单晶炉用加料装置.pdf
念珊****写意
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相关资料
单晶炉用加料装置.pdf
本发明提供一种单晶炉用加料装置,包括底座和安装在底座上的加料器主体,加料器主体包括进给机构,包括与所述底座滑动连接的上板;以及振动器送料机构,包括:第二驱动组件、滑动连接在所述上板上的送料组件、与所述第二驱动组件连接的同步带轮、拉力传感器和与所述拉力传感器电连接的报警器,其中,所述同步带轮上安装有同步带,所述同步带通过所述拉力传感器与所述送料组件连接,若所述同步带与所述送料组件未同步运动,所述报警器发出报警信号。本发明实施例的装置能够有效减小整机占地空间,且能够避免碰撞带来的严重后果。
加料装置及单晶炉.pdf
本申请提供了一种加料装置及单晶炉,其中,该加料装置包括加料腔、第一部件和连接结构;其中,加料腔上设置有加料口;第一部件设置于加料腔,用于打开或关闭加料口;连接结构的一端与第一部件相连,连接结构的另一端与主炉室相连,连接结构内设置有送料通道,连接结构上还设置有真空阀。本申请可以实现加料装置独立抽真空,并通过连接结构与主炉室连接后,可以对连接结构独立抽真空,从而可以减小在对主炉室建立真空环境时需要抽真空的容积,缩短了抽真空的时长,提升了生产效率。
单晶炉用新型连续加料装置.pdf
一种单晶炉用新型连续加料装置,包括储料装置、过渡装置、固定装置、液体导出装置、加热装置,还包括投料装置,投料装置设置于炉体的上端,投料装置的正下端设置有储料装置,储料装置设置于炉体的下端,过渡装置的入口端与储料装置相连接,过渡装置设置于固定装置上端,液体导出装置的入口端与过渡装置的出口端相连接,液体导出装置的出口端设置于石英坩埚的内壁上,加热装置环绕设置于过渡装置、液体导出装置的外侧;本发明彻底解决了现有技术硅料熔融后硅液晶相分布不均匀、硅液的一致性差的难题,不需预先装料,减少加料、化料的时间,提高硅棒熔
用于单晶炉的加料装置.pdf
本公开涉及一种用于单晶炉的加料装置,包括:加料管,其包括进料端和出料端;物料挡件,其设置在加料管的出料端处;以及驱动装置,其构造成用于使物料挡件移动以打开及关闭加料管的在出料端处的管口,其中,加料管包括第一加料管和第二加料管,第一加料管和第二加料管中的一者的一端能够在其于加料管的轴向方向上的不同位置处与另一者的一端连接,以使得加料管是可伸缩的。通过这种可伸缩构造,使得加料管对于不同的加料量和不同的热场结构具有通用性。
单晶炉加料方法及单晶炉加料系统.pdf
本发明涉及一种单晶炉加料方法及单晶炉加料系统。单晶炉加料方法包括:确定下一台待加料的单晶炉;将单晶炉加料机驱动至待加料的单晶炉位置处;将单晶炉加料机的出料口与待加料的单晶炉的进料口密封对接;控制单晶炉加料机向待加料的单晶炉加料;在向待加料的单晶炉加料完毕后,继续执行确定下一台待加料的单晶炉的步骤。单晶炉加料系统包括控制模块、单晶炉加料机和至少一台单晶炉,控制模块通过有线网络或无线网络分别与单晶炉加料机和至少一台单晶炉通信连接,控制模块用于执行单晶炉加料方法。单晶炉加料方法通过一台单晶炉加料机对应多台单晶炉