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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110285677A(43)申请公布日2019.09.27(21)申请号201910451091.3(22)申请日2019.05.28(71)申请人江苏大学地址212013江苏省镇江市京口区学府路301号(72)发明人郝秀春李宇翔(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D11/02(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图2页(54)发明名称一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具(57)摘要本发明公开了一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具,属于热处理设备技术领域,主要包括:真空腔体、加热系统、出气管路、进气管路以及泄气管路。加热系统由氧化铝支撑板、电流加热夹具和加热电极构成。本发明可以对固定在夹具上的半导体样品直接通电加热,或把耐热金属片,如钨、钼等固定在夹具上,样品置于金属片上,通电后金属片用焦耳热加热样品。本发明适用于小尺寸样品,可用于不同尺寸的样品进行高真空快速退火、惰性气体氛围退火等。本发明采用电流加热,具有升温速度快、能耗低、占用体积小等特点。CN110285677ACN110285677A权利要求书1/2页1.一种微型电流加热快速退火炉,其特征在于,包括保护罩(2)、加热夹具(3)、连接导线(6)、真空密封电极法兰(7)、加热电极正极(8)、加热电极负极(9)、进气管(11)、泄气管(14)、出气管(16)、底座(17)、直流电源线(19);所述保护罩(2)内部设有加热夹具(3),保护罩(2)的下端通过真空密封电极法兰(7)固定在底座(17)上,形成真空腔体;所述加热夹具(3)水平悬空放置在支撑板(5)上,支撑板(5)的两端分别连接支撑柱(4)的上部,支撑柱(4)的底部和真空密封电极法兰(7)固连;所述加热夹具(3)的底端通过连接导线(6)分别连接加热电极正极(8)、加热电极负极(9),加热电极正极(8)、加热电极负极(9)穿过真空密封电极法兰(7)底下的绝缘陶瓷(18)与直流电源线(19)相连,直流电源线(19)和直流电源相连;所述进气管(11)一端连接气体罐,进气管(11)另一端依次设有进气阀(13)、流量计(12),并与真空腔体相连通;所述泄气管(14)上设有泄气阀(15)并与真空腔体相连通;所述出气管(16)上设有出气阀(20),出气管(16)一端连通真空腔体,出气管(16)另一端连接真空泵组。2.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉,其特征在于,所述加热夹具为左右对称结构,左右两端各包括夹具体(301),螺栓(302),压板(303),螺钉(304),螺母(305);支撑板(5)上对应的一端分别设有第一腰形通孔(307)和第二腰形通孔(308),夹具体(301)通过螺栓(302)固定在支撑板(5)上;此时,螺栓(302)可以在第二腰形通孔(308)内移动并进行加热夹具范围粗调;此外,第一腰形通孔(307)能够防止螺栓(304)在移动或加热膨胀时和支撑板(5)发生挤压;夹具体(301)上端放置压板(303),压板(303)和夹具体(301)通过螺钉(304)连接,螺钉(304)能够在压板(303)上开有的第三腰形通孔(306)内移动,并进行加热夹具范围微调;加热样品放置于夹具体(301)和压板(303)之间,夹具所夹样品范围可以通过夹具体(301)粗调和压板(303)微调,夹具体夹样品的一端微陷,可以与样品良好地接触。3.根据权利要求2所述的一种微型电流加热快速退火炉,其特征在于,所述加热夹具(3)为耐高温金属;可将半导体样品,或耐热金属片,如钨、钼等通过螺钉(304)固定在压板(303)上。4.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉,其特征在于,所述加热电极正极(8)和加热电极负极(9)由真空密封电极法兰(7)上两根金属柱导出到真空腔室外。5.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉,其特征在于,所述底座(17)为中空腔体,底座(17)为上端开口,进气管(11)、泄气管(14)、出气管(16)、直流电源线(19)均经过底座(17)的上端开口;所述出气管(16)、进气管(11)以及泄气管(14)通过真空管接头接于真空密封电极法兰(7)上。6.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉,其特征在于,所述的保护罩(2)为透明的石英材质或耐高温金属。7.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉,其特征在于,所述支撑板(5)材质为氧化铝。8.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉,其特征在于,所述保护罩(2)、2CN110285677A权利要求书2/2页真空密封电极法兰(7)通过螺栓(10)固定在底座(17)上。9.根据权利要求1所述的一种微型电流加热快速退火炉,其特征在