一种提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111292951A(43)申请公布日2020.06.16(21)申请号202010129017.2(22)申请日2020.02.28(71)申请人安徽大地熊新材料股份有限公司地址231500安徽省合肥市庐江高新技术产业开发区(72)发明人刘友好查善顺冯泉妤陈静武衣晓飞(74)专利代理机构合肥天明专利事务所(普通合伙)34115代理人张梦媚(51)Int.Cl.H01F41/02(2006.01)H01F1/057(2006.01)权利要求书1页说明书9页(54)发明名称一种提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法(57)摘要本发明公开了一种提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，包括以下步骤：采用多靶连续式磁控溅射在烧结钕铁硼磁体的表面由内至外依次镀覆形成重稀土金属膜层和金属铝膜层后，出料，制得半成品；将所述半成品置于预抽真空的环境中进行热处理后，冷却，制得高矫顽力烧结钕铁硼磁体，其中，在所述热处理过程中持续抽真空。本发明中的方法提高了磁控溅射镀膜后的可出料温度，从而减少了冷却时间，简化后续入炉操作，具有节约能源，提高生产效率的优点。CN111292951ACN111292951A权利要求书1/1页1.一种提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，包括以下步骤：镀膜：采用多靶连续式磁控溅射在烧结钕铁硼磁体的表面由内至外依次镀覆形成重稀土金属膜层和金属铝膜层后，出料，制得半成品；热处理：将所述半成品置于预抽真空的环境中进行热处理后，冷却，制得高矫顽力烧结钕铁硼磁体，其中，在所述热处理过程中持续抽真空。2.如权利要求1所述的提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，所述烧结钕铁硼磁体为通过粉末冶金工艺制备的以RE2Fe14B相为主要磁性相的磁体，其中，RE为稀土元素中的至少一种。3.如权利要求1所述的提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，所述镀膜步骤采用多靶连续式磁控溅射镀膜设备完成，其中，所述多靶连续式磁控溅射镀膜设备包括准备室、清洗室、镀膜室和冷却室。4.如权利要求3所述的提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，所述镀膜室中依次设有N个磁控溅射源，其中，N≥2，第1到第N-1个磁控溅射源配置为重稀土金属靶材，第N个磁控溅射源配置为金属铝靶材。5.如权利要求1所述的提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，所述重稀土金属膜层的总厚度为1~15μm，其中的重稀土金属选自镝、铽中的至少一种，所述金属铝膜层的厚度为0.5~2μm。6.如权利要求1所述的提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，所述出料的温度为100~200℃。7.如权利要求1所述的提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，所述预抽真空的真空度为1~100Pa。8.如权利要求1所述的提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，所述热处理的保温温度为800℃~900℃，保温时间为5~40h。9.如权利要求1所述的提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，所述热处理步骤后还包括二次热处理步骤。10.如权利要求9所述的提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法，其特征在于，所述二次热处理的温度为460~600℃，时间为3~6h。2CN111292951A说明书1/9页一种提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法技术领域[0001]本发明属于稀土永磁材料领域，具体涉及一种提高烧结钕铁硼磁体矫顽力的方法。背景技术[0002]烧结钕铁硼磁体是迄今为止磁性最强的磁性材料，广泛应用在航空航天、汽车工业、电子电器、医疗器械、节能电机、新能源、风力发电等领域，是当今世界上发展最快、市场前景最好的永磁材料。烧结钕铁硼磁体具有高磁能积、高矫顽力、高能量密度、高性价比和良好的机械特性等突出优势，已经在高新技术领域中担当了重要的角色。经过30多年的研究发展，设计出了合理的合金成分和成熟的制备工艺，使烧结钕铁硼磁体的剩磁和最大磁能积达到理论值的90％以上，然而其矫顽力不足理论值的30％，如何提高烧结钕铁硼磁体的矫顽力成了磁性材料行业的重要问题。[0003]目前制备高矫顽力烧结钕铁硼磁体的常用方法是加入重稀土元素Dy和/或Tb，主要包括三种方式：(1)在合金熔炼时直接加入Dy和/或Tb金属；(2)通过双合金的方式在粉末中加入含有Dy和/或Tb的粉末；(3)通过晶间富稀土相向烧结钕铁硼磁体中扩散Dy和/或Tb。在以上三种方式中，通过晶界扩散方式制得含Dy和/或Tb的烧结钕铁硼磁体，其具有更高的综合磁性能，并且只需消耗少量的Dy和/或Tb，是当前研究最多的一种方式。而目前常见的烧结钕铁硼磁体晶界扩散方法包括：表面涂覆+热处理、蒸镀+热处理、磁控溅射+热处理等。磁控溅射+热处理工艺由于具有镀膜一致性好、工艺稳定、产品性能稳定可控的特点，是最具产业