快速退火炉加热系统以及温度控制方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114485170A(43)申请公布日2022.05.13(21)申请号202111620969.5(22)申请日2021.12.27(71)申请人江苏邑文微电子科技有限公司地址226000江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号申请人无锡邑文电子科技有限公司(72)发明人刘二强孙文彬林政勋戴建波(74)专利代理机构北京众达德权知识产权代理有限公司11570专利代理师安磊(51)Int.Cl.F27B17/00(2006.01)F27D19/00(2006.01)H01L21/324(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图7页(54)发明名称快速退火炉加热系统以及温度控制方法(57)摘要本申请涉及一种快速退火炉加热系统以及温度控制方法。该加热系统包括载体、沿第一方向设置的主加热器、沿第一方向设置的第一辅助加热器以及沿第二方向设置的第二辅助加热器，主加热器设置有多个，多个主加热器沿第二方向间隔连接在载体的反射面上；第一辅助加热器设置有两组，两组第一辅助加热器均连接在载体的反射面上，且，两组第一辅助加热器分别设置在多个主加热器的第二方向的两侧，第二辅助加热器设置有两组，两组第二辅助加热器均连接在载体的反射面上，两组第二辅助加热器相对设置在多个主加热器和载体的反射面之间，第一方向和第二方向相垂。本申请可保证加热件的加热均匀，使加热件的温性均匀，提高产品质量。CN114485170ACN114485170A权利要求书1/2页1.一种快速退火炉加热系统，其特征在于，所述加热系统包括：载体；沿第一方向设置的主加热器，所述主加热器设置有多个，多个所述主加热器沿第二方向间隔连接在所述载体的反射面上；沿第一方向设置的第一辅助加热器，所述第一辅助加热器设置有两组，两组所述第一辅助加热器均连接在所述载体的反射面上，且，两组所述第一辅助加热器分别设置在多个所述主加热器的第二方向的两侧；沿第二方向设置的第二辅助加热器，所述第二辅助加热器设置有两组，两组所述第二辅助加热器均连接在所述载体的反射面上，两组所述第二辅助加热器相对设置在多个所述主加热器和所述载体的反射面之间；所述第一方向和所述第二方向相垂直。2.根据权利要求1所述的快速退火炉加热系统，其特征在于，多个所述主加热器并联设置，并连接至第一引线汇流排上，所述第一引线汇流排设置在所述载体上。3.根据权利要求2所述的快速退火炉加热系统，其特征在于，每组所述第一辅助加热器均包括一个以上的所述第一辅助加热器；多个所述第一辅助加热器并联设置，并连接至所述第一引线汇流排上。4.根据权利要求1所述的快速退火炉加热系统，其特征在于，每组所述第二辅助加热器均包括一个以上的所述第二辅助加热器；多个所述第二辅助加热器并联设置，并连接至第二引线汇流排上，所述第二引线汇流排设置在所述载体上。5.根据权利要求1‑4任一项所述的快速退火炉加热系统，其特征在于，所述载体的反射面上设置有屏蔽层；所述主加热器以及所述第一辅助加热器朝向所述载体的侧部设置有反射涂层，所述反射涂层设置在两组所述第二辅助加热器之间；所述第二辅助加热器朝向所述载体的侧部也设置有反射涂层。6.根据权利要求1‑4任一项所述的快速退火炉加热系统，其特征在于，所述加热系统还包括：冷却座，所述载体装配在所述冷却座的外侧面上，所述冷却座内设置有冷却腔，所述冷却腔装配所述载体的内侧面上设置有多列水道，所述冷却座上设置有进水口以及出水口，所述进水口以及所述出水口均和多列所述水道连通。7.根据权利要求6所述的快速退火炉加热系统，其特征在于，所述冷却座背离所述载体的侧面设置有进风部；所述加热系统还包括风机，所述风机安装在所述冷却座上，所述风机的出风口和所述冷却座上的进风部连通。8.根据权利要求7所述的快速退火炉加热系统，其特征在于，所述进风部间隔设置有多个，所述风机也对应设置有多个，所述风机的出风口和对应的所述进风部连通；所述载体上设置有风孔，多个所述风机中的一个所述风机为抽风风机，其余所述风机为进风风机；其中，多个所述进风风机将冷却风引入到所述冷却腔内后，再通过所述载体上的风孔2CN114485170A权利要求书2/2页引入到所述载体和各个所述加热器之间，以对所述载体和所述加热器降温，再通过所述抽风风机将热交换的热风引出所述冷却。9.根据权利要求7所述的快速退火炉加热系统，其特征在于，所述加热系统还包括：引风罩，所述引风罩罩设在所述冷却座上，所述风机位于所述引风罩内，所述引风罩的表面上设置有引风部。10.一种根据权利要求1‑9任一项所述的快速退火炉加热系统的温度控制方法，其特征在于，所述温度控制方法包括：控制所述主加热器工作，以对加热件加热；确认所述加热件的各个区域的温度；确认所述加热件的某个区域的温度低于其余区