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保温毡及其制备方法、拉晶炉.pdf
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保温毡及其制备方法、拉晶炉.pdf
本发明提供了一种保温毡及其制备方法、拉晶炉，属于半导体技术领域。保温毡的制备方法，包括：提供保温毡本体；利用气相沉积工艺在所述保温毡本体表面形成碳基材料保护层。本发明能够增强保温毡表面的抗划伤能力和保护能力，提高保温毡的使用寿命。
2023-06-16
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拉晶炉的副室装置、拉晶炉及其控制方法.pdf
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2023-06-03
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拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法.pdf
本申请公开了一种拉晶夹具、拉晶炉及拉晶方法，其中，拉晶夹具应用于二次转肩拉晶工艺，包括上下间隔设置的第一安装件和第二安装件，第一安装件和第二安装件上同轴设置有通孔，通孔内穿设有用于向上拉晶的拉晶绳，且所述拉晶绳上设置有能与第二安装件向上定位配合的定位部；围绕通孔的轴线设置有至少三个卡爪，各卡爪在水平方向上具有夹持状态和释放状态；第一连杆机构和第二连杆机构，至少用于在定位部与第二安装件向上定位配合，且第二安装件随所述拉晶绳向上运动预定距离后，控制各卡爪由释放状态同步切换为夹持状态。上述方案用于在拉晶过程中对
2023-06-10
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拉晶炉用保温材料的生产方法.pdf
一种拉晶炉用保温材料的生产方法，其技术要点是，包括以下步骤：选择碳化或石墨化的碳纤维复合材料；将碳纤维复合材料用有机复合树脂浸泡或涂刷表面1~3次后，干燥备用；固化后，在碳纤维复合材料表面涂敷封孔剂，干燥备用；选择碳化或石墨化的碳纤维毡；将碳纤维毡用有机复合树脂浸泡或涂刷表面后，干燥备用；在处理过的碳纤维复合材料和碳纤维毡表面分别涂敷胶黏剂，将两种材料缠绕贴合在一起，用模具固定后固化；然后将产品送入高温炉在进行碳化、石墨化，表面处理后送入纯化炉，在惰性气体、氯气中纯化，取出即得成品。解决了现有技术生产工艺
2023-06-19
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工业真空炉用防腐蚀复合保温盖毡及其制备方法.pdf
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2023-06-16
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