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一种气相沉积炉用硅棒柔性夹持机构.pdf
2023-06-16
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一吃****新冬
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一种气相沉积炉用硅棒柔性夹持机构.pdf
本发明涉及多晶硅生产用设备技术领域，且公开了一种气相沉积炉用硅棒柔性夹持机构，包括底座，所述底座的顶部固定安装有负压产生箱，所述负压产生箱的顶部固定安装有活塞筒，所述负压产生箱的顶部开设有负压槽，所述负压产生箱的内部开设有负压腔，所述活塞筒通过负压槽与负压腔内部连通，所述底座内部流动有冷却液体，所述活塞筒内部滑动连接有活塞块，本发明通过设置有活塞筒、活塞块以及负压产生箱，使得硅芯在受到沉积炉内气流影响倾倒时，使得硅芯与夹套向一侧倾斜，从而防止硅芯与夹套因固定连接产生较大的剪切力，使得硅芯与夹持机构接触位置
2023-06-16
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气相沉积炉的均匀供气装置及气相沉积炉.pdf
本发明揭示了气相沉积炉的均匀供气装置及气相沉积炉，气相沉积炉的均匀供气装置，包括至少一条呈T字形的匀气管路，所述匀气管路的出气孔的朝向与反应气体的上升方向相反且背向工件。本发明设计精巧，通过设置出气孔的朝向，能够使反应气体流出后逐步的扩散到工件区域，避免了一个气口直接朝向工件供气时易造成气流冲击以及易使反应气体集中于某一区域，造成反应气体分布不均匀的问题，能够保证反应气体供应的均匀性，有利于提高薄膜沉积的质量。
2023-06-17
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一种气相沉积炉.pdf
本发明公开了一种气相沉积炉，包括壳体，所述壳体内腔设置有底部开口的保温室，所述保温室的底部开口处设置有密封板且所述密封板与所述保温室完全分离，所述密封板上贯穿设置有导力杆且所述导力杆与所述密封板固定连接，所述导力杆上段一直延伸至所述保温室内腔且所述导力杆顶部设置有用于工件承载的料板，所述导力杆下段贯穿所述壳体底板且所述导力杆与所述壳体完全分离，所述导力杆底部一直延伸至所述壳体外部且所述导力杆底部设置有重量传感器。本发明提供的该气相沉积炉通过其结构设计，能在线监测正在进行气相沉积的工件的重量变化，有效提高工
2023-06-17
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一种气相沉积炉.pdf
本发明公开一种气相沉积炉包括回转炉体、炉体上框架、炉体下座；所述回转炉体沿轴线方向可转动的固定到炉体上框架上，所述炉体上框架可绕其一端可转动地连接到炉体下座；所述回转炉体为内部中空的筒形结构，内部设置有多组带料板，包括出料带料板、至少一组对称搅拌带料板组。本发明通过特殊设计的炉内带料板结构能够保证物料在炉管内部随着炉体转动实现轴与向径向同步轨迹运动；微负角度设计与带料板结合能够实现物料在炉内来回流转，使物料受热与炉内气氛接触的相对均匀，保证物料一致性；通过进气的花洒式结构，可以保障气体与物料的接触更加充分
2023-06-07
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带钢用化学气相沉积炉.pdf
本发明公开了一种带钢用化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内部形成有多个反应腔，各所述反应腔之间通过加热通道连通，所述加热通道的两侧设有用于加热所述带钢的感应加热器，所述反应腔内设有一对用于向所述带钢的上下表面喷射气相化学反应物的喷嘴。采用本发明的带钢用化学气相沉积炉，能够使反应腔内气流均匀，且其使用寿命长。
2023-06-16
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