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单晶炉加料方法及单晶炉加料系统.pdf
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小云****66
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单晶炉加料方法及单晶炉加料系统.pdf
本发明涉及一种单晶炉加料方法及单晶炉加料系统。单晶炉加料方法包括：确定下一台待加料的单晶炉；将单晶炉加料机驱动至待加料的单晶炉位置处；将单晶炉加料机的出料口与待加料的单晶炉的进料口密封对接；控制单晶炉加料机向待加料的单晶炉加料；在向待加料的单晶炉加料完毕后，继续执行确定下一台待加料的单晶炉的步骤。单晶炉加料系统包括控制模块、单晶炉加料机和至少一台单晶炉，控制模块通过有线网络或无线网络分别与单晶炉加料机和至少一台单晶炉通信连接，控制模块用于执行单晶炉加料方法。单晶炉加料方法通过一台单晶炉加料机对应多台单晶炉
2023-06-15
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2023-06-15
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