用于还原炉的进料管、还原炉及进料管孔径的调节方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109592686A(43)申请公布日2019.04.09(21)申请号201811574007.9(22)申请日2018.12.21(71)申请人亚洲硅业（青海）有限公司地址810007青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号(72)发明人高志明甘易武韩成福闫晓英唐芝礼郑连基李娜(74)专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371代理人赵志远(51)Int.Cl.C01B33/03(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图8页(54)发明名称用于还原炉的进料管、还原炉及进料管孔径的调节方法(57)摘要本发明提供的一种用于还原炉的进料管、还原炉及进料管孔径的调节方法，多晶硅生产技术领域，包括：进料管体；喷嘴设置在进料管体的出口；喷嘴的内腔具有自喷嘴的第一端至第二端贯穿的喷孔，喷嘴沿喷孔的中轴线所在平面分隔为第一部件和第二部件；第一部件上的喷孔部分的直径自喷嘴的第一端至第二端逐渐减小；第二部件上的喷孔部分的直径自喷嘴的第一端至第二端逐渐增大。在上述技术方案中，通过进料管上由第一部件和第二部件所构成的喷嘴，便能够任意调整喷孔的孔径大小，进而调整进入炉内的氢气和三氯氢硅混合物料气体的流速，使炉内流场一直处于最佳状态，提升多晶硅产品品质，节能降耗。CN109592686ACN109592686A权利要求书1/1页1.一种用于还原炉的进料管，其特征在于，包括：进料管体；喷嘴，所述喷嘴设置在所述进料管体的出口；所述喷嘴的内腔具有自所述喷嘴的第一端至第二端贯穿的喷孔，所述喷嘴沿所述喷孔的中轴线所在平面分隔为第一部件和第二部件；所述第一部件上的喷孔部分的直径自所述喷嘴的第一端至第二端逐渐减小；所述第二部件上的喷孔部分的直径自所述喷嘴的第一端至第二端逐渐增大。2.根据权利要求1所述的进料管，其特征在于，还包括控制机构；所述控制机构与所述第一部件连接，用于驱动所述第一部件相对于第二部件轴向移动；或者，所述控制机构与所述第二部件连接，用于驱动所述第二部件相对于第一部件轴向移动。3.根据权利要求2所述的进料管，其特征在于，所述控制机构包括控制器和联动组件；所述联动组件在所述进料管体的外壁穿透该进料管体并与所述第一部件连接；所述控制器与所述联动组件连接，用于通过所述联动组件驱动所述第一部件相对于第二部件轴向移动；或者，所述联动组件在所述进料管体的外壁穿透该进料管体并与所述第二部件连接；所述控制器与所述联动组件连接，用于通过所述联动组件驱动所述第二部件相对于第一部件轴向移动。4.根据权利要求3所述的进料管，其特征在于，所述联动组件包括传动杆；所述传动杆的一端与所述第一部件或所述第二部件连接，所述传动杆的另一端与所述控制器连接。5.根据权利要求3所述的进料管，其特征在于，所述控制机构还包括密封组件；所述密封组件设置在所述联动组件穿透所述进料管体的位置，用于密封所述进料管体。6.根据权利要求5所述的进料管，其特征在于，所述密封组件包括密封圈。7.根据权利要求3所述的进料管，其特征在于，所述进料管体设置有弯曲部，使所述进料管体的上部和下部呈角度设置。8.根据权利要求7所述的进料管，其特征在于，所述联动组件在所述进料管体的弯曲部的外壁穿透该进料管体。9.一种还原炉，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的进料管。10.一种进料管孔径的调节方法，其特征在于，根据如权利要求1-8中任一项所述的进料管，具体如下：驱动所述第一部件和所述第二部件相对轴向移动，使所述第一部件上的喷孔部分和所述第二部件上的喷孔部分相对交错调整有效孔径大小。2CN109592686A说明书1/6页用于还原炉的进料管、还原炉及进料管孔径的调节方法技术领域[0001]本发明涉及多晶硅生产技术领域，尤其是涉及一种用于还原炉的进料管、还原炉及进料管孔径的调节方法。背景技术[0002]目前，从国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅以及薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。[0003]其中，多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。[0004]在多晶硅的生产中主要反应为还原反应，还原反应需要在还原炉中进行。现有技术中，一般是通过底盘的喷嘴将氢气和三氯氢硅混合物料气体通入到还原炉中，在高温的环境中发生还原反应，从而生成多晶硅。[0005]但是，从生产结果来看，通过现有技术生产多晶硅时，随着还原炉运行工况的变化，不能保证炉内流场一直处于最佳状态，无法满足现有的生产需求。发明内容[0006]本发明的目的在于提供一种用于还原炉的进料管、还原炉及进料