一种石英扩散炉用保温桶.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111063613A(43)申请公布日2020.04.24(21)申请号201811207345.9(22)申请日2018.10.17(71)申请人张忠恕地址100000北京市通州区漷县镇开发区漷兴三街6号(72)发明人张忠恕(51)Int.Cl.H01L21/223(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种石英扩散炉用保温桶(57)摘要本发明涉及一种石英扩散炉用保温桶，包括顶板及位于顶板下方的多层挡板，所述顶板和挡板以及挡板之间均通过连接棒焊接定位，且所述顶板和挡板以及挡板之间均通过定位钉来控制焊接高度；所述定位钉为石英钉。顶板与挡板之间高度一致，且连接棒与挡板和顶板焊接固定，结构稳定，隔热效果好，有效保证反应效果。还提供了一种石英扩散炉用保温桶的加工方法。CN111063613ACN111063613A权利要求书1/1页1.一种石英扩散炉用保温桶，其特征在于：包括顶板及位于顶板下方的多层挡板，所述顶板和挡板以及挡板之间均通过连接棒焊接定位，且所述顶板和挡板以及挡板之间均通过定位钉来控制焊接高度；所述定位钉为石英钉。2.一种石英扩散炉用保温桶的加工方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1)根据配件图要求下料，如用多刀具切割，预留2mm平磨磨削量；连接棒预留组装焊接后的精确加工量；2)对配件进行平面磨床或立磨；3)根据配件图尺寸要求切割；4)充分退火；5)根据配件图尺寸要求，平面磨床磨削挡片厚度，平面度<0.05，注意顶板预留热加工退火后变形磨削量，尖角倒钝；6)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观；7)根据图纸要求粘钉，使用1：1图定位尺寸。要求接口烤透，焊条处烧开，大火退除内应力；8)充分退火；9)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观；10)根据配件图尺寸要求磨削顶板，预留组装焊接后的精确磨削量。尖角倒钝；11)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观；12)火抛所有配件，注意控制特殊材料火焰强度和烘烤时间，避免抛光表面不均匀；13)根据成品图要求组装配件；首先连接棒与顶板焊接，点焊定位后，三坐标和高度尺检验尺寸要求；合格后逐层焊接挡板，使用定位钉控制焊接高度，点焊定位后，三坐标和高度尺检验尺寸要求；焊接时注意整体同心度和平行度；14)整体火抛，大火去除内应力；15)充分退火；16)根据成品图要求检验全尺寸及外观，如有残留应力进行二次退火。如尺寸和形位公差超差，根据预留精确加工量磨削；17)过酸处理，纯水冲洗干净；洁净包装。2CN111063613A说明书1/3页一种石英扩散炉用保温桶技术领域[0001]本发明涉及石英加工装置领域，具体是一种石英扩散炉用保温桶。背景技术[0002]在晶体硅太阳能电池制造过程中，硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气、氧气和三氯氧磷等气体，在高温下发生化学反应并扩散后在硅片表面形成PN结。具体地说，先将硅片插在石英舟上，然后将石英舟放入高温扩散炉(一般就是扩散石英管)中，通入含有扩散源的气体，在高温条件下扩散源与硅片发生反应，实现扩散过程从而形成PN结。石英管内的保温桶，主要作用是为了隔热，但现有保温桶隔热效果不佳，影响了反应效果。发明内容[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种石英扩散炉用保温桶，以解决现有技术中存在的缺陷。[0004]本发明解决上述技术问题的技术方案如下：[0005]一种石英扩散炉用保温桶，包括顶板1及位于顶板1下方的多层挡板4，所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过连接棒3焊接定位，且所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过定位钉来控制焊接高度；所述定位钉为石英钉2。[0006]一种石英扩散炉用保温桶的加工方法，具体包括如下步骤：[0007]1)根据配件图要求下料，如用多刀具切割，预留2mm平磨磨削量；连接棒预留组装焊接后的精确加工量；[0008]2)对配件进行平面磨床或立磨；[0009]3)根据配件图尺寸要求切割；[0010]4)充分退火；[0011]5)根据配件图尺寸要求，平面磨床磨削挡片厚度，平面度<0.05，注意顶板预留热加工退火后变形磨削量，尖角倒钝；[0012]6)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观；[0013]7)根据图纸要求粘钉，使用1：1图定位尺寸。要求接口烤透，焊条处烧开，大火退除内应力；[0014]8)充分退火；[0015]9)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观；[0016]10)根据配件图尺寸要求磨削顶板，预留组装焊接后的精确磨削量。尖角倒钝；[0017]11)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观；[0018]12)火抛所有配件，注意控制特殊材料火焰强度和烘烤时间，避免抛光表面不均匀；[0019]13)根据成