一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置.pdf

本发明提供了一种用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置，包括外接压缩空气管道、内接压缩空气管道和清炉气盘，所述清炉气盘为一圆盘，所述圆盘一端面上设置有进气口，另一端面设置有若干个均匀分布的气孔，所述清炉气盘设置气孔的一端与炉体上设置的轴体一端固定连接，所述内接压缩空气管道一端与所述进气口相连，另一端固定在炉体上，所述外接压缩空气管道一端在所述炉体上与所述内接压缩空气管道相连，另一端与气源相连。本发明所述的用于区熔硅单晶炉拆装炉系统的清炉装置结构简单，操作方便，可快速清炉，提高了工时利用率，从而提高了产能，降

2023-06-19

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一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置.pdf

本发明提供了一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置，包括炉内底盘，夹持柱和拨柱轴尖；所述炉内底盘为一圆盘，所述圆盘上沿圆周边缘均匀开有若干组夹持柱固定孔，所述圆盘中部开有拨柱轴尖孔；所述拨柱轴尖包括轴尖、拨柱和连接轴，所述轴尖的侧壁顶端固定有拨柱，所述轴尖的下端面固定有连接轴；所述夹持柱包括支撑柱、夹持拨片和夹持片，所述支撑柱安装到所述夹持柱固定孔处，所述夹持拨片位于所述拨柱正下方。本发明所述的用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置结构简单，操作方便，通过夹持片的设置改善了夹持面积，从而改善了夹持的稳

2023-06-19

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一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉.pdf

本发明公开了一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉，调节装置包括基座、被连接件，还包括具有通孔的调节螺钉、安装在调节螺钉上方的调节拨叉、锁紧垫片及锁紧螺钉；通过锁紧垫片及锁紧螺钉将被连接件与基座进行连接及锁紧，达到自锁防松的目的，避免以后因机械振动等原因影响设备的水平度；硅单晶炉的四个角分别采用此水平调节机构，通过对四个边角水平高度的微调，实现最终各个部件及设备整体的调平。

2023-06-16

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用于直拉硅单晶炉的热屏装置.pdf

本发明涉及一种用于直拉硅单晶炉的热屏装置，包括外筒、隔热层和内筒，还包括热反射层、隔热垫I、隔热垫II，热反射层置于外筒与隔热层之间；隔热层置于热反射层与内筒之间；隔热垫I设置在热屏装置上端的外筒和内筒之间，隔热垫I的一端与隔热层相接紧配合，隔热垫II设置在热屏装置底端的外筒和内筒之间，隔热垫II的一端与隔热层相接紧配合。本发明的特点是：有效防止钼片热反射层反射的热辐射对晶体的作用，更大程度加大了晶体的散热，提高了晶体生长速度。实现了对熔硅更强的保温，进一步降低了开炉功耗，节省了生产成本。成本低廉、容易实

2023-06-20

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一种用于测量直拉硅单晶炉中硅熔体液面位置的装置.pdf

本发明提供一种用于测量直拉硅单晶炉中硅熔体液面位置的装置，该装置安装在直拉硅单晶炉的热屏蔽组件上，包括测量杆、中间有孔的圆垫块，测量杆的端部穿过圆垫块上的孔垂直朝向硅熔体的液面。在采用安装有本发明装置的直拉法制造的砖单晶炉系统制造砖单晶棒时，将测量杆测定的热屏蔽组件的下端面与砖熔体液面的距离(H值)输入控制系统中，从而实现单晶体在等径生长期间的H值的精确控制。本发明可以用于制造集成电路和其它电子元件半导体级砖单晶体。采用本发明可制备具有一个中心轴、一个籽晶端锥体和一个尾端锥体的硅晶棒，在籽晶端锥体和尾端锥

2023-06-19

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