提高直拉单晶拉速的装置.pdf
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提高直拉单晶拉速的装置.pdf
本发明公开了一种提高直拉单晶拉速的装置,属于单晶硅生产设备技术领域。包括导流筒及撤热组件,所述撤热组件安装于所述导流筒的上方,通过热辐射或者热传导的方式对所述导流筒进行降温。本发明技术方案实现在所述撤热组件远离单晶炉的热场的状态下,与固液界面发生热量交换,降低固液界面处温度,从而提高直拉单晶的拉速,提高直拉单晶拉速则大幅度节约的电耗。同时,由于所述撤热组件距离单晶炉热场较远,一则所述撤热组件受到热场的热应力有限,降低所述撤热组件泄漏概率,二则一旦泄漏发生,能够及时通过单晶炉内的氛围变化判断发现,及时停炉,
一种提高直拉硅单晶拉速的结构.pdf
本发明涉及一种提高直拉硅单晶炉拉速的结构,包括热屏上内胆、碳毡、热屏外胆、热屏下内胆,热屏下内胆为上口小、下口大的锥形斜面,与坩埚内硅熔液液面夹角为45-90°,热屏上内胆、热屏下内胆与热屏外胆之间填充碳毡,热屏上内胆、热屏下内胆材质选用钼、石墨或石英,技术效果是,结构简单,明显提高拉速,对RRV有改善效果。
滑动式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法.pdf
一种滑动式石英加料装置,包括加料器、高度调节机构,所述加料器包括加料筒、连接法兰,所述连接法兰固设于加料筒的上端,高度调节机构包括固定法兰、调节杆、高度调节环,所述固定法兰套装在加料器的外壁上,所述调节杆的下端与固定法兰连接,在连接法兰上设有调节孔,所述调节杆的上端穿过调节孔,在调节杆的上端旋入调节螺母,所述调节杆为数个,在每一个调节杆上套装数个高度调节环,根据单晶炉的大小规格不同,通过增加或减少高度调节环的数量来调节加料器的作业高度,有利于适用各种炉型,降低成本,还提供了一种直拉单晶炉,还提供了一种提高
伸缩式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法.pdf
一种伸缩式石英加料装置,包括加料器、高度调节机构,所述加料器包括加料筒、连接法兰,所述连接法兰固设于加料筒的上端,高度调节机构包括固定法兰、调节杆、高度调节环、圆形挡块,所述固定法兰套装在加料器的外壁上,所述调节杆的下端与固定法兰连接,在连接法兰上设有调节孔,所述调节杆的上端穿过调节孔,所述调节杆的上端固设圆形挡块,数个调节杆沿固定法兰的周向均布,在每一个调节杆上套装数个高度调节环,高度调节环的截面为“C”形,根据单晶炉的大小规格不同,通过增加或减少高度调节环的数量来调节加料器的作业高度,有利于适用各种炉
直拉单晶炉热屏装置及提高拉晶速率的方法.pdf
本发明提供一种直拉单晶炉热屏装置及提高拉晶速率的方法,属于提高拉晶速率工艺的技术领域,包括:导流筒、水冷屏,所述导流筒位于所述水冷屏的下方,所述水冷屏的内侧壁设置有凹坑,单晶炉加热器位于炉体底部,布设于坩埚底部或侧壁上,单晶硅拉制过程中,加热器的温度自加热炉底部向上折射,本发明在所述水冷屏的内侧壁设置凹坑,通过凹坑能够增加水冷屏的热折射方向,使得热折射向上,减少热折射直接折射在晶棒上,利于晶棒的降温,且所述凹坑有利于增大水冷屏散热面积,且增加了水冷屏的吸热效率,提高加热炉腔内散热效率,进而使得单晶棒拉制的