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一种制备电子级高纯氢氟酸的预处理方法.pdf
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一种制备电子级高纯氢氟酸的预处理方法.pdf
本发明公开了一种制备电子级高纯氢氟酸的预处理方法，属于氢氟酸制备技术领域，包括以下步骤：将氟化钙反应得到的HF气体通入洗涤液为硫酸的洗涤塔中进行除尘和冷却，此时流出的HF气体中仍混入少量水蒸汽；对洗涤过得气体通入冷凝塔中进行冷凝操作，将HF气体液化，其中液态HF混合物通入精馏塔除去夹杂的硫酸和水，部分未凝气体混合物通入脱气塔，除去其中夹杂的二氧化硫和四氟化硅气体；将冷凝、精馏和脱气产生的尾气进行收集处理，并收集脱气完成的无水氢氟酸。通过对回转反应炉制备的HF高温气体进行洗涤、冷凝、精馏和脱气操作，最终获取
2023-06-16
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2023-06-15
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一种超高纯氢氟酸的制备方法.pdf
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2023-11-17
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一种电子级氢氟酸的制备方法.docx
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一种电子级高纯焦磷酸铜的制备方法.pdf
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2023-11-25
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