一种碱抛光高效PERC电池及其制备工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109888061A(43)申请公布日2019.06.14(21)申请号201910221259.1(22)申请日2019.03.22(71)申请人通威太阳能（合肥）有限公司地址230088安徽省合肥市高新区长宁大道888号申请人通威太阳能（安徽）有限公司(72)发明人陈世琴张玉前庞三凤苏世杰郑云龙(74)专利代理机构昆明合众智信知识产权事务所53113代理人张玺(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/0216(2014.01)H01L31/068(2012.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种碱抛光高效PERC电池及其制备工艺(57)摘要本发明公开了一种碱抛光高效PERC电池的制备工艺，包括以下步骤：步骤S01、制绒；步骤S02、扩散；步骤S03、SE工艺；步骤S04、热氧；步骤S05、去PSG；步骤S06、碱抛光；步骤S07、退火；步骤S08、背钝化；步骤S09、背膜；步骤S10、正膜；步骤S11、激光开槽；步骤S12、印刷烧结：经过丝网印刷完成背面和正面印刷，然后进行烧结工艺；步骤S13、电注入：通过光衰炉或者电注入炉；步骤S14、测试分检：最后对电池片进行电池测试分档。本发明还公开了一种碱抛光高效PERC电池。本发明中增加SE后高温热氧工艺流程，在正面SE区域高温生长一层二氧化硅保护层，SE区域的金字塔绒面得到有效的保护，此工艺流程可保证SE碱抛PERC电池的稳定连续生产。CN109888061ACN109888061A权利要求书1/1页1.一种碱抛光高效PERC电池的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：步骤S01、制绒：单晶硅片经过表面制绒获得良好的绒面结构；步骤S02、扩散：通入三氯氧磷和硅片进行反应，实现扩散制结；步骤S03、SE工艺：选择性发射极在轻掺杂的硅衬底上，通过微米尺寸的激光束有选择性地进行杂质原子的重掺杂；步骤S04、热氧：在SE工艺后增加高温热氧工艺，在硅片表面生产沉积一层初级二氧化硅保护层(4)；步骤S05、去PSG：经过去PSG将边缘PN结刻蚀去除；步骤S06、碱抛光：采用碱性溶液对硅片进行碱抛光；步骤S07、退火：对碱抛光后的硅片进行退火，在硅片表面生产沉积一层次级二氧化硅层(6)；步骤S08、背钝化：在硅片背部通过ALD或PECVD方式沉积一层三氧化二铝钝化膜层(5)；步骤S09、背膜：在硅片的背面生长沉积一层氮化硅膜(7)；步骤S10、正膜：在硅片的正面生长沉积一层氮化硅膜(7)；步骤S11、激光开槽：对镀膜后的硅片背面进行激光开槽；步骤S12、印刷烧结：经过丝网印刷完成背面和正面印刷，然后进行烧结工艺；步骤S13、电注入：通过光衰炉或者电注入炉；步骤S14、测试分检：最后对电池片进行电池测试分档。2.根据权利要求1所述的一种碱抛光高效PERC电池的制备工艺，其特征在于：步骤S04中，高温热氧的温度为500°-800°。3.根据权利要求1所述的一种碱抛光高效PERC电池的制备工艺，其特征在于：步骤S07中，退火的温度为600°-800°。4.一种碱抛光高效PERC电池，通过权利要求1-3任意一项所述的制备工艺制成，其特征在于：包括硅基体(1)，所述硅基体(1)正面设置有N+区(2)，所述N+区(2)中有重掺杂区域(3)，所述重掺杂区域(3)的上方设置有初级二氧化硅保护层(4)，且N+区域(2)上还沉积有次级二氧化硅层(6)；所述硅基体(1)背面设置有三氧化二铝钝化膜层(5)。5.根据权利要求4所述的一种碱抛光高效PERC电池，其特征在于：所述初级二氧化硅保护层(4)和次级二氧化硅层(6)上生长沉积有氮化硅膜(7)，所述三氧化二铝钝化膜层(5)下方生长沉积有氮化硅膜(7)。6.根据权利要求4所述的一种碱抛光高效PERC电池，其特征在于：所述硅基体(1)正面和背面依次设置有正电极(9)和背电极(8)。2CN109888061A说明书1/4页一种碱抛光高效PERC电池及其制备工艺技术领域[0001]本发明涉及光伏太阳能电池技术领域，具体为一种碱抛光高效PERC电池及其制备工艺。背景技术[0002]PERC电池技术具有明显的性能和成本优势，推动了P型太阳能级单晶硅片的应用。同时高效率、低成本、环保是晶硅太阳能电池发展的主流方向。PERC电池主要是在背面形成钝化膜，这就要求背表面具有良好的平整性，碱抛设备主要的研究就集中在对背面进行抛光处理，这样不但解决了背面镀膜的平整性问题，而且可以去除背面N型扩散层，促进P+层的形成，提高少子寿命，增加背表面反射率。因此引进抛光工艺整合到PERC电池现有生产工艺中是进一步提高PERC电池效率的一种有效手段。[0003]碱抛电池以其简