一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111424315A(43)申请公布日2020.07.17(21)申请号202010419341.8(22)申请日2020.05.18(71)申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司地址710065陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室(72)发明人杨文武沈福哲(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静陈丽宁(51)Int.Cl.C30B29/06(2006.01)C30B15/14(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉(57)摘要本公开提供一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉，该单晶炉热场加热器组件包括：设置于单晶炉热场内的坩埚底部的底部加热器，底部加热器的中部设有通孔，通孔内设有绝缘轴承套，底部加热器通过绝缘轴承套固定于坩埚的坩埚轴上，以使底部加热器在坩埚轴带动下运动；至少一组导向组件，包括导轨和滑动件，导轨设置在底部加热器的侧面，导轨的导向方向与坩埚轴的轴向相同，滑动件连接至底部加热器，滑动件以可移动方式设置在导轨上，滑动件在底部加热器带动下沿导轨运动。本发明的单晶炉热场加热器组件及单晶炉，可改善相关技术中单晶炉热场内坩埚底部保温场不稳定和硅液沉积现象，提高晶棒长晶过程中底部温度场的稳定性，提升晶棒的整体品质。CN111424315ACN111424315A权利要求书1/2页1.一种单晶炉热场加热器组件，其特征在于，包括：设置于单晶炉热场内的坩埚底部的底部加热器，所述底部加热器的中部设有通孔，且所述通孔内设有绝缘轴承套，所述底部加热器通过所述绝缘轴承套固定于所述坩埚的坩埚轴上，以使所述底部加热器在所述坩埚轴带动下运动；及至少一组导向组件，所述导向组件包括导轨和滑动件，所述导轨设置在所述底部加热器的侧面，所述导轨的导向方向与所述坩埚轴的轴向相同，所述滑动件连接至所述底部加热器，且所述滑动件以可移动方式设置在所述导轨上，所述滑动件在所述底部加热器带动下沿所述导轨运动。2.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述单晶炉热场加热器组件还包括：用于向所述底部加热器施加电信号的两个电极，所述底部加热器上设有两个电接入端，所述导向组件至少有两组，并分别设置在所述底部加热器的相对两侧，每一所述电接入端通过一组所述导向组件与一个所述电极电连接；其中，一组所述导向组件中，所述导轨与所述滑动件之间电连接，所述滑动件与对应的所述电接入端电连接，所述导轨与对应的所述电极连接。3.根据权利要求2所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述导向组件还包括：第一转接头和第二转接头；所述第一转接头为套环结构，所述第二转接头为板状结构；所述电接入端与所述第二转接头之间通过所述第一转接头固定连接；所述第二转接头上设有第一螺纹孔，所述滑动件包括连接杆和滑块，所述滑块可移动设置在所述导轨上，所述连接杆为L型杆，包括弯折设置的第一段和第二段，所述第一段上设有外螺纹，所述第一段穿过所述第一螺纹孔内，以与所述第二转接头进行螺纹连接，并通过螺母紧固，所述第二段与所述滑块连接。4.根据权利要求3所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述导轨包括轨道部和连接部，所述轨道部沿所述坩埚轴的轴向方向延伸，所述连接部与所述轨道部之间呈夹角，所述连接部上设有第二螺纹孔4121，所述第二螺纹孔4121内穿装螺栓，所述螺栓与所述电极电连接。5.根据权利要求4所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述第一转接头、所述第二转接头、所述连接杆、所述滑动件及所述导轨均为导体，以使所述电接入端与所述电极通过所述导向组件进行电连接。6.根据权利要求2所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述底部加热器为螺旋盘型结构，包括：中部设有所述通孔的圆环；相互嵌套在一起的至少两个螺旋盘；至少两个螺旋盘中，其中一个螺旋盘的一端自所述圆环的第一端开始螺旋盘绕，另一端形成一个所述电接入端；另一个所螺栓盘的一端自所述圆环的第二端开始螺栓盘绕，另一端形成另一个所述电接入端。7.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述导轨上还设有用于对所述滑动件的运动行程进行限定的限位组件。8.根据权利要求7所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，2CN111424315A权利要求书2/2页所述限位组件包括第一限位销和第二限位销，所述第一限位销和所述第二限位销间隔设置于所述导轨上。9.根据权利要求8所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述限位组件还包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器与所述第一限位销连接，所述第二传感器与所述第二限位销连接。10.一种单晶炉，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的单晶炉热场加热器组件。3