一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉及工艺.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111439919A(43)申请公布日2020.07.24(21)申请号202010247440.2(22)申请日2020.03.31(71)申请人江苏圣达石英制品有限公司地址222000江苏省连云港市东海县平明镇驻地(72)发明人段玉伟段其九刘建军段玉门(74)专利代理机构连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)32330代理人谷金颖(51)Int.Cl.C03B20/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉及工艺(57)摘要本发明公开了一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉，其包括炉体，所述炉体的长度设置为12米以上，高度为2米以上；所述炉体内部预留空间高度为1.6米以上，所述炉体内设置有若干钨网，所述钨网通过设置在所述炉体顶部的电源入孔与电源连接；所述钨网中间设置有导轨及可连续循环运转并有变频控制的输送带。本发明通过设计可连续性生产的高温脱羟炉，能够实现Φ800mm以内、任意长度的大直径石英管脱羟，并通过360°对石英管高温脱羟，达到或优于真空炉脱羟炉工艺，石英管高温脱羟指标OH-含量≤10ppm。CN111439919ACN111439919A权利要求书1/1页1.一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉，其特征在于，包括炉体，所述炉体的长度设置为12米以上，高度为2米以上；所述炉体内部预留空间高度为1.6米以上，所述炉体内设置有若干钨网，所述钨网通过设置在所述炉体顶部的电源入孔与电源连接；所述钨网中间设置有导轨及可连续循环运转并有变频控制的输送带。2.根据权利要求1所述的Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉，其特征在于，所述的炉体内设置有保温层。3.根据权利要求2所述的Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉，其特征在于，所述的保温层厚度为0.4米。4.根据权利要求1所述的Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉，其特征在于，所述保温层用普通耐火砖加耐高温锆玉砖砌成。5.根据权利要求1所述的Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉，其特征在于，所述的电源入孔设置有6个。6.根据权利要求1所述的Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉，其特征在于，所述钨网的直径为800mm、长度2米。7.一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的脱羟制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、设计可连续性生产的高温脱羟炉；S2、脱羟炉设计长度为12米以上，高度为2米以上，为保温砖砖砌结构；S3、脱羟炉内部预留空间高度为1.6米以上；S4、炉体内设计保温层厚度0.4～0.6米，保温层用普通耐火砖加耐高温锆玉砖砌成；S5、炉体外的顶部设计有若干个电源入孔，间距2米；S6、设计6组直径为800mm、长度2米的钨网，共12米，每一组与顶部电源入孔接入电源；S7、在钨网中间设计有长15米导轨和可连续循环运转并有变频控制的输送带；S8、启动电源，保持每小时50°渐进式连续升温至1100°，将Φ300mm以上大直径石英玻璃管，放入连续循环运转并有变频控制的输送带上；将变频控制的输送带循环运转速度设置为最低；当石英管通过输送带进入脱羟炉内，可实现连续高温脱羟。2CN111439919A说明书1/3页一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的高温脱羟炉及工艺技术领域[0001]本发明涉及一种Φ300mm以上大直径石英玻璃管的脱羟炉及工艺。背景技术[0002]Φ300mm以上大直径石英玻璃管，因长度一般在2000mm-3000mm之间，壁厚大于100mm以上，现有技术采用真空炉高温脱羟的方法，对于大直径石英玻璃管，因受真空脱羟炉空间小于1800mm的限制，对Φ300mm、长度2000mm-3000mm的石英管需要切断放入。其脱羟的方法步骤为：[0003]1、真空脱羟炉：开启电源、抽真空；[0004]2、升温脱羟：连续升温48-72小时，真空度达到10-3kPa时，真空炉内温度达到1120°后，恒温4-6小时；然后进行8小时降到常温处理；[0005]3、石英管出炉，检测石英管羟基OH-含量≤20ppm。[0006]上述方法存在以下不足与缺陷：[0007]1、真空脱羟炉内的空间设计，一般长度为1800mm，高度为1500mm，对于Φ300mm、长度2000mm-3000mm的石英管需要进行切断码放3-4层投炉；[0008]2、真空脱羟炉升温脱羟48-72小时，因Φ300mm石英管壁厚大于100mm以上，高度码放在3-4层之间，在48-72小时升温区间，石英管OH-含量难以全部排出；[0009]3、利用真空脱羟炉对石英管脱羟处理，只能是单炉操作，不能连续性生产，产量低、成本高