一种具有较好钝化效果的N型双面电池制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109920882A(43)申请公布日2019.06.21(21)申请号201910259646.4(22)申请日2019.04.02(71)申请人常州亿晶光电科技有限公司地址213000江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号(72)发明人胡琴张思敏房江明吴家宏张凯胜姚伟忠孙铁囤(74)专利代理机构常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258代理人郑云(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L31/0236(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种具有较好钝化效果的N型双面电池制备方法(57)摘要本发明公开了一种N型双面电池制备方法，包括如下步骤：(1)清洗N型单晶硅片，去除硅片表面的沾污以及切割损伤层；(2)在扩散炉内进行磷扩散，形成N+层；(3)在硅片背面采用等离子体化学气相沉积法，生长一层氮化硅层；(4)然后进行正面绒面制备，形成具有陷光结构的金字塔绒面，金字塔高度为1～1.5um；(5)在扩散炉管内进行硼扩散，在硅片正面形成P型层；(6)用氢氟酸洗掉正面的硼硅玻璃；(7)然后在正面镀制氮化硅薄膜；(8)最后正面和背面均印刷银电极，完成烧结。本发明的N型双面电池的制备工艺能较好与兼容现有生产线，且所得的N型双面电池正面转换效率达21.5％，背面转换效率达18.2％。CN109920882ACN109920882A权利要求书1/1页1.一种具有较好钝化效果的N型双面电池制备方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：(1)取电阻率0.5-1.5Ω·cm的N型单晶硅片，采用1.3～5wt％的氢氧化钾溶液和8～12wt％的双氧水对N型单晶硅片进行清洗处理，去除硅片表面的沾污以及切割损伤层；(2)在扩散炉内进行磷扩散，形成N+层：在炉管中以氮气携带三氯氧磷的方式，形成N型层，所述扩散温度为700-900℃，扩散时间80-130min，扩散后的方阻为80～100Ω/□；然后再用10wt％～20wt％的氢氟酸去除背面的磷硅玻璃，其中反应时间为3～5min；(3)在硅片背面采用等离子体化学气相沉积法，生长一层氮化硅层，氮化硅的膜厚为80～110nm，折射率为2.06～2.12；(4)然后进行正面绒面制备，第一步采用1～3wt％的HF溶液在室温条件下清洗60～80S，然后制绒，并形成具有陷光结构的金字塔绒面，金字塔高度为1～1.5um，然后再用氢氟酸和盐酸的混酸清洗表面；(5)在扩散炉管内进行硼扩散，在硅片正面形成P型层：以氮气携带BBr3对硅片的正面进行硼扩，形成P型层，所述扩散温度为900～1200℃，所述扩散时间80～130min,扩散后的方阻为80～100Ω/□；(6)用3～6wt％的氢氟酸洗掉正面的硼硅玻璃，硼硅玻璃清洗时间为150-200s；(7)然后在正面镀制氮化硅薄膜，正面膜厚为60-80nm，折射率为2.06～2.12；(8)最后正面和背面均印刷银电极，完成烧结。2.根据权利要求1所述的具有较好钝化效果的N型双面电池制备方法，其特征在于：步骤(4)所述制绒工艺为：在0.8～1.5wt％的氢氧化钠或氢氧化钾溶液中对硅片正面进行制绒腐蚀，温度为60～90℃，制绒时间为5～10分钟。2CN109920882A说明书1/2页一种具有较好钝化效果的N型双面电池制备方法技术领域[0001]本发明属于太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种具有较好钝化效果的N型双面电池制备方法。背景技术[0002]N型太阳电池则得益于其高效率、低衰减的优势，成为光伏行业内新的研究热点。在高效N型技术方面，最典型的代表是美国SunPower公司的IBC电池和日本Panasonic公司的HIT电池。但这两种电池技术的缺点是生产设备非常昂贵、工艺复杂、制造成本很高，另外也具有很高的技术壁垒。而光伏行业的最终目标是降低发电成本，N型高效电池的研发必须避开复杂的技术路线以降低工艺成本。N型双面电池的技术路线较之常规P型电池只增加了背面扩散与钝化工艺，几乎所有设备均可采用现有量产设备进行开发，增加的设备与工艺成本很低，是最有可能实现量产的。现有技术中，制备双面电池时，实现单面扩散的方法有：离子注入、涂胶扩散，这两种工艺都无法与现有常规单晶产线兼容，离子注入都需要引进昂贵的设备，而B胶则会在高温扩散工艺中引入有机物污染。发明内容[0003]为了克服现有技术中的上述缺陷，本发明提供一种与产线兼容的N型双面电池的制作方法。[0004]本发明所采用的技术方案为：一种具有较好钝化效果的N型双面电池制备方法，包括如下步骤：[0005](1)取电阻率0.5-1.5Ω·cm的N型单晶硅片，采用1.3～5wt％的氢氧化钾溶液和8～12wt％的双氧水对N型