单晶炉二次加料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109778306A(43)申请公布日2019.05.21(21)申请号201910228454.7(22)申请日2019.03.25(71)申请人中国恩菲工程技术有限公司地址100038北京市海淀区复兴路12号申请人洛阳中硅高科技有限公司(72)发明人尚保卫万烨严大洲尹杏刘旭阳刘增郭振江邹星姜康伟(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201代理人宋合成(51)Int.Cl.C30B15/02(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称单晶炉二次加料装置(57)摘要本发明公开了一种单晶炉二次加料装置，包括石英筒和保护套，其中，所述石英筒竖向设置，所述石英筒的外周面上设有向外凸出的石英支撑环；所述保护套适配地套设固定在所述石英支撑环的外表面上，使所述石英支撑环位于所述保护套内。本发明单晶炉二次加料装置使用寿命长。CN109778306ACN109778306A权利要求书1/1页1.一种单晶炉二次加料装置，其特征在于，包括：石英筒，所述石英筒竖向设置，所述石英筒的外周面上设有向外凸出的石英支撑环；保护套；所述保护套适配地套设固定在所述石英支撑环的外表面上，使所述石英支撑环位于所述保护套内。2.根据权利要求1所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，还包括具有耐高温和韧性的金属丝绳；所述石英支撑环上设有多个第一穿孔，所述保护套上设有多个第二穿孔和多个第三穿孔，多个所述第二穿孔和多个所述第三穿孔分别与多个所述第一穿孔的两端一一对应；所述金属丝绳有多根，多根所述金属丝绳分别穿过多个相对应的所述第二穿孔、所述第一穿孔和所述第三穿孔并圈绕设置在所述保护套的外表面上。3.根据权利要求2所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，所述金属丝绳为钨丝绳。4.根据权利要求3所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，多根所述钨丝绳分别穿过多个相对应的所述第二穿孔、所述第一穿孔和所述第三穿孔并绕圈设置在所述保护套的外表上，以使所述石英筒横向任意方位晃动时，所述保护套外表面上的部分所述钨丝绳与所述单晶炉的炉筒接触。5.根据权利要求3所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，所述钨丝绳包括多根钨丝捻股，每根所述钨丝捻股包括多根钨丝。6.根据权利要求3所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，所述钨丝绳的直径为2-4mm。7.根据权利要求2-6中任意一项所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，所述第一穿孔、所述第二穿孔和所述第三穿孔的数量相同且均布设置。8.根据权利要求2-6中任意一项所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，多个所述第一穿孔竖向设置；多个所述第二穿孔设置在所述保护套上且分别位于多个所述第一穿孔的正上方，多个所述第三穿孔设置在所述保护套上且分别位于多个所述第一穿孔的正下方。9.根据权利要求1-6中任意一项所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，所述保护套为不锈钢保护套。10.根据权利要求1-6中任意一项所述的单晶炉二次加料装置，其特征在于，所述保护套的轮廓与所述石英支撑环的轮廓相同。2CN109778306A说明书1/4页单晶炉二次加料装置技术领域[0001]本发明涉及单晶炉二次加料技术领域，尤其涉及一种单晶炉二次加料装置。背景技术[0002]直拉法是生产单晶硅的主要方法，把原生多晶硅块装入石英坩埚中，在单晶炉内按照工艺配方：化料、安定、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、冷却、取棒，最后得到单晶棒。[0003]其中，化料过程中，由于多晶硅由固态变为液态，体积变小，且装料时固体硅料间存在空隙，硅液体积远小于装料体积。硅溶液的液面远低于坩埚上边缘，此时将进行二次加料，提升单只坩埚的装料重量，增加产能，进而降低生产成本。[0004]目前使用的二次加料装置主要部件为石英筒，二次加料时，石英筒置入单晶炉炉筒内，并使石英筒的石英支撑环下降至单晶副炉室的底部平台，通过底部平台，起到支撑石英筒、辅助打开加料口的作用，籽晶绳下降带动打开石英筒内挡料管与石英筒壁的间隙，完成二次加料。[0005]在使用过程中由于石英的性质及环境温差大突变，容易导致石英支撑环碎裂掉渣。此外，在石英筒升降过程中，石英筒在单晶炉炉筒内不可避免会产生轻微晃动，石英支撑环将直接与单晶炉炉筒接触，存在因碰撞引起碎裂掉渣风险。而石英支撑环碎裂、掉渣对二次加料装置的使用寿命起着至关重要的作用。发明内容[0006]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种单晶炉二次加料装置，有效地降低了石英支撑环的碎裂掉渣现象，使用寿命长。[0007]根据本发明实施例的单晶炉二次加料装置，包括：[0008]石英筒，所述石英筒竖向设置，所述石英筒的外