一种玻璃表面冷喷涂涂层的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111058023A(43)申请公布日2020.04.24(21)申请号201911176837.0(22)申请日2019.11.26(71)申请人中国兵器科学研究院宁波分院地址315103浙江省宁波市高新区凌云路199号(72)发明人崔烺王春婷戴宇黄伟明贾利刘光郑子云陈杰赵健(74)专利代理机构宁波诚源专利事务所有限公司33102代理人袁忠卫张琳琳(51)Int.Cl.C23C24/04(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称一种玻璃表面冷喷涂涂层的制备方法(57)摘要本发明涉及一种玻璃表面冷喷涂涂层的制备方法，依次包括以下步骤：1)对玻璃非金属基体表面进行除油、超声清洗处理；2)选取粉末粒度为15-38μm的铝粉末作为冷喷涂粉末，并在将铝粉末进行干燥处理；3)将步骤1)中的玻璃基体放入炉中，进行预热处理；4)将步骤3)处理后的玻璃基体固定在喷涂夹具上，并将经过步骤2)处理的冷喷涂粉末装入冷喷涂设备的送粉器中，设定喷涂工艺参数后利用冷喷涂工艺在玻璃基材表面制备涂层。本发明所制备的铝涂层氧含量低，粉末粒子沉积率、致密性及结合强度高，且孔隙率低及导电性好；涂层温度低，对玻璃基体和涂层组织结构影响小，能在非金属基体及脆性大的玻璃表面制备涂层而不会导致喷涂过程中出现玻璃破裂。CN111058023ACN111058023A权利要求书1/1页1.一种玻璃表面冷喷涂涂层的制备方法，其特征在于依次包括以下步骤：1)对玻璃非金属基体表面进行除油、超声清洗处理；2)选取粉末粒度为15-38μm的铝粉末作为冷喷涂粉末，并在将铝粉末进行干燥处理；3)将步骤1)中的玻璃基体放入炉中，进行预热处理；4)将步骤3)处理后的玻璃基体固定在喷涂夹具上，并将经过步骤2)处理的冷喷涂粉末装入冷喷涂设备的送粉器中，设定喷涂工艺参数后利用冷喷涂工艺在玻璃基材表面制备涂层，其中的冷喷涂工艺参数为：工作气体和送粉气体均为N2或者He，工作气体压力为1.0MPa～3.5MPa，工作气体温度为室温～400℃，喷涂距离为30～70mm，喷枪行走速度为400mm/s～1000mm/s，送粉速率为0.5～3r/min。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述喷涂距离为55mm～70mm，喷枪行走速度为505mm/s～1000mm/s。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤2)中的干燥温度为100～120℃，干燥时间为1～2小时。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤3)中的预热温度为50～200℃。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤2)中，冷喷涂粉末的形貌为类球形或不规则形。6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：在步骤4)中，所制备的铝涂层厚度为0.05mm～0.31mm，铝涂层的孔隙率≤3.96％，且铝涂层的导电率≥34％。2CN111058023A说明书1/5页一种玻璃表面冷喷涂涂层的制备方法技术领域[0001]本发明属于表面工程领域中的制备涂层的方法，具体涉及一种玻璃表面冷喷涂涂层的制备方法。背景技术[0002]玻璃具有各向同性、良好的高化学稳定性，在可见光波段具有高光学透明性，较高的硬度，并且与硅具有相似的热膨胀系数。在微电子封装业、电子学、集成电路及生物芯片等领域中，玻璃作为一种基板材料有望代替传统的有机基板，在更加复杂的环境中加以应用。但玻璃是电绝缘体，需要对其进行表面改性处理，实现二维或三维制造金属线路集成，达到导电、导热等性能要求。[0003]目前，玻璃表面金属化方法包括热压键合、活性钎焊连接、化学镀液中镀膜、磁控溅射镀膜及激光直写金属粉末等。其中，热压键合连接温度高，会对键合材料造成不可逆的变形等缺点，限制了其在一些特殊场合的应用；钎焊作为最古老的连接技术，由于其母材不变形、不熔化的特点，在玻璃与金属连接的领域得到了广泛的应用，但连接温度过高、钎料在玻璃基板上润湿性差；离子镀法、阴极溅射法等镀膜技术，设备投资大、工艺繁琐、生产成本高，所镀的金属膜与玻璃基体的结合强度差，且只能大面积的镀膜，而不能局域选择性地、可图形化的进行镀膜；而激光直写金属粉末速度缓慢，工业上生产效率低下、成本高。[0004]为此，通过冷喷涂技术为制备高性能涂层提供了一种重要的工艺方法，但是玻璃脆性大、抗热冲击性能较差，冷喷涂过程中粒子速度可达600m/s以上，高速飞行的粒子撞击在玻璃表面，一方面粒子具有很大的动能；另一方面粒子与玻璃碰撞过程中动能转变为热能，引起玻璃温度升高，在这种条件下很容易导致玻璃碎裂。[0005]因此，需要对现有玻璃表面金属涂层的制备方法作进一步的改进。发明内容[0006]本发明所要解决的技术问题是针对