化学气相沉积炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102181845A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102181845A(43)申请公布日2011.09.14(21)申请号201110097880.5(22)申请日2011.04.19(71)申请人西安电炉研究所有限公司地址710061陕西省西安市朱雀大街南段222号(72)发明人王利花张淑蓉李勇(74)专利代理机构西安新思维专利商标事务所有限公司61114代理人李罡(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称化学气相沉积炉(57)摘要本发明涉及一种化学气相沉积炉。此类化学气相沉积炉大多是在原有真空炉的基础上改造而成，在生产过程中，操作工人要随时监视系统工作情况，发现隐患要立即解决，工人劳动强度相当大，用工成本高。本发明包括炉本体、炉体提升机构、炉盖提升机构、三级过滤系统、真空系统、加热器，加热器包括上区加热体、中区加热体、下区加热体；炉本体采用立式、内热式结构，包括炉盖、上炉体、下炉体、炉底。本发明采用整体式隔热屏，便于拆卸、清洗；上炉体加热体固定在上炉体内，便于装卸料及炉内清洁。CN102845ACCNN110218184502181849A权利要求书1/1页1.一种化学气相沉积炉，其特征在于：包括炉本体（1）、炉体提升机构（2）、炉盖提升机构（3）、三级过滤系统（4）、真空系统（5）、加热器（6），加热器（6）包括上区加热体、中区加热体、下区加热体；炉本体（1）采用立式、内热式结构，包括炉盖（13）、上炉体（14）、下炉体（15）、炉底（16），上炉体（14）和下炉体（15）为圆筒形、双层水冷结构，炉盖（13）内侧设置上区加热体，上炉体（14）内设置中区加热体，炉底（16）上设置下区加热体，炉本体（1）的内壁设置有隔热屏（27）；所述的炉本体（1）的上炉体（14）外一侧与炉体提升机构（2）连接，炉盖（13）上端与设置在上炉体（14）侧面的炉盖提升机构（3）连接；所述的炉本体（1）的出气口经三级过滤系统（4）与真空系统（5）连接。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的炉体提升机构（2）由驱动单元（7）、立柱（12）、丝杆（9）、丝母（10）、导向座（25）及轴承座（8）组成，驱动单元包括减速机、电机、变频器，减速机及电机采用直联形式，减速机的输出轴垂直向下并与丝杆（9）连接，立柱（12）设置在炉体提升机构（2）的底部，导向座（25）套设在立柱（12）上并通过丝母（10）与丝杠（9）连接，导向座（25）的一侧与炉本体（1）的上炉体（14）的连接座连接，丝母（10）套设在立柱（12）上。3.3、根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的炉盖提升机构（3）由电动升降机（17）、一对滑动轴承座（18）、横臂（19）、提升轴（20）组成，电动升降机（17）固定在上炉体（14）侧壁的支架上，滑动轴承座（18）固定在上炉体（14）侧壁的连接座上，横臂（19）将炉盖（13）与提升轴（20）连为一体，提升轴（20）设置在滑动轴承座（18）内，提升轴（20）上套设导向筒（26），导向筒（26）的一侧与炉本体（1）的上炉体（14）的连接。4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的三级过滤系统（4）包括一级过滤器（21）、二级过滤器（22）、三级过滤器（23），一级过滤器（21）的上部腔体为双层水冷结构，一级过滤器（21）的上部腔体内设置有水冷挡板（24），一级过滤器（21）的下部为锥形捕集腔，一级过滤器（21）、二级过滤器（22）、三级过滤器（23）依次连接，三级过滤器（23）的输出端与真空泵系统（5）连接。5.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的二级过滤器（22采用布袋过滤器。6.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的三级过滤器（23）采用活性炭过滤器。7.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的炉本体（1）的内壁分段设置有隔热屏。8.根据权利要求1或4所述的化学气相沉积炉，其特征在于：所述的真空系统（5）采用两台真空泵并联构成。2CCNN110218184502181849A说明书1/3页化学气相沉积炉技术领域[0001]本发明属于热处理设备，具体涉及一种化学气相沉积炉。背景技术[0002]CVD化学气相沉积炉是利用化学气相沉积（ChemicalVaporDeposition）的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。为了得到工艺要求的沉积厚度，此沉积过程一般需连续工作20天左右。为了更好的制备出高质量的产品，沉积过程不仅要求在非常洁净的环境下进