滑动式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114369867A(43)申请公布日2022.04.19(21)申请号202111642123.1(22)申请日2021.12.29(71)申请人宁夏申和新材料科技有限公司地址750000宁夏回族自治区银川市开发区光明西路25号(72)发明人王彦娟丁亚国梁万亮马国忠顾燕滨(74)专利代理机构宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙)64105代理人孙彦虎(51)Int.Cl.C30B15/02(2006.01)C30B15/14(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称滑动式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法(57)摘要一种滑动式石英加料装置，包括加料器、高度调节机构，所述加料器包括加料筒、连接法兰，所述连接法兰固设于加料筒的上端，高度调节机构包括固定法兰、调节杆、高度调节环，所述固定法兰套装在加料器的外壁上，所述调节杆的下端与固定法兰连接，在连接法兰上设有调节孔，所述调节杆的上端穿过调节孔，在调节杆的上端旋入调节螺母，所述调节杆为数个，在每一个调节杆上套装数个高度调节环，根据单晶炉的大小规格不同，通过增加或减少高度调节环的数量来调节加料器的作业高度，有利于适用各种炉型，降低成本，还提供了一种直拉单晶炉，还提供了一种提高拉晶速率的方法。CN114369867ACN114369867A权利要求书1/1页1.一种滑动式石英加料装置，其特征在于：包括加料器、高度调节机构，所述加料器包括加料筒、连接法兰，所述连接法兰固设于加料筒的上端，高度调节机构包括固定法兰、调节杆、高度调节环，所述固定法兰套装在加料器的外壁上，所述调节杆的下端与固定法兰连接，在连接法兰上设有调节孔，所述调节杆的上端穿过调节孔，在调节杆的上端旋入调节螺母，所述调节螺母的直径大于调节孔的直径，所述调节杆为数个，数个调节杆沿固定法兰的周向均布，在每一个调节杆上套装数个高度调节环，所述高度调节环位于固定法兰与连接法兰之间。2.一种直拉单晶炉，其特征在于：包括副炉体、提升机构以及权利要求1所述的滑动式石英加料装置，所述滑动式石英加料装置还包括加料吊杆、锥形底盖，所述提升机构设于副炉体的顶部，所述加料吊杆的上端与提升机构连接，所述加料吊杆的下端穿过加料筒，并与锥形底盖连接，所述锥形底盖盖合在加料筒的底端，所述固定法兰的外壁与副炉体的内壁连接。3.如权利要求2所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述直拉单晶炉还包括主炉体、导流筒、水冷屏，所述导流筒、水冷屏设于主炉体内，所述导流筒位于所述水冷屏的下方，所述水冷屏的内侧壁设置有凹坑，以提高提拉速度。4.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述凹坑均匀分布在所述水冷屏的内侧壁上，所述凹坑为圆形，所述水冷屏为上部开口小下部开口大的筒体。5.如权利要求4所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述凹坑为椭圆形。6.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述直拉单晶炉还包括圆环形护套，所述圆环形护套设于水冷屏的下端，所述圆环形护套由石墨做成。7.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述水冷屏为不锈钢材质。8.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述水冷屏表面涂覆有涂层。9.如权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述直拉单晶炉包括支撑轴、托盘、石墨坩埚、石英坩埚、底加热器、侧加热器，主炉体的底部设有支撑轴，支撑轴上托举托盘，在托盘上放置有石墨坩埚，在石墨坩埚内嵌套有石英坩埚，在石英坩埚与主炉体的侧壁之间安装有侧加热器，在石英坩埚与主炉体的底壁之间安装有底加热器。10.一种提高拉速的方法，利用如权利要求3所述的直拉单晶炉来实现，其特征在于：该方法采用直拉法生长单晶，拉晶过程中，保持提拉速度为1.8～2mm/min。2CN114369867A说明书1/3页滑动式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法技术领域[0001]本发明涉及直拉单晶硅生产技术领域，特别涉及一种滑动式石英加料装置、直拉单晶炉及提高拉速的方法。背景技术[0002]采用直拉法生长单晶的过程中，首先利用加料器向石英坩埚内加入硅料，加热硅料熔化成熔液，然后以一定的提拉速度形成单晶。[0003]现有技术中的加料器单一互换性差，对于不同规格的单晶炉需要配置不同规格的加料器，不利于降低成本。发明内容[0004]有鉴于此，针对上述不足，有必要提出一种滑动式石英加料装置。[0005]还有必要提出一种直拉单晶炉。[0006]还有必要提出一种提高拉晶速率的方法。[0007]一种滑动式石英加料装置，包括加料器、高度调节机构，所述加料器包括加料筒、连接法兰，所述连接法兰固设于加料筒的上端，高度调节机构包括固定法兰