一种石英玻璃制品的真空脱羟炉.pdf
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一种石英玻璃制品的真空脱羟炉.pdf
本发明公开了一种石英玻璃制品的真空脱羟炉,包括炉体、位于所述炉体内部的炉腔,所述炉腔内部滑动设置有料架,所述炉体一端设置有连接所述料架的炉盖,所述炉腔的顶部设置有中转室,所述中转室连通有中转散热器,所述中转散热器固定安装在所述炉腔内侧顶部中间位置;所述炉体另一端安装有固定排风机,所述固定排风机与所述炉腔相连通。有益效果在于:本发明通过所述炉盖和所述料架的一体式推拉设计,可便于石英制品的上料和取料,并且便于所述料架上的废料清理;通过设置在所述炉腔中部的所述中转散热器,可通过在所述炉腔中部进行冷风扩散,提高所
一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉.pdf
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石英玻璃真空脱羟用抽真空装置及方法及石英玻璃真空脱羟炉.pdf
本发明公开了一种新型石英玻璃真空脱羟用抽真空装置,包括直联旋片泵和分子增压泵;当直联旋片泵首先启动并且将炉体内的压强抽至200Pa以下时,分子增压泵开始启动并将炉体内压强抽至10-3Pa以下。本发明还公开了一种石英玻璃真空脱羟炉,包括炉体和与炉体相连接的上述的石英玻璃真空脱羟用抽真空装置。本发明还公开了一种石英玻璃真空脱羟炉用抽真空方法,首先开启直联旋片泵,将炉体内的压强抽至200Pa以下;然后开启分子增压泵,将炉体内压强抽至10-3Pa以下。本发明能够降低抽气功率,提高极限真空度,降低生产成本,改善工作
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