立式热处理设备及其炉体装卸方法和转运装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112414107A(43)申请公布日2021.02.26(21)申请号202011215558.3(22)申请日2020.11.04(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人刘红丽杨帅(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315代理人施敬勃(51)Int.Cl.F27B1/10(2006.01)F27B1/12(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图7页(54)发明名称立式热处理设备及其炉体装卸方法和转运装置(57)摘要本发明公开一种立式热处理设备及其炉体装卸方法和转运装置，所公开的立式热处理设备包括壳体和炉体，所述壳体具有内腔和第一承载板，所述第一承载板设置于所述内腔，并将所述内腔沿高度方向从上到下依次分隔为炉体腔室和装卸腔室，所述第一承载板设置有避让口，所述避让口连通所述炉体腔室和所述装卸腔室；所述炉体具有炉口，所述炉体设置于所述内腔中的工作位置，并与所述第一承载板可拆卸连接，在所述工作位置时，所述炉体通过所述避让口部分伸入所述炉体腔室，且所述炉口位于所述装卸腔室。上述方案能够解决目前的立式热处理设备难以提升单炉晶片的处理量的问题。CN112414107ACN112414107A权利要求书1/2页1.一种立式热处理设备，其特征在于，包括壳体(100)和炉体(200)，所述壳体(100)具有内腔和第一承载板(110)，所述第一承载板(110)设置于所述内腔，并将所述内腔沿高度方向从上到下依次分隔为炉体腔室(120)和装卸腔室(130)，所述第一承载板(110)设置有避让口(111)，所述避让口(111)连通所述炉体腔室(120)和所述装卸腔室(130)；所述炉体(200)具有炉口，所述炉体(200)设置于所述内腔中的工作位置，并与所述第一承载板(110)可拆卸连接，在所述工作位置时，所述炉体(200)通过所述避让口(111)部分伸入所述炉体腔室(120)，且所述炉口位于所述装卸腔室(130)。2.根据权利要求1所述的立式热处理设备，其特征在于，所述炉体(200)在所述炉口的一侧设置有安装部(210)，所述安装部(210)沿所述炉体(200)的径向外延形成，所述安装部(210)通过多个具有预设长度的柱状紧固件与所述第一承载板(110)相连，所述多个柱状紧固件沿所述炉体(200)的周向均匀布设于所述安装部(210)，且均位于所述装卸腔室(130)。3.根据权利要求1所述的立式热处理设备，其特征在于，所述立式热处理设备包括升降机构，所述升降机构包括驱动模组和第二承载板(310)，所述第二承载板(310)可移动地设置于所述装卸腔室(130)内，所述驱动模组与所述第二承载板(310)相连，并驱动所述第二承载板(310)移动；所述第二承载板(310)用于承载所述炉体(200)，并带动所述炉体(200)由装载位置移动至所述工作位置，或者，带动所述炉体(200)由所述工作位置移动至所述装载位置。4.根据权利要求3所述的立式热处理设备，其特征在于，所述驱动模组包括驱动电机、第一导轨(320)和传动链条，所述第二承载板(310)可移动地设置于所述第一导轨(320)上，所述驱动电机通过所述传动链条与所述第二承载板(310)相连。5.根据权利要求3所述的立式热处理设备，其特征在于，所述立式热处理设备包括第一定位件(400)，所述第一定位件(400)可拆卸固定于所述第二承载板(310)，在所述第二承载板(310)承载所述炉体(200)时，所述第一定位件(400)与所述炉体(200)定位配合，以使得所述炉体(200)与所述避让口(111)相对。6.根据权利要求3所述的立式热处理设备，其特征在于，所述立式热处理设备包括第二定位件(500)，所述第二定位件(500)可拆卸固定于所述第二承载板(310)，在所述第二承载板(310)承载晶舟(600)时，所述第二定位件(500)与所述晶舟(600)定位配合，以使得所述晶舟(600)与所述炉口相对。7.根据权利要求1所述的立式热处理设备，其特征在于，所述壳体(100)具有开口(140)，所述开口(140)与所述装卸腔室(130)连通，所述炉体(200)可通过所述开口(140)转移至所述装卸腔室(130)内，或者通过所述开口(140)转移至所述装卸腔室(130)外。8.一种转运装置，其特征在于，用于转运权利要求1至7中任一项所述的立式热处理设备中的炉体(200)，所述转运装置(700)包括支架(710)、第三承载板(720)、第二导轨(730)和行走组件，所述第二导轨(730)设置于所述支架(710)上，所述第三承载板(720)可移动地设置于所