一种氮氧化硅PERC背钝化方法及钝化炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110854243A(43)申请公布日2020.02.28(21)申请号201911415067.0(22)申请日2019.12.31(71)申请人昊诚光电（太仓）有限公司地址215400江苏省苏州市太仓市常胜北路168号(72)发明人雷杰(74)专利代理机构北京连和连知识产权代理有限公司11278代理人刘小峰(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种氮氧化硅PERC背钝化方法及钝化炉(57)摘要本发明公开了一种氮氧化硅PERC背钝化方法及钝化炉，通过阶梯设置的温度进行钝化，并且在其中加入N2O，能够提高背钝化的效果；另外，增加换热机构，使得炉门打开时，将端部气体传递至炉管尾端，尽可能减少热量的丧失，进而节约能源。加热层采用独立控制的电热丝作为加热源，降低了设备成本，并且对炉内温度实现分区控制，使温度控制更加精确。CN110854243ACN110854243A权利要求书1/1页1.一种氮氧化硅PERC背钝化方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，启动钝化炉，对其进行预热，使其加热至350℃，保温20分钟；第二步，将电池片的石墨舟放入钝化炉内，保持炉内温度350℃，通入NH3和N2O，并且其重量比例为1:2，保温110-120秒；第三步，通入SiH4、NH3和N20的混合气体，并且其重量比例为1:3:6，保温900-1000秒；第四步，钝化炉内升温至480℃，通入SiH4和NH3并且其重量比例为1:3，保温180-200秒；第五步，通入SiH4和NH3，并且其重量比例为1:4，保温75-85秒；第六步，通入SiH4和NH3，并且其重量比例为1:5，保温400-430秒；第七步，取出石墨舟。2.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化方法，其特征在于，第二步、第三步中，钝化炉内部压力保持在191Pa。3.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化方法，其特征在于，第四步、第五步和第六步中，钝化炉内部压力保持在202Pa。4.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化方法，其特征在于，钝化炉内从入口处依次设置五个温区；在第二步和第三步中，第一温区加热温度在360℃，中间三个温区温度在350℃，最后一个温区设置340℃。5.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化方法，其特征在于，钝化炉内从入口处依次设置五个温区；在第四步、第五步和第六步中，第一五个温区均设置在480℃。6.根据权利要求1所述的一种氮氧化硅PERC背钝化方法，其特征在于，第七步中，打开炉门前，启动换热机构，将炉口端的气体传递至炉管的尾端。7.一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，包括炉管、换热机构和抽气机构，所述炉管包括石英内层、加热层和保温外层，所述炉管的炉口端设置进气口，所述抽气机构设置在所述炉管的尾端，利用所述抽气机构对所述炉管内抽气，以促进炉管内气体流动；所述换热机构将所述炉管内炉口端的气体传送至所述炉管的尾端。8.根据权利要求7所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，所述加热层有依次设置的五个独立控制的电热丝组成，并且通过热电偶进行实时测温。9.根据权利要求7所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，所述抽气机构包括抽气泵和抽气管，所述抽气管沿所述炉管尾端的周向设置四个抽气口。10.根据权利要求7所述的一种氮氧化硅PERC背钝化的钝化炉，其特征在于，所述保温外层为玻璃纤维棉。2CN110854243A说明书1/4页一种氮氧化硅PERC背钝化方法及钝化炉技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池片生产领域，特别涉及一种氮氧化硅PERC背钝化方法及其钝化炉。背景技术[0002]随着能源问题的日益突出，太阳能作为一种可再生的清洁能源，越来越受到人们的关注，太阳电池的应用前景也越来越广泛。晶体硅太阳电池一直是太阳电池领域的主力军，特别单晶硅电池转换率高于多晶硅，受到青睐。但是国内民用太阳能电池的普及率依然很低，原因还是在太阳能电池生产成本过高，理论上理想的生产工艺与产业化生产差距大，成品良率低，电池转换效率也与理论相差大，电池安装成本高等。因此降低制造成本和提高转化率是太阳电池制造行业的努力方向。[0003]电池片在生产过程中，需要在硅片的表面镀上一层减反射膜。目前，采用等离子体增强化学气相沉积方法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，PECVD)，使气体在硅电池片表面发生化学反应并形成覆盖层，即减反射膜。此减反射膜的主要作用是：降低反射率、良好的体钝化和表面钝化，以及利用氮化硅薄膜的强致密性和耐多数酸碱性，在硅片表面形成保护层