一种PERC电池背面抛光工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111463318A(43)申请公布日2020.07.28(21)申请号202010272175.3H01L21/02(2006.01)(22)申请日2020.04.09(71)申请人金寨嘉悦新能源科技有限公司地址237000安徽省六安市金寨现代产业园区金家寨路以西、笔架山路以南交叉口区域自建厂房(72)发明人饶海峰沈传进许天红张峰孙小龙陈兆民(74)专利代理机构合肥信诚兆佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙)34159代理人尉敏(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种PERC电池背面抛光工艺(57)摘要本发明公开了一种PERC电池背面抛光工艺，包括碱槽，该碱槽内设有抛光部，包括若干滚轮，硅片经过该抛光部时，该若干滚轮对该硅片的下表面进行抛光；喷淋部，包括若干喷淋头，该硅片经过该喷淋部时，该若干喷淋头喷淋常温碱液对该硅片的上表面进行处理；液体化学试剂；所述液体化学试剂存于所述抛光部内，所述液体化学试剂为碱液，碱液可选用NAOH或KOH溶液，所述碱液的浓度为20％-30％，所述碱液的温度为82℃-88℃，在所述刻蚀工序前还包括制绒和扩散两个工序，该抛光部内碱液的液位可调，控制该滚轮抛光该硅片时，该碱液的液面接触该硅片的下表面。本发明适用于PERC电池背面抛光，步骤简单，简化加工流程，提高电池加工效率和质量。CN111463318ACN111463318A权利要求书1/1页1.一种PERC电池背面抛光工艺，其特征在于，该方法包括刻蚀、水洗、碱洗、水洗、酸洗、水洗以及烘干工序；其中，该碱洗工序包括抛光工序和喷淋工序。2.一种PERC电池背面抛光装置，包括碱槽，其特征在于，该碱槽内设有：抛光部，包括若干滚轮，硅片经过该抛光部时，该若干滚轮对该硅片的下表面进行抛光；喷淋部，包括若干喷淋头，该硅片经过该喷淋部时，该若干喷淋头喷淋常温碱液对该硅片的上表面进行处理。液体化学试剂；所述液体化学试剂存于所述抛光部内。3.根据权利要求1所述的一种PERC电池背面抛光工艺，其特征在于：所述液体化学试剂为碱液，碱液可选用NAOH或KOH溶液，所述碱液的浓度为20％-30％，所述碱液的温度为82℃-88℃。4.根据权利要求1所述的一种PERC电池背面抛光工艺，其特征在于：在所述刻蚀工序前还包括制绒和扩散两个工序。5.根据权利要求2所述的一种PERC电池背面抛光装置，其特征在于：该抛光部内碱液的液位可调，控制该滚轮抛光该硅片时，该碱液的液面接触该硅片的下表面。6.根据权利要求2所述的一种PERC电池背面抛光装置，其特征在于：所述碱槽内的抛光部底部设有密封底板，密封底板与抛光部内壁滑动连接、并将抛光部分隔成独立的储液腔和安装腔，所述储液腔内设置若干滚轮，滚轮通过设于储液腔内的支架安装，所述支架与密封底板固定连接，安装腔内设有用于驱动密封底板滑动的驱动机构。7.根据权利要求6所述的一种PERC电池背面抛光装置，其特征在于：所述驱动机构包括开设在密封底板中部的螺纹孔，配合连接在螺纹孔内螺杆，以及设于安装腔内、并用于驱动螺杆转动的驱动模块，螺杆的底端与安装腔的底面通过轴承转动连接。8.根据权利要求7所述的一种PERC电池背面抛光装置，其特征在于：所述驱动模块包括固定套接在螺杆外部的从动齿轮以及电机，所述从动齿轮和电机均位于安装腔内，且电机的输出轴安装有与从动齿轮啮合的主动齿轮。9.根据权利要求8所述的一种PERC电池背面抛光装置，其特征在于：所述储液腔内沿高度设置若干个加热机构，加热机构包括固定于储液腔内的盒体，盒体内安装若干电加热棒，盒体的壳体上分布若干通水孔。2CN111463318A说明书1/4页一种PERC电池背面抛光工艺技术领域[0001]本发明涉及PERC电池领域，尤其涉及一种PERC电池背面抛光工艺。背景技术[0002]目前，为应对日趋严重的能源危机和环境问题，太阳能电池的开发与利用受到社会各界越来越多的关注。目前，光伏行业的发展趋势为提效降本，即在有效控制生产成本的前提下，采取手段提升太阳能电池的电池效率。其中，钝化发射极及背面电池技术(以下简称PERC电池)是一种通过钝化背表面介质膜、采用局域金属接触的太阳能电池加工工艺，能够有效降低背表面的电子复合速度，同时提升了背表面的光反射，达到提高电池效率的目的。此外，PERC电池由于是一种作用于电池背表面的工艺，能够与其他的高效电池技术及新的提高电池效率的制造工艺有非常好的兼容性，具有极高的应用前景。[0003]PERC电池制造工艺一般包括以下步骤：制绒、扩散制PN结、刻蚀、镀膜、钝化、开槽和烧结等。其中，背面抛光工艺集成在