一种半导体扩散炉保温桶及其夹取装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115287628A(43)申请公布日2022.11.04(21)申请号202210870217.2(22)申请日2022.07.23(71)申请人盛吉盛精密制造（绍兴）有限公司地址312000浙江省绍兴市越城区皋埠街道银城路97号4号厂房申请人盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司(72)发明人王卫良李士昌刘超平曹飞(51)Int.Cl.C23C16/44(2006.01)C23C16/48(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图7页(54)发明名称一种半导体扩散炉保温桶及其夹取装置(57)摘要本申请涉及一种半导体扩散炉保温桶及其夹取装置，其包括多个由石英玻璃所制成的保温翅片，多个所述保温翅片均同轴且沿所述保温翅片轴向均匀间隔分布，多个所述保温翅片通过连接件连接，所述保温翅片的一侧开设有多个贯穿保温翅片的定位孔，多个所述定位孔沿所述保温翅片周向均匀分布。本申请能够减少制造保温桶所用的材料，具有减少制造保温桶的成本的效果。CN115287628ACN115287628A权利要求书1/2页1.一种半导体扩散炉保温桶，其特征在于：包括多个由石英玻璃所制成的保温翅片（1），多个所述保温翅片（1）均同轴且沿所述保温翅片（1）轴向均匀间隔分布，多个所述保温翅片（1）通过连接件连接，所述保温翅片（1）的一侧开设有多个贯穿保温翅片（1）的定位孔（12），多个所述定位孔（12）沿所述保温翅片（1）周向均匀分布。2.根据权利要求1所述的一种半导体扩散炉保温桶，其特征在于：所述连接件包括多组连接柱组，每组所述连接柱组分别设置在相邻两所述保温翅片（1）之间，每组所述连接柱组包括多个连接柱（14），多个所述连接柱（14）沿所述保温翅片（1）周向均匀分布，所述连接柱（14）的两端分别与相邻两块保温翅片（1）焊接。3.根据权利要求2所述的一种半导体扩散炉保温桶，其特征在于：相邻两所述保温翅片（1）相互面对的一侧均开设有多个固定孔（13），多个所述固定孔（13）与多个所述连接柱（14）一一对应，所述连接柱（14）的两端分别插入相邻两所述保温翅片（1）的固定孔（13）中。4.一种夹取装置，用于夹取权利要求3所述的半导体扩散炉保温桶，其特征在于：包括工作台（2）以及设置在所述工作台（2）上的夹持机构（3）和驱动机构（4），所述夹持机构（3）包括第一夹片（31）和第二夹片（32），所述第一夹片（31）与所述第二夹片（32）之间形成用于夹持所述连接柱（14）的第一夹持口（73），所述第一夹片（31）和所述第二夹片（32）均沿靠近或远离所述连接柱（14）方向滑移设置在所述工作台（2）上，所述工作台（2）上设置有带动第一夹片（31）和第二夹片（32）沿靠近或远离所述连接柱（14）方向滑移的滑移机构，所述驱动机构（4）用于驱动所述第一夹片（31）和所述第二夹片（32）相互靠近或远离。5.根据权利要求4所述的一种夹取装置，其特征在于：所述第一夹片（31）背对所述第二夹片（32）的一侧设置有第一杆（54），所述第二夹片（32）背对所述第一夹片（31）的一侧设置有第二杆（64），所述第一杆（54）朝向所述第二杆（64）的一侧设置有第三夹片（71），所述第二杆（64）朝向所述第一杆（54）的一侧设置有第四夹片（72），所述第三夹片（71）与所述第四夹片（72）之间形成用于夹持所述连接柱（14）的第二夹持口（74），当所述第一夹持口（73）中夹持有连接柱（14）时，所述第二夹持口（74）中也夹持有连接柱（14），所述驱动机构（4）用于驱动所述第一杆（54）和所述第二杆（64）相互靠近或远离，所述滑移机构用于驱动所述第一杆（54）和所述第二杆（64）沿靠近或远离所述连接柱（14）方向同步滑移。6.根据权利要求5所述的一种夹取装置，其特征在于：所述驱动机构（4）包括驱动电机（41）、齿轮（42）、第一齿条（43）和第二齿条（44），所述工作台（2）的上表面滑移设置有安装块（22），所述安装块（22）内开设有空腔，所述齿轮（42）水平转动设置在所述安装块（22）上且所述齿轮（42）位于所述空腔中，所述第一齿条（43）的一端与所述第一杆（54）固定连接，所述第一齿条（43）穿过所述安装块（22）且与所述安装块（22）滑移连接，所述第一齿条（43）与所述齿轮（42）啮合，所述第二齿条（44）远离所述第一杆（54）的一端与所述第二杆（64）固定连接，所述第二齿条（44）穿过所述安装块（22）且与所述安装块（22）滑移连接，所述第二齿条（44）与所述齿轮（42）啮合，所述齿轮（42）位于所述第一齿条（43）与所述第二齿条（44）之间，所述驱动电机（41）设置在所述安装块（22）上且用于带动所述齿轮（42）转动，所述滑移机构用于带动