籽晶夹头及单晶提拉炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108342770A(43)申请公布日2018.07.31(21)申请号201710056545.8(22)申请日2017.01.25(71)申请人上海新昇半导体科技有限公司地址201306上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室(72)发明人李寅锋温雅楠(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219代理人余明伟(51)Int.Cl.C30B15/32(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称籽晶夹头及单晶提拉炉(57)摘要本发明提供一种籽晶夹头及单晶提拉炉，所述籽晶夹头为透明夹头，所述籽晶夹头的头部设有气流导向斜面。本发明的籽晶夹头为透明籽晶头，从引晶阶段开始都可以观察到整个过程，可以及时观测和及时修正引晶直径，确保整个拉晶过程正常进行，保证了晶锭生长的质量；通过在所述籽晶夹头的头部设置气流导向斜面，可以更好的引导炉腔体内气流，减少乱流现象的产生，从而保证晶锭生长的质量。CN108342770ACN108342770A权利要求书1/1页1.一种籽晶夹头，其特征在于，所述籽晶夹头为透明夹头，所述籽晶夹头的头部设有气流导向斜面。2.根据权利要求1所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的材料为透明耐高温材料。3.根据权利要求2所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的材料为蓝宝石或透明陶瓷。4.根据权利要求1所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的头部为锥形或锥台形。5.根据权利要求4所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的头部为圆锥形或圆锥台形。6.根据权利要求1所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头的底部设有籽晶固定装置。7.根据权利要求1所述的籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶固定装置为籽晶固定孔。8.一种单晶提拉炉，其特征在于，所述单晶提拉炉包括如权利要求1至7中任一项所述的籽晶夹头。9.根据权利要求8所述的单晶提拉炉，其特征在于：所述单晶提拉炉还包括：炉腔体，所述炉腔体上设有观测窗口；坩埚，位于所述炉腔体内；热屏，位于所述炉腔体内，且位于所述坩埚的上方；所述籽晶夹头位于所述坩埚的上方，且位于所述热屏的内侧；提拉组件，与所述籽晶夹头相连接，适于控制所述籽晶夹头在由所述坩埚内溶体提拉生长晶锭提拉方向上升或下降。2CN108342770A说明书1/4页籽晶夹头及单晶提拉炉技术领域[0001]本发明属半导体设备技术领域，特别是涉及一种籽晶夹头及单晶提拉炉。背景技术[0002]现有的单晶提拉炉如图1所示，主要包括：炉腔体11，所述炉腔体11上设有观测窗口111；坩埚12，所述坩埚12位于所述炉腔体11内；热屏13，所述热屏13位于所述炉腔体11内，且位于所述坩埚12的上方；籽晶夹头17，所述籽晶夹头17位于所述坩埚12的上方，且位于所述热屏13的内侧，适于夹持籽晶16；提拉组件14，所述提拉组件14与所述籽晶夹头17相连接，适于控制所述籽晶夹17在由所述坩埚12内溶体15提拉生长晶锭提拉方向上升或下降。[0003]然而，上述单晶提拉炉中的所述籽晶夹头17一般为钼制夹头，钼制夹头不透明，在晶体生长的引晶开始阶段，由于钼制夹头不透明，从所述观测窗口111无法看到坩埚中的固液界面，从而无法及时检测和修正引晶直径，会影响刚提拉形成的晶锭的细颈直径的测量，只有等到所述籽晶夹头17上升到一定高度时，才可以检测到细颈的直径，从而可能会影响晶锭生长的质量。发明内容[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种籽晶夹头及单晶提拉炉，用于解决现有技术中由于籽晶夹头不透明，使得在引晶开始阶段无法及时检测和修正引晶直径，从而影响晶锭生长的质量的问题。[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种籽晶夹头，所述籽晶夹头为透明夹头，所述籽晶夹头的头部设有气流导向斜面。[0006]作为本发明的籽晶夹头的一种优选方案，所述籽晶夹头的材料为透明耐高温材料。[0007]作为本发明的籽晶夹头的一种优选方案，所述籽晶夹头的材料为蓝宝石或透明陶瓷。[0008]作为本发明的籽晶夹头的一种优选方案，所述籽晶夹头的头部为锥形或锥台形。[0009]作为本发明的籽晶夹头的一种优选方案，所述籽晶夹头的头部为圆锥形或圆锥台形。[0010]作为本发明的籽晶夹头的一种优选方案，所述籽晶夹头的底部设有籽晶固定装置。[0011]作为本发明的籽晶夹头的一种优选方案，所述籽晶固定装置为籽晶固定孔。[0012]本发明还提供一种单晶提拉炉，所述单晶提拉炉包括如上述任一方案中所述的籽晶夹头。[0013]作为本发明的单晶提拉炉的一种优选方案，所述单晶提拉炉还包括：[0014]炉腔体，所述炉腔体上设有观测窗口；3CN108342770A说明书2/4页[0