退火系统和退火方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109755128A(43)申请公布日2019.05.14(21)申请号201811300275.1(22)申请日2018.11.02(30)优先权数据62/581,5322017.11.03US62/639,8002018.03.07US(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人J·德尔马斯C·T·卡尔森R·B·沃派特(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人杨学春侯颖媖(51)Int.Cl.H01L21/324(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图2页(54)发明名称退火系统和退火方法(57)摘要提供了一种用于对基板进行退火的系统。所述系统包括：第一锅炉，所述第一锅炉具有耦接到水源的输入端；第二锅炉，所述第二锅炉具有输入端连接到第一锅炉的输出端；和批处理腔室，所述批处理腔室耦接到第二锅炉的输出端，其中所述批处理腔室被配置为使用来自第二锅炉的蒸汽使多个基板退火。CN109755128ACN109755128A权利要求书1/2页1.一种用于对基板进行退火的系统，包括：第一锅炉，所述第一锅炉具有耦接到水源的输入端；第二锅炉，所述第二锅炉具有输入端连接到所述第一锅炉的输出端；和批处理腔室，所述批处理腔室耦接到所述第二锅炉的输出端，其中所述批处理腔室被配置为使用来自所述第二锅炉的蒸汽使多个基板退火。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一锅炉被配置为产生饱和蒸汽以供应到所述第二锅炉。3.根据权利要求2所述的系统，其中所述第二锅炉被配置为产生过热蒸汽以供应到所述批处理腔室。4.根据权利要求1所述的系统，还包括冷凝器，所述冷凝器连接在所述第二锅炉的输出端的下游，其中所述冷凝器还连接到所述批处理腔室上的端口。5.根据权利要求4所述的系统，还包括热交换器，所述热交换器连接到所述冷凝器的输出端。6.根据权利要求1所述的系统，还包括高流量阀和低流量阀，所述高流量阀和所述低流量阀并行布置在所述第一锅炉的输出端与所述第二锅炉的输入端之间，其中所述高流量阀被配置为允许蒸汽流量比所述低流量阀的蒸汽流量高至少2倍。7.根据权利要求6所述的系统，其中所述低流量阀是压力调节器。8.根据权利要求1所述的系统，还包括过滤器，所述过滤器设置在所述第二锅炉的输出端与所述批处理腔室的输入端之间。9.根据权利要求1所述的系统，其中所述水源被配置为提供氧浓度小于5ppb的水。10.根据权利要求1所述的系统，还包括吹扫气体源，所述吹扫气体源连接到所述第一锅炉和所述第二锅炉。11.一种在处理腔室中对基板进行退火的方法，所述方法包括：将一个或多个基板装载到所述处理腔室的内部容积中；在第一锅炉中接收水；在所述第一锅炉中从所接收的所述水产生饱和蒸汽；将在所述第一锅炉中产生的所述饱和蒸汽供应到第二锅炉；在所述第二锅炉中产生过热蒸汽；将所述过热蒸汽从所述第二锅炉供应到处理腔室；以及用来自所述第二锅炉的所述过热蒸汽对所述处理腔室中的所述基板进行退火。12.根据权利要求11所述的方法，其中在所述第一锅炉中接收的所述水的氧浓度小于5ppb。13.根据权利要求11所述的方法，还包括在所述第二锅炉的输出端与所述处理腔室的输入端之间过滤所述蒸汽。14.根据权利要求11所述的方法，其中所述饱和蒸汽的压力大于所述过热蒸汽的压力，并且在所述第一锅炉与所述第二锅炉之间设置压力调节器阀。15.根据权利要求11所述的方法，其中在所述基板的所述退火期间所述处理腔室的压力基本上等于在所述第一锅炉中产生的所述饱和蒸汽的压力。16.根据权利要求11所述的方法，其中在所述基板的所述退火期间所述处理腔室中的2CN109755128A权利要求书2/2页温度为约450℃至约550℃。17.根据权利要求16所述的方法，其中在所述基板的所述退火期间所述处理腔室中的压力为约40barG至约110barG。18.根据权利要求11所述的方法，还包括在所述基板的所述退火之后通过冷凝器从所述处理腔室排放所述蒸汽。19.根据权利要求18所述的方法，还包括在所述处理腔室中对所述基板进行退火之前，用惰性气体吹扫所述第一锅炉和所述第二锅炉。20.一种在处理腔室中对基板进行退火的方法，所述方法包括：将一个或多个基板装载到所述处理腔室的内部容积中；在第一锅炉中接收水，其中在所述第一锅炉中接收的所述水的氧浓度小于5ppb；在所述第一锅炉中从所接收的所述水产生饱和蒸汽；将在所述第一锅炉中产生的所述饱和蒸汽供应到第二锅炉；在所述第二锅炉中产生过热蒸汽；将所述过热蒸汽从所述第二锅炉供应到处理腔室；在所述第二锅炉的输出端与所述处理腔室的输入端之间过滤所述蒸汽；以及用来自所述第二锅炉的所述过热蒸汽在约4