一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具.pdf
灵慧****89
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一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具.pdf
本发明公开了一种微型电流加热快速退火炉及加热夹具,属于热处理设备技术领域,主要包括:真空腔体、加热系统、出气管路、进气管路以及泄气管路。加热系统由氧化铝支撑板、电流加热夹具和加热电极构成。本发明可以对固定在夹具上的半导体样品直接通电加热,或把耐热金属片,如钨、钼等固定在夹具上,样品置于金属片上,通电后金属片用焦耳热加热样品。本发明适用于小尺寸样品,可用于不同尺寸的样品进行高真空快速退火、惰性气体氛围退火等。本发明采用电流加热,具有升温速度快、能耗低、占用体积小等特点。
一种快速加热的退火炉系统.pdf
本发明涉及退火炉技术领域,尤其涉及一种快速加热的退火炉系统,包括加热系统、工作系统、冷却系统、气压平衡系统、运输上料系统、控制系统。加热系统产生高温气流。工作系统内完成产品的处理工作。冷却系统对工作系统内部进行冷却。气压平衡系统对工作系统的内部工作压力进行控制。运输上料系统运输物料盘。控制系统控制退火炉系统的整体运行。本发明具有如下有益效果:通过加热系统内的镀金层以及工作系统的进风管设计,便于加热系统的快速加热,便于工作系统内部快速升温至工作温度,加热效率更为高效,同时兼顾了能耗的节约;可实现工作系统内部
退火炉加热管电流监控改造装置.pdf
本发明介绍一种退火炉加热管电流监控改造装置,包括安装在退火炉底部的加热管,所述加热管与供电电缆相连,在所述供电电缆上安装有电流监控装置,所述电流监控装置是由电流互感模块、变送器模块和PLC模拟量输入模块构成,所述电流互感模块的输入端与供电电缆电连接,电流互感模块的输出端与变送器模块的输入端相连,所述变送器模块的输出端与PLC模拟量输入模块的输入端相连,所述PLC模拟量输入模块的输出端与操作终端通信连接。本发明的改造装置能够在第一时间发现故障问题,并反馈报警,而且可靠性较好,并且响应速度快,降低了事故发生率
快速退火炉加热系统以及温度控制方法.pdf
本申请涉及一种快速退火炉加热系统以及温度控制方法。该加热系统包括载体、沿第一方向设置的主加热器、沿第一方向设置的第一辅助加热器以及沿第二方向设置的第二辅助加热器,主加热器设置有多个,多个主加热器沿第二方向间隔连接在载体的反射面上;第一辅助加热器设置有两组,两组第一辅助加热器均连接在载体的反射面上,且,两组第一辅助加热器分别设置在多个主加热器的第二方向的两侧,第二辅助加热器设置有两组,两组第二辅助加热器均连接在载体的反射面上,两组第二辅助加热器相对设置在多个主加热器和载体的反射面之间,第一方向和第二方向相垂
一种钢材加热装置及钢材快速加热方法.pdf
本发明公开了一种钢材加热装置,包括传送单元和输送单元;传送单元包括支撑架,支撑架上可转动的设置有若干个转筒,各转筒通过传送带连接,至少一个转筒的一端与动力源连接,动力源设置在支撑架上,传送带上设置有若干个限位单元;支撑架上设置有与限位单元配合使用的推送单元;输送单元的输入端与支撑架的一侧连接,输送单元上设置有高频加热单元。本发明一方面,有效提高加热效率的同时降低了操作人员的劳动强度;另一方面,通过输送单元对钢材进行移动,使其钢材匀速移动,避免钢材存在加热不均的情况,有效的提高了加热质量;同时还具有结构简单