其涉及一种单晶炉的水冷热屏结构、单晶炉及单晶硅的生长方法。所述单晶炉的水冷热屏结构包括:单晶炉炉盖;在所述单晶炉炉盖上方的喉口处设置有充气法兰;所述充气法兰设置有气体进口;与所述炉盖滑动配合的环状水冷热屏;设置在所述环状水冷热屏内部的盘旋状气管;气体进入所述充气法兰,经过所述盘旋状气管吹向所述单晶炉内的熔体液面。本发明在炉盖上方喉口法兰处增加一条气路,气路沿盘旋状气管环绕在环状水冷热屏内部,气体流出后以环流形式吹向液面。此设计增大了换热面积的同时引入气体换热,提升结晶潜热的
热屏及单晶硅生长炉结构.pdf
本发明提供一种热屏及单晶硅生长炉结构,热屏的屏底包含上层、下层及侧壁,所述上层、所述下层、所述侧壁及屏壁围成一空腔,所述空腔填充有保温材料,所述上层与水平面呈第一角度偏向所述热屏内部倾斜,所述下层与水平面呈第二角度偏所述向熔体坩埚内部倾斜,所述上层包含朝所述空腔内部凹陷的第一弧面,所述下层包含朝所述空腔内部凹陷的第二弧面。本发明通过改变热屏底部设计达到优化轴向和纵向温度梯度的目的,从而提高单晶硅的拉速,提高硅片径向的质量均匀性,并且通过下层弧面的热反射,达到节能的效果,通过上层弧面的热吸收,达到加速提拉单
热屏及单晶硅生长炉结构.pdf
本发明提供一种热屏及单晶硅生长炉结构,所述热屏的屏底包含上层、下层及侧壁,所述侧壁连接于所述上层与所述下层之间且围成窗口,所述上层、所述下层、所述侧壁及屏壁围成一空腔,所述空腔填充有保温材料,所述上层与水平面呈第一角度偏向所述热屏内部倾斜,所述下层与水平面呈第二角度偏所述向熔体坩埚内部倾斜,所述下层包含朝所述空腔内部凹陷的弧面。本发明通过改变热屏底部设计达到优化轴向和纵向温度梯度的目的,从而提高单晶硅的拉速,提高硅片径向的质量均匀性,并且通过下层弧面的热反射,从而达到节能的效果。本发明可有效提高工艺效率,
热屏及单晶硅生长炉结构.pdf
本发明提供一种热屏及单晶硅生长炉结构,所述热屏设置于所述单晶硅生长炉的熔体坩埚上部,所述热屏包括双层屏底及双层屏壁,所述双层屏底及所述双层屏壁包覆有保温材料,所述双层屏底具有供所述熔体提拉通过的窗口,所述双层屏底包含上层以及下层,所述上层沿水平面设置,所述下层与所述水平面呈一角度倾斜与所述上层相交于所述窗口的周缘,且所述下层的底面偏向所述熔体坩埚内部。本发明通过改变热屏底部设计达到优化轴向和纵向温度梯度的目的,从而提高单晶硅的拉速,提高硅片径向的质量均匀性。本发明可有效提高工艺效率,在半导体制造领域具有广
水冷屏和单晶硅生长炉.pdf
本发明提供了一种水冷屏,其应用于真空环境下将待生长的单晶硅棒降温,水冷屏包括呈中空的金属管,金属管内用于填充冷却液,金属管沿同一轴向依次盘旋绕设形成具有收容空间且两端开口的套筒,收容空间用于收容单晶硅棒,且金属管与收容的单晶硅棒间隔设置;金属管的两端至少部分由套筒延伸至其外部,用于冷却液由金属管的一端流入,沿金属管盘旋后由其另一端流出,以冷却收容于收容空间内的单晶硅棒。本发明还提供一种应用水冷屏的单晶硅生长炉。与相关技术相比,本发明的水冷屏和单晶硅生长炉吸热表面积大,热交换效果佳,有效地将待生长的单晶硅棒