一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111826711A(43)申请公布日2020.10.27(21)申请号202010852499.4(22)申请日2020.08.21(71)申请人陕西美兰德炭素有限责任公司地址710699陕西省西安市临潼区秦陵北路56号(72)发明人张丹师磊辉侯光远(51)Int.Cl.C30B15/32(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头(57)摘要本发明公开了一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，涉及单晶棒制备技术领域，该单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，包括夹头本体和螺纹连接孔，所述螺纹连接孔开设于夹头本体的内部上方，所述夹头本体的内部下方开设有用于固定籽晶的籽晶定位孔，夹头本体与籽晶之间通过渐缩的籽晶定位孔定位相连，定位同心度高，且受力均匀，使籽晶不易折断；利用碳碳复合材料制成的夹头本体，其能够有效地防止杂质进入到熔融状态的多晶硅中，进而提高单晶硅的成晶率。CN111826711ACN111826711A权利要求书1/1页1.一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，其特征在于：包括夹头本体（2）和螺纹连接孔（22），所述螺纹连接孔（22）开设于夹头本体（2）的内部上方，所述夹头本体（2）的内部下方开设有用于固定籽晶的籽晶定位孔（23）。2.如权利要求1所述的一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，其特征在于：所述螺纹连接孔（22）与籽晶定位孔（23）相连通，所述夹头本体（2）的外壁位于螺纹连接孔（22）与籽晶定位孔（23）之间开设有透气孔（21）。3.如权利要求2所述的一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，其特征在于：所述螺纹连接孔（22）的直径大于或等于第一定位孔（231）的直径。4.如权利要求3所述的一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶定位孔（23）包括第一定位孔（231）、锥形过渡孔（232）和第二定位孔（233），所述第一定位孔（231）、锥形过渡孔（232）和第二定位孔（233）由上至下依次连通，且第一定位孔（231）、锥形过渡孔（232）和第二定位孔（233）的中心轴线重合，所述第二定位孔（233）的底部与夹头本体（2）的底部相平齐。5.如权利要求4所述的一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，其特征在于：所述第一定位孔（231）与第二定位孔（233）的横截面均为圆形，且第一定位孔（231）的直径大于第二定位孔（233）的直径。6.如权利要求5所述的一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，其特征在于：所述锥形过渡孔（232）顶部的横截面直径与第一定位孔（231）的直径相一致，所述锥形过渡孔（232）底部的横截面直径与第二定位孔（233）的直径相一致。7.如权利要求6所述的一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶定位孔（23）的中心轴线、螺纹连接孔（22）的中心轴线与夹头本体（2）的中心轴线相重合。8.如权利要求7所述的一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，其特征在于：所述夹头本体（2）的下部为圆台结构，且圆台结构的夹头本体（2）的直径由下至上逐渐增大，所述夹头本体（2）选用由碳碳复合材料制成。2CN111826711A说明书1/3页一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头技术领域[0001]本发明属于单晶棒制备技术领域，具体为一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头。背景技术[0002]目前，大部分单晶硅采用乔赫拉尔基斯法制造，又称直拉法，该法是在直拉单晶炉内，向盛有熔融多晶硅的坩埚中引入一支特定晶向的硅单晶（称作籽晶）作为非均匀晶核与多晶硅熔体接触，然后控制热场，将籽晶旋转并缓慢向上提拉，由于轴向和径向温度梯度产生的热应力和熔融体的表面张力作用，使籽晶和硅熔体的固液交接面之间的硅熔融体冷却成固态的硅单晶，调节加热功率就可以得到所需的单晶棒的目标直径。[0003]但是，在单晶炉拉制单晶的过程中，籽晶易出现断晶问题，且单晶硅生长过程中，籽晶周围部件（籽晶夹头）中的杂质和高温下形成的氧化物，易掉入至熔融状态的多晶硅中，进而污染单晶硅，同时也会导致单晶硅棒产生位错或断棱。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，以解决上述背景技术中提出的问题。[0005]本发明采用的技术方案如下：一种单晶炉用碳碳复合材料籽晶夹头，包括夹头本体和螺纹连接孔，所述螺纹连接孔开设于夹头本体的内部上方，所述夹头本体的内部下方开设有用于固定籽晶的籽晶定位孔。[0006]优选的，所述螺纹连接孔与籽晶定位孔相连通，所述夹头本体的外壁位于螺纹连接孔与籽晶定位孔之间开设有透气孔。[0007]优选的，所述螺纹连接孔的直径大于或等于第一定位孔的直径。[0008]优选的，所述籽晶定位孔包括第一定位孔、锥形过渡孔和第二定位