一种快速加热的退火炉系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114737029A(43)申请公布日2022.07.12(21)申请号202210422124.3(22)申请日2022.04.21(71)申请人苏州热传道集成电路科技有限公司地址215335江苏省苏州市昆山开发区前进东路科技广场405室72号工位（集群登记）(72)发明人王文寿康文兵陈永红朱炜泉(74)专利代理机构浙江新篇律师事务所33371专利代理师王嘉(51)Int.Cl.C21D1/26(2006.01)C21D1/40(2006.01)C21D9/00(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图5页(54)发明名称一种快速加热的退火炉系统(57)摘要本发明涉及退火炉技术领域，尤其涉及一种快速加热的退火炉系统，包括加热系统、工作系统、冷却系统、气压平衡系统、运输上料系统、控制系统。加热系统产生高温气流。工作系统内完成产品的处理工作。冷却系统对工作系统内部进行冷却。气压平衡系统对工作系统的内部工作压力进行控制。运输上料系统运输物料盘。控制系统控制退火炉系统的整体运行。本发明具有如下有益效果：通过加热系统内的镀金层以及工作系统的进风管设计，便于加热系统的快速加热，便于工作系统内部快速升温至工作温度，加热效率更为高效，同时兼顾了能耗的节约；可实现工作系统内部物料盘的自动化更换，自动化程度更高，提高了工作效率。CN114737029ACN114737029A权利要求书1/2页1.一种快速加热的退火炉系统，其特征在于：包括加热系统（1）、工作系统（2）、冷却系统（3）、气压平衡系统（4）、运输上料系统（5）、控制系统（6）；所述加热系统（1）包括加热炉壳（11）、加热炉壁（12）、加热炉盖（13）以及与工作炉膛连通的上方的第一进风管道（14）、下方的第一出风管道（15）；所述加热炉壁（12）由炉衬耐高温材料制成，表面设有镀金层（121）；所述加热炉壁（12）上设有多个测温装置（16），工作炉膛内设有电热辐射管（17）；所述第一进风管道（14）和所述第一出风管道（15）上都设有单向电磁阀，所述第一出风管道（15）上设有导风风机（18）；所述工作系统（2）包括工作炉壳（21）、工作炉壁（22）、工作炉盖（23）以及与所述第一出风管道（15）连接的第二进风管道（25）、与所述第一进风管道（14）连接的第二出风管道（24）；所述工作炉壁（22）内设有测温装置，下方设有放置座（26），下方设有水平的匀流板（27），后端设有竖直的匀流板（27），所述放置座（26）上放置待处理产品；所述第二进风管道（25）包括上层管道（251）与下层管道（252），所述上层管道（251）中的气流通过竖直设置的匀流板（27）后进入工作炉膛；所述下层管道（252）中的气流通过水平设置的匀流板（27）后进入工作炉膛；所述冷却系统（3）对所述工作系统（2）内部进行冷却；所述气压平衡系统（4）与所述工作系统（2）上设置的气压管道连接，对所述工作系统（2）的内部工作压力进行控制；所述运输上料系统（5）将待处理元件运输至所述工作系统（2）的内部；所述控制系统（6）控制退火炉系统的整体运行。2.根据权利要求1所述的一种快速加热的退火炉系统，其特征在于：所述退火炉系统还包括安装平台（7），所述安装平台（7）后方设置所述加热系统（1），上方固定所述冷却系统（3），下方安装所述工作系统（2），两侧分别设置所述控制系统（6）与所述气压平衡系统（4），前方设置所述运输上料系统（5）。3.根据权利要求1所述的一种快速加热的退火炉系统，其特征在于：水平的所述匀流板（27）倾斜设置，靠近所述下层管道（251）的一侧处于高位。4.根据权利要求1所述的一种快速加热的退火炉系统，其特征在于：所述运输上料系统（5）包括运输车（51）、运输轨道（52）以及驱动机构，所述运输车（51）包括上料支架（53）与运输支架（54），两个支架上可放置物料盘（8），所述上料支架（53）设置于所述运输支架（54）的下方。5.根据权利要求4所述的一种快速加热的退火炉系统，其特征在于：所述放置座（26）上设有单向转动的放置部（261），所述放置部（26）与所述放置座（261）为可旋转连接，所述物料盘（8）上设有与所述放置部（261）匹配的凸起部（81）。6.根据权利要求4所述的一种快速加热的退火炉系统，其特征在于：所述物料盘（8）两侧设有弹性伸缩的限位部（82），所述限位部（82）与所述物料盘（8）本体弹性连接，且所述限位部（82）外侧倾斜设置。7.根据权利要求5或6所述的一种快速加热的退火炉系统，其特征在于：所述驱动机构包括推进杆（55）以及升降推杆（56），所述升降推杆（56）为两节推杆设计。8.根据权利要求1所述的一种快速加热的退火炉系统，其特征