一种单晶炉的二次加料装置及加料方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110952138A(43)申请公布日2020.04.03(21)申请号201911283075.4C30B15/02(2006.01)(22)申请日2019.12.13(71)申请人亚洲硅业（青海）股份有限公司地址810007青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号申请人青海省亚硅硅材料工程技术有限公司(72)发明人曹玲玲杨明财郭梅珍史正斌任长春鲍守珍王茜蔡延国宗冰(74)专利代理机构成都华风专利事务所(普通合伙)51223代理人徐丰(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称一种单晶炉的二次加料装置及加料方法(57)摘要本发明公开了一种单晶炉的二次加料装置及加料方法,涉及单晶棒生产技术领域，包括化料炉和至少一个单晶炉，多个所述单晶炉均与化料炉之间连接有进料筒；所述化料炉内安装有具有倾倒功能的支撑架和安装在支撑架上的化料坩埚；所述化料室内还安装有加热器。本发明使单晶炉内在制作单晶硅棒的同时能对硅料进行熔融，使单晶炉内的硅棒在制作完成后，向单晶炉内补充的硅料即为熔融状，使单晶炉完成加料后能马上进行单晶硅棒的制作，使单晶硅棒的生产效率大大提高。CN110952138ACN110952138A权利要求书1/1页1.一种单晶炉的二次加料装置，其特征在于，包括化料炉(1)和至少一个单晶炉(2)，多个所述单晶炉(2)均与化料炉(1)之间连接有进料筒(3)；所述化料炉(1)内安装有具有倾倒功能的支撑架(4)和安装在支撑架(4)上的化料坩埚(5)；所述化料室内还安装有加热器(6)。2.根据权利要求1所述的单晶炉的二次加料装置，其特征在于，所述支撑架(4)包括转动安装在化料坩埚(5)上的上安装环(41)和下安装环(42)；所述化料炉(1)内还对称安装在化料坩埚(5)两侧的支撑柱(43)，且两个支撑柱(43)的上端均与上安装环(41)铰接；所述化料炉(1)内还铰接安装有倾斜的第一伸缩杆(44)，第一伸缩杆(44)与支撑柱(43)之间的夹角为90°。3.根据权利要求2所述的单晶炉的二次加料装置，其特征在于，所述化料炉(1)内安装有可升降的驱动电机(45)，且驱动电机(45)的输出轴上还安装有卡紧化料炉(1)的卡爪(46)。4.根据权利要求3所述的单晶炉的二次加料装置，其特征在于，所述卡爪(46)包括固定安装在驱动电机(45)输出轴上的安装盘(461)，且安装盘(461)上固定安装有多个限位柱(462)；所述化料炉(1)的底面还开设有分别与多个限位柱(462)一一对应的限位槽(7)。5.根据权利要求2或3或4所述的单晶炉的二次加料装置，其特征在于，所述化料炉(1)内还安装有第二伸缩杆(47)，第二伸缩杆(47)的上端还安装有安装台(48)，且驱动电机(45)安装在安装台(48)上。6.根据权利要求1所述的单晶炉的二次加料装置，其特征在于，所述单晶炉(2)内还安装有可升降的结晶坩埚(8)；所述单晶炉(2)内还安装有多个第三伸缩杆(9)，且结晶坩埚(8)固定安装在多个第三伸缩杆(9)的上方。7.根据权利要求1所述的单晶炉的二次加料装置，其特征在于，所述进料筒(3)的出口端垂直设置，且进料筒(3)的进口端呈漏斗状。8.根据权利要求1所述的单晶炉的二次加料装置，其特征在于，所述进料筒(3)包括由内至外依次设置的内层(31)、外层(32)和保温层(33)；所述进料筒(3)上还安装有隔离阀(10)；所述化料炉(1)上还具有固体加料器(11)，且化料炉(1)上还具有进气口(12)、出气口(13)和抽真空口(14)。9.一种单晶炉的二次加料方法包括如下步骤：S1：在单晶炉(2)内拉制单晶硅棒时，向化料坩埚(5)内投入固相多晶硅原料，加热器(6)对化料坩埚(5)内的固相多晶硅原料加热，化料坩埚(5)内的多晶硅原料熔融；S2：当单晶炉(2)内拉制完成的单晶硅棒取出后，将化料坩埚(5)内熔融状的多晶硅原料倒入到进料筒(3)内，熔融状多晶硅原料沿进料筒(3)进入到单晶炉(2)内完成单晶硅棒二次拉制，且在单晶炉(2)内拉制单晶硅棒同时，重复步骤S1。10.根据权利要求9所述的单晶炉的二次加料方法，其特征在于，所述步骤S2中进料筒(3)出口与结晶坩埚(8)内熔融状多晶硅原料液面之间的距离为15～50mm。2CN110952138A说明书1/6页一种单晶炉的二次加料装置及加料方法技术领域[0001]本发明涉及单晶棒生产技术领域，具体而言，涉及一种单晶炉的二次加料装置及加料方法。背景技术[0002]单晶炉是生产单晶硅棒的专业设备。传统单晶硅棒的生产是将多晶硅原料一次性装入石英坩埚内熔化，多晶硅原料熔料后，采用直拉法拉制单晶硅棒，在此生产过程中，单