保温毡及其制备方法、拉晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110820320A(43)申请公布日2020.02.21(21)申请号201911078450.1(22)申请日2019.11.06(71)申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司地址710065陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室(72)发明人不公告发明人(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静刘伟(51)Int.Cl.D06M11/74(2006.01)C23C14/06(2006.01)C30B15/00(2006.01)D06M101/40(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称保温毡及其制备方法、拉晶炉(57)摘要本发明提供了一种保温毡及其制备方法、拉晶炉，属于半导体技术领域。保温毡的制备方法，包括：提供保温毡本体；利用气相沉积工艺在所述保温毡本体表面形成碳基材料保护层。本发明能够增强保温毡表面的抗划伤能力和保护能力，提高保温毡的使用寿命。CN110820320ACN110820320A权利要求书1/1页1.一种保温毡的制备方法，其特征在于，包括：提供保温毡本体；利用气相沉积工艺在所述保温毡本体表面形成碳基材料保护层。2.根据权利要求1所述的保温毡的制备方法，其特征在于，所述保护层采用类金刚石薄膜DLC。3.根据权利要求2所述的保温毡的制备方法，其特征在于，在所述保温毡本体表面形成所述保护层包括：在真空腔体中，使用氩气作为溅射气体，通过电场产生氩等离子体，轰击石墨靶材，产生石墨微粒子，石墨微粒子在所述保温毡本体表面沉积形成所述保护层。4.根据权利要求3所述的保温毡的制备方法，其特征在于，所述制备方法还包括：部分石墨微粒子进入所述保温毡本体的孔隙中，形成与所述保温毡本体结合的粘结层。5.根据权利要求3所述的保温毡的制备方法，其特征在于，沉积温度为600-900℃，沉积压力为0.5-1Pa，沉积厚度为50-100um。6.一种保温毡，其特征在于，采用如权利要求1-5中任一项所述的制备方法制作得到，所述保温毡包括保温毡本体和位于所述保温毡本体表面的碳基材料保护层。7.根据权利要求6所述的保温毡，其特征在于，所述保护层采用类金刚石薄膜DLC。8.根据权利要求7所述的保温毡，其特征在于，还包括：位于所述保温毡本体的孔隙中，由石墨微粒子形成的与所述保温毡本体结合的粘结层。9.根据权利要求6所述的保温毡，其特征在于，所述保护层的厚度为50-100um。10.一种拉晶炉，其特征在于，包括加热器和包裹在所述加热器外部的如权利要求6-9中任一项所述的保温毡。2CN110820320A说明书1/3页保温毡及其制备方法、拉晶炉技术领域[0001]本发明涉及半导体技术领域，特别是指一种保温毡及其制备方法、拉晶炉。背景技术[0002]拉晶炉中，为了形成稳定的热场分布，保持高温状态，需要加热器和保温毡；其中，保温毡位于加热器外部，用于保温隔热；加热器对内部坩埚提供热量，用于形成稳定热场。[0003]现有技术中，保温毡由碳纤维编制而成，表面疏松，易损易碎，影响使用寿命和隔热性能。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题是提供一种保温毡及其制备方法、拉晶炉，能够增强保温毡表面的抗划伤能力和保护能力，提高保温毡的使用寿命和隔热性能。[0005]为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：[0006]一方面，本发明实施例提供一种保温毡的制备方法，包括：[0007]提供保温毡本体；[0008]利用气相沉积工艺在所述保温毡本体表面形成碳基材料保护层。[0009]可选地，所述保护层采用类金刚石薄膜DLC。[0010]可选地，所述气相沉积工艺包括物理气相沉积工艺和化学气相沉积工艺。[0011]可选地，在所述保温毡本体表面形成所述保护层包括：[0012]在真空腔体中，使用氩气作为溅射气体，通过电场产生氩等离子体，轰击石墨靶材，产生石墨微粒子，石墨微粒子在所述保温毡本体表面沉积形成所述保护层。[0013]可选地，所述制备方法还包括：[0014]部分石墨微粒子进入所述保温毡本体的孔隙中，形成与所述保温毡本体结合的粘结层。[0015]可选地，沉积温度为600-900℃，沉积压力为0.5-1Pa，沉积厚度为50-100um。[0016]本发明实施例还提供了一种保温毡，采用如上所述的制备方法制作得到，所述保温毡包括保温毡本体和位于所述保温毡本体表面的碳基材料保护层。[0017]可选地，所述保护层采用类金刚石薄膜DLC。[0018]可选地，还包括：[0019]位于所述保温毡本体的孔隙中，由石墨微粒子形成的与所述保温毡本体结合的粘结层。[0020]可选地，所述保护层的厚度为50-100um。[0021]本发明实施例还提供了一种拉晶