石英玻璃真空脱羟用抽真空装置及方法及石英玻璃真空脱羟炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102992596A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102992596A(43)申请公布日2013.03.27(21)申请号201210380932.4(22)申请日2012.10.10(71)申请人江苏太平洋石英股份有限公司地址222342江苏省连云港市东海县平明镇马河电站东侧(72)发明人陈士斌周明强徐同根宁井班(74)专利代理机构江苏银创律师事务所32242代理人何震花(51)Int.Cl.C03B20/00(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书44页页附图附图11页(54)发明名称石英玻璃真空脱羟用抽真空装置及方法及石英玻璃真空脱羟炉(57)摘要本发明公开了一种新型石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，包括直联旋片泵和分子增压泵；当直联旋片泵首先启动并且将炉体内的压强抽至200Pa以下时，分子增压泵开始启动并将炉体内压强抽至10-3Pa以下。本发明还公开了一种石英玻璃真空脱羟炉，包括炉体和与炉体相连接的上述的石英玻璃真空脱羟用抽真空装置。本发明还公开了一种石英玻璃真空脱羟炉用抽真空方法，首先开启直联旋片泵，将炉体内的压强抽至200Pa以下；然后开启分子增压泵，将炉体内压强抽至10-3Pa以下。本发明能够降低抽气功率，提高极限真空度，降低生产成本，改善工作环境。CN102956ACN102992596A权利要求书1/1页1.一种新型石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，其特征在于：包括直联旋片泵和与直联旋片泵相连并且在低于200Pa的压强下能够启动的分子增压泵；当直联旋片泵首先启动并且将炉体内的压强抽至200Pa以下时，分子增压泵开始启动并将炉体内压强抽至10-3Pa以下。2.根据权利要求1所述的石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，其特征在于：当直联旋片泵首先启动并且将炉体内的压强抽至200Pa以下时，分子增压泵开始启动并将炉体内压强抽至10-3Pa-10-4Pa。3.根据权利要求2所述的石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，其特征在于：还包括连接在分子增压泵和直联旋片泵之间的电磁压差阀。4.根据权利要求1或2或3所述的石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，其特征在于：还包括一端与分子增压泵相连接的高真空阀，高真空阀的另一端用于连接炉体。5.一种石英玻璃真空脱羟炉，包括炉体和与炉体相连接的权利要求1至4中任一项所述的石英玻璃真空脱羟用抽真空装置。6.一种石英玻璃真空脱羟炉用抽真空方法，包括以下步骤：首先，开启直联旋片泵，将炉体内的压强抽至200Pa以下；然后，开启分子增压泵，将炉体内压强抽至10-3Pa以下。7.根据权利要求6所述的石英玻璃真空脱羟炉用抽真空方法，其特征在于：开启分子增压泵，将炉体内压强抽至110-3Pa-10-4Pa。8.根据权利要求6或7所述的石英玻璃真空脱羟炉用抽真空方法，其特征在于：在开启直联旋片泵之前，还包括开启连接在分子增压泵和直联旋片泵之间的电磁压差阀和连接在炉体和分子增压泵之间的高真空阀的步骤。2CN102992596A说明书1/4页石英玻璃真空脱羟用抽真空装置及方法及石英玻璃真空脱羟炉技术领域[0001]本发明涉及石英玻璃真空脱羟领域的抽真空装置，尤其涉及一种石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，以及一种石英玻璃真空脱羟用抽真空方法，以及一种石英玻璃真空脱羟炉。背景技术[0002]现有技术中，石英玻璃管真空脱羟的抽真空设备，要获得中、高真空，需要由三级真空机组，以前的三级一般主要包括扩散泵、罗茨泵和旋片泵。由于三级真空系统复杂、运行、维护成本高，真空内部环境、外部环境都很差，对产品质量运行较大，而新型抽真空装置能够解决这些问题。发明内容[0003]本发明专利要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，本石英玻璃真空脱羟用抽真空装置能够降低抽气功率，提高极限真空度，降低生产成本，改善工作环境。本发明还提供了石英玻璃真空脱羟用抽真空方法，本石英玻璃真空脱羟用抽真空方法能够降低抽气功率，提高极限真空度，降低生产成本，改善工作环境。本发明还提供了一种石英玻璃真空脱羟炉，本石英玻璃真空脱羟炉能够降低抽气功率，提高极限真空度，降低生产成本，改善工作环境。[0004]针对石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，本发明采取的技术方案为：一种新型石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，其特征在于：包括直联旋片泵和与直联旋片泵相连并且在低于200Pa的压强下能够启动的分子增压泵；当直联旋片泵首先启动并且将炉体内的压强抽至200Pa以下时，分子增压泵开始启动并将炉体内压强抽至10-3Pa以下。分子增压泵采用的是是新型中真空、高真空兼用真空泵，是目前其它真空泵所没有的特性，其圆盘式叶轮是其技术的核心，抗大气冲击能力强，抽气速度快。[0005]作为本发明进一步改进的技术方案