一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112323140A(43)申请公布日2021.02.05(21)申请号202011102898.5(22)申请日2020.10.15(71)申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司地址710065陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室申请人西安奕斯伟材料技术有限公司(72)发明人杨文武沈福哲宋振亮(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司11243代理人许静张博(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图4页(54)发明名称一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉(57)摘要本公开提供一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉，包括：加热器主体；绝缘保护罩，包括套设于加热器主体外侧面的筒状罩体及设置于加热器主体的底部开口端的底部遮挡板，底部遮挡板的中部设有通孔，通孔内设有绝缘轴承套，底部遮挡板通过绝缘轴承套固定于坩埚的坩埚轴上，以使底部遮挡板在坩埚轴带动下运动；导向组件，包括导轨和滑动件，导轨设置在加热器主体的侧面，导轨的导向方向与坩埚轴的轴向相同，滑动件连接至加热器主体，滑动件以可移动方式设置在导轨上，滑动件在加热器主体带动下沿导轨运动。本公开单晶炉热场加热器组件及单晶炉，具有加热效果好、升温快、热场温度稳定等特点，有利于长晶过程中晶棒的无缺陷生长，提高晶棒的良率。CN112323140ACN112323140A权利要求书1/2页1.一种单晶炉热场加热器组件，其特征在于，包括：加热器主体，为环绕单晶炉热场内的坩埚设置的筒状结构，包括顶部开口端、底部开口端、及位于所述顶部开口端与所述底部开口端之间的外周侧面；绝缘保护罩，包括套设于所述加热器主体外侧面的筒状罩体、及设置于所述加热器主体的底部开口端的底部遮挡板，所述筒状罩体至少覆盖住所述筒状结构的顶部开口端和所述筒状结构的外周侧面，所述底部遮挡板支撑于所述筒状结构的底部开口端，所述底部遮挡板的中部设有通孔，所述通孔内设有绝缘轴承套，所述底部遮挡板通过所述绝缘轴承套固定于所述坩埚的坩埚轴上，以使所述底部遮挡板在所述坩埚轴带动下运动；及，至少一组导向组件，所述导向组件包括导轨和滑动件，所述导轨设置在所述加热器主体的侧面，所述导轨的导向方向与所述坩埚轴的轴向相同，所述滑动件连接至所述加热器主体，且所述滑动件以可移动方式设置在所述导轨上，所述滑动件在所述加热器主体带动下沿所述导轨运动。2.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述单晶炉热场加热器组件还包括：用于向所述底部加热器施加电信号的至少两个电极；所述加热器主体上设有至少两个电极连接头；所述导向组件至少有两组，并分别设置在所述加热器主体的相对两侧，每一所述电极连接头通过一组所述导向组件与一个所述电极电连接；一组所述导向组件中，所述导轨与所述滑动件之间电连接，所述滑动件与对应的所述电极连接头电连接，所述导轨与对应的所述电极连接。3.根据权利要求2所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述电极转接头为套环状结构，设有第一螺纹孔，所述滑动件包括连接杆和滑块，所述滑块可移动设置在所述导轨上，所述连接杆为L型杆，包括弯折设置的第一段和第二段，所述第一段上设有外螺纹，所述第一段穿过所述第一螺纹孔内，以与所述电极转接头进行螺纹连接，并通过螺母紧固，所述第二段与所述滑块连接。4.根据权利要求3所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述导轨包括轨道部和连接部，所述轨道部沿所述坩埚轴的轴向方向延伸，所述连接部与所述轨道部之间呈夹角，所述连接部上设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔内穿装螺栓，所述螺栓与所述电极电连接；所述电极转接头、所述连接杆、所述滑动件及所述导轨均为导体，以使所述电极连接头与所述电极通过所述导向组件进行电连接。5.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述导轨上还设有用于对所述滑动件的运动行程进行限定的限位组件；所述限位组件包括：间隔设置于所述导轨上的第一限位销和第二限位销；及，第一传感器和第二传感器，所述第一传感器与所述第一限位销连接，所述第二传感器与所述第二限位销连接。6.根据权利要求1所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，所述加热器主体包括多个U型加热柱单元，多个所述U型加热柱单元依次连接而环绕成所述筒状结构，相邻两个U型加热柱单元中，一个U型加热柱单元的开口朝向所述顶部开口端，另一个U型加热柱单元的开口朝向所述底部开口端，以使所述加热器主体的轮廓呈蛇形曲线结构。2CN112323140A权利要求书2/2页7.根据权利要求6所述的单晶炉热场加热器组件，其特征在于，每一所述U型加热柱包括：相互平行的两根竖向直加热柱，