用于石墨舟上下片装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN106399975A(43)申请公布日2017.02.15(21)申请号201611159788.6(22)申请日2016.12.15(71)申请人乐山新天源太阳能科技有限公司地址614000四川省乐山市高新区建业大道9号(72)发明人陈五奎刘强耿荣军任超黄振华徐文州(74)专利代理机构成都点睛专利代理事务所(普通合伙)51232代理人李玉兴(51)Int.Cl.C23C16/458(2006.01)C23C16/513(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称用于石墨舟上下片装置(57)摘要本发明公开了一种工作效率较高且能够减少硅片受污染几率的用于石墨舟上下片装置。该用于石墨舟上下片装置，包括支架，支架上设置有托架，托架上方设置有机械手，支架上设置有硅片上料盒与硅片下料盒，硅片上料盒上连接有支撑架，支架上设置有升降装置，硅片上料盒的外侧设置有自动上片装置；在工作时，利用自动上片装置将上一个工序的加工完成的硅片直接送入硅片上料盒内，然后利用机械手将硅片上料盒内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内放置的硅片取出放入硅片下料盒内，可以实现生产的机械化和自动化，大大降低了工人的劳动强度，节约了人力成本，提高了工作效率，同时，降低了硅片被污染的几率。适合在硅片加工设备领域推广应用。CN106399975ACN106399975A权利要求书1/2页1.用于石墨舟上下片装置，其特征在于：包括支架(1)，所述支架(1)上设置有托架(2)，所述托架(2)用于放置石墨舟，所述托架(2)上方设置有用于取放硅片的机械手(3)，所述支架(1)上设置有硅片上料盒(4)与硅片下料盒(5)，所述机械手(3)将硅片上料盒(4)内的硅片取出后放入石墨舟内或将石墨舟内的硅片取出放入硅片下料盒(5)内；所述硅片下料盒(5)通过可拆卸结构固定在支架(1)上，所述硅片上料盒(4)上连接有支撑架(7)，所述支架(1)上设置有用于使支撑架(7)上下移动的升降装置(8)，所述硅片上料盒(4)的外侧设置有自动上片装置(6)；所述硅片上料盒(4)包括底板(401)，所述底板(401)的上表面设置有第一挡板(402)与第二挡板(403)，所述第一挡板(402)与第二挡板(403)平行设置，所述第一挡板(402)朝向第二挡板(403)的一侧表面设置有多个第一卡槽(404)，所述第二挡板(403)朝向第一挡板(402)的一侧表面设置有多个第二卡槽(405)，多个第一卡槽(404)与多个第二卡槽(405)一一对应，硅片的一端卡入第一卡槽(404)内，硅片的另一端卡入与第一卡槽(404)对应的第二卡槽(405)内，所述相邻的两个第一卡槽(404)之间的间距与相邻的两个卡板(31702)之间的间距相同，所述第一卡槽(404)的数量与卡板(31702)的数量相同，所述硅片下料盒(5)与硅片上料盒(4)的结构相同；所述自动上片装置(6)包括无头的第一输送带(601)、无头的第二输送带(602)、第一主动轮(603)、第二主动轮、第一从动轮(604)、第二从动轮，无头的第一输送带(601)依次绕过第一主动轮(603)和第一从动轮(604)并且第一输送带(601)被第一主动轮(603)和第一从动轮(604)绷紧，无头的第二输送带(602)依次绕过第二主动轮和第二从动轮并且第二输送带(602)被第二主动轮和第二从动轮绷紧，第一主动轮(603)与第二主动轮分别与驱动电机(605)相连，所述第一主动轮(603)与第二主动轮的中心轴线互相重合，所述第一从动轮(604)与第二从动轮的中心轴线互相重合，所述第一输送带(601)与第二输送带(602)互相平行且位于上层第一输送带(601)与位于上层的第二输送带(602)位于同一水平面，所述第一主动轮(603)靠近硅片上料盒(4)；所述第一主动轮(603)、第二主动轮、第一从动轮(604)、第二从动轮均通过轴承固定在支架(1)上，所述第一输送带(601)与第二输送带(602)之间设置有支撑平台(606)，所述支撑平台(606)的上表面设置有接近开关(607)，所述接近开关(607)位于第一输送带(601)与第二输送带(602)之间且接近开关(607)处于位于上层的第一输送带(601)所在平面的下方，所述接近开关(607)上连接有控制器(608)，所述控制器(608)与升降装置(8)、驱动电机(605)相连接；所述机械手(3)包括移动平台、两个互相平行设置的第一滑轨(302)，两个第一滑轨(302)固定在支架(1)上，所述移动平台(301)的下表面设置有两个互相平行的第一滑槽(303)，两个第一滑轨(302)分别卡入两个第一滑槽(303)内，所述移动平台(301)上