一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109853041A(43)申请公布日2019.06.07(21)申请号201910023155.X(22)申请日2019.01.10(71)申请人张忠恕地址100000北京市通州区漷县镇开发区漷兴三街6号(72)发明人张忠恕(51)Int.Cl.C30B31/12(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶(57)摘要本发明涉及一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶，包括石英管及位于石英管内部的中间挡板，所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴，所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层，所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口，用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作。通过设置可以随时抽真空的抽真空通气嘴，降低了保温桶生产过程中对真空保温隔离层工艺的要求，有效减低了成本，且整个装置安装方便，操作简捷，能够很好的保持石英舟加工过程中温度的恒定。CN109853041ACN109853041A权利要求书1/1页1.一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶，其特征在于：包括石英管及位于石英管内部的中间挡板，所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴，所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层，所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口，用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作。2.根据权利要求1所述的一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶，其特征在于：所述石英管具有开口的一端具有定位端，所述定位端与扩散炉定位后，通过上法兰进行固定。3.根据权利要求1或2所述的一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶，其特征在于：所述石英管相对开口的一端具有与石英舟固定的定位装卡端，并通过下法兰进行加固。2CN109853041A说明书1/2页一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶技术领域[0001]本发明涉及石英扩散炉装置领域，具体是一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶。背景技术[0002]硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气、氧气和三氯氧磷等气体，在高温下发生化学反应并扩散后在硅片表面形成PN结，在扩散过程中，保持石英舟温度的恒定对于成品的品质至关重要。现有技术中一般通过在石英舟下方设置保温桶来保持扩散过程中温度的恒定，如中国发明专利CN207091559U公开了一种隔热加强的光伏硅片石英扩散炉，其保温桶由多片平行排列的石英片组成，石英片之间用石英支柱焊接连接，且石英片采用不透明石英片，达到良好的保温效果，但仍具有如下缺点：设置的多片平行石英片，其由于物理上的分离，整个保温桶热量散逸比较严重，不能很好的保持温度的恒定，而现有的具有真空隔离层的保温桶加工工艺复杂，生产过程周期较长，对真空隔离层密封性能要求严格，成本较高。发明内容[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶，以解决现有技术中存在的缺陷。[0004]本发明解决上述技术问题的技术方案如下：[0005]一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶，包括石英管及位于石英管内部的中间挡板，所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴，所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层，所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口，用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作；[0006]进一步的，所述石英管具有开口的一端具有定位端，所述定位端与扩散炉定位后，通过上法兰进行固定；[0007]进一步的，所述石英管相对开口的一端具有与石英舟固定的定位装卡端，并通过下法兰进行加固；[0008]本发明的有益效果是：通过设置可以随时抽真空的抽真空通气嘴，降低了保温桶生产过程中对真空保温隔离层工艺的要求，有效减低了成本，且整个装置安装方便，操作简捷，能够很好的保持石英舟加工过程中温度的恒定。附图说明[0009]图1为本发明结构示意图；[0010]附图标记说明如下：[0011]1、定位端，2、上法兰，3、抽真空通气嘴，4、石英管，5、中间挡板，6、保温隔离层，7、下法兰，8、定位装卡端；3CN109853041A说明书2/2页具体实施方式[0012]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。[0013]如图1所示，一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶，包括石英管4及位于石英管4内部的中间挡板5，所述中间挡板5上设置有抽真空通气嘴3，所述抽真空通气嘴3相对一侧为由中间挡板5与石英管4底板之间构成的保温隔离层6，所述抽真空通气嘴3同侧的石英管4上设置有开口，用于操作人员通过抽真空通气嘴