一种等离子体增强原子层沉积镀膜装置.pdf
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一种等离子体增强原子层沉积镀膜装置.pdf
本发明公开了一种等离子体增强原子层沉积镀膜装置,包括反应炉、第一进气支路和第二进气支路,所述反应炉一端设有用于进气的进气端盖,所述第一进气支路和第二进气支路均与所述进气端盖相连、且交替进气。本发明具有有利于使气体反应更加充分、膜层更加均匀、膜厚可以更加精准控制、减少环境污染等优点。
一种原子层沉积镀膜装置.pdf
本实用新型涉及原子层沉积镀膜技术领域,公开了一种原子层沉积镀膜装置。原子层沉积镀膜装置包括真空腔室、沉积腔室、放置架、输气单元和排气管。沉积腔室置于真空腔室内;放置架上形成有多个容纳空间,硅片能够置于容纳空间内;输气单元沿沉积腔室的周向设置有至少两个,输气单元包括多个输气管,多个输气管沿沉积腔室的高度方向间隔排布,输气管与沉积腔室连通;排气管与沉积腔室连通。本实用新型实现了在多个方向和多种高度上向沉积腔室内部输送沉积原料,保证了硅片上镀膜层的均匀性,提高了封装效果,从而保证了镀膜层对于硅片的保护作用,保证
原子层沉积装置.pdf
本发明的原子层沉积装置,包括供气管和吸气管,该供气管具备:供给管体,在其内部沿长度方向形成有供给气体的供气流道;排气部,沿供给管体的长度方向形成于供给管体,并与供气流道连通;该吸气管具备:吸入管体,在其内部沿长度方向形成有吸入气体的吸气流道;吸气部,沿吸入管体的长度方向形成于吸入管体,并与吸气流道连通;供气管和吸气管可以在与基板对供气管和吸气管的相对运动方向交叉的方向上彼此分开形成。本发明一实施例中的原子层沉积装置,分开形成用于供给源气体或反应气体的供给管和用于吸入除去残留气体的吸气管,从而不仅能够减少气
一种等离子体增强原子层沉积流化床粉体处理装置及应用.pdf
本发明提供一种等离子体增强原子层沉积流化床粉体处理装置,优于同类实验装置的配置包括:位于加热炉内部的、竖向直立设置的变径气固流化床体,在石英管中可以满足气流分布均匀使前驱体与粉体充分接触,沉积均匀;等离子体发生器,石英圆管上下两端缠绕的高压电极和地电极,在间隙中能够发生等离子体放电,将设置好参数的等离子体加入到反应过程中,既可以降低整个沉积过程的温度要求,又可以加大前躯体粒子的活性。该装置实现了低温吸附或进行反应,利用等离子体放电中产生的高能物质与前驱体发生化学反应,从而拓展了原子层沉积技术前驱体的选择范
一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的定量输气装置.pdf
本实用新型提供了一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的定量输气装置,涉及原子层沉积技术领域。其中,这种定量输气装置,包含用以连通原子层沉积设备的工艺腔室的出气管、分别出气管的至少两个定量进气组件,以及接合于出气管的不定量进气组件。定量进气组件包括定量腔室、用以连通源瓶的第一进气管、用以连通定量腔室和第一出气管的第一阀门,以及用以连通出气管和第一进气管的第二阀门。不定量进气组件包括用以连接气源的第二进气管,以及用以连通出气管和第二进气管的第三阀门。通过定量输气装置,能够有效的控制每次向反应腔室输送的气体的体积