立式氧化炉炉体半自动装卸装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103723659103723659A(43)申请公布日2014.04.16(21)申请号201310753241.9(22)申请日2013.12.31(71)申请人北京七星华创电子股份有限公司地址100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号(72)发明人林欣家郝琪(74)专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275代理人吴世华陈慧弘(51)Int.Cl.B66F9/06(2006.01)B66F9/12(2006.01)B66F9/24(2006.01)B66F9/075(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书4页说明书4页附图5页附图5页(54)发明名称立式氧化炉炉体半自动装卸装置(57)摘要本发明公开了一种立式氧化炉炉体的装卸装置，包括主体框架，设于主体框架底部的运输定位机构，驱动传动机构，由驱动传动机构驱动转动的两个升降链轮，分别绕接于升降链轮的两条升降链条以及承载机构。主体框架包括两个垂直设置的立柱。承载机构包括升降托板及叉板，升降托板两侧分别与升降链条的一端固定连接且与立柱滑动连接，以随升降链条的运动沿着立柱上升或下降；叉板具有垂直部分和水平部分，所述水平部分用于承载立式氧化炉炉体；所述垂直部分扣合于升降托板，由升降托板的运动带动上升或下降。本发明的装卸装置集炉体运输与升降功能于一体，能够方便地完成炉体的装卸动作。CN103723659ACN10372659ACN103723659A权利要求书1/2页1.一种立式氧化炉炉体的装卸装置，其特征在于，包括：主体框架，其包括两个垂直设置的立柱；运输定位机构，设于所述主体框架底部，以使所述主体框架水平移动或静止定位；驱动传动机构，设置于所述主体框架的顶部；两个升降链轮，由所述驱动传动机构驱动转动；两条升降链条，分别绕接于所述驱动链轮；以及承载机构，其包括：升降托板，其两侧分别与所述两条升降链条的一端固定连接且与所述立柱滑动连接，以随所述升降链条的运动沿着所述立柱上升或下降；以及叉板，其具有垂直部分和水平部分，所述水平部分用于承载所述立式氧化炉炉体；所述垂直部分扣合于所述升降托板，由所述升降托板的运动带动上升或下降。2.根据权利要求1所述的装卸装置，其特征在于，所述驱动传动机构包括驱动元件和传动元件，所述传动元件包括主动链轮、传动链条、传动链轮以及传动轴；所述主动链轮安装于所述驱动元件的输出轴上，通过所述传动链条与所述传动链轮连接；所述传动链轮与所述两个升降链轮同轴安装于所述传动轴上，通过所述传动轴带动所述两个升降链轮转动。3.根据权利要求2所述的装卸装置，其特征在于，所述驱动元件包括电机和减速机；所述减速机的输入端与所述电机相连，输出端上安装所述主动链轮。4.根据权利要求1所述的装卸装置，其特征在于，所述立柱具有凹槽形截面。5.根据权利要求4所述的装卸装置，其特征在于，所述升降托板两侧具有弯折部，所述弯折部上对称安装有多个导向滚轮，所述导向滚轮嵌设于所述立柱的凹槽并在其中上升或下降。6.根据权利要求4所述的装卸装置，其特征在于，还包括配重机构，其安装于所述两条升降链条的另一端。7.根据权利要求6所述的装卸装置，其特征在于，所述配重机构包括：水平连杆，其两端分别通过连接杆与所述两条升降链条的另一端固定连接；两个配重块，分别与所述水平连杆的两端固定连接。8.根据权利要求7所述的装卸装置，其特征在于，每一所述配重块上安装有两个导向轮，所述导向轮贴合于所述立柱的内外壁，并沿着贴合表面竖直运动。9.根据权利要求1所述的装卸装置，其特征在于，所述叉板的数量为大于1个且所述叉板之间的距离可调。10.根据权利要求1所述的装卸装置，其特征在于，所述运输定位机构包括使所述主体框架水平移动的脚轮以及可伸缩的支撑脚，所述支撑脚伸出时限制所述主体框架水平移动。11.根据权利要求1所述的装卸装置，其特征在于，所述主体框架为L形，其包括水平底部及两个垂直设置的所述立柱，所述水平底部位于所述叉板的水平部分的下方。12.根据权利要求11所述的装卸装置，其特征在于，所述脚轮包括前脚轮和后脚轮，所述主体框架的水平底部的前端中设有两个所述前脚轮，所述两个立柱下方靠近所述水平底部后端设有两个所述后脚轮。2CN103723659A权利要求书2/2页13.根据权利要求3所述的装卸装置，其特征在于，所述电机由交流市电供电并根据控制信号运作。3CN103723659A说明书1/4页立式氧化炉炉体半自动装卸装置技术领域[0001]本发明涉及硅片加工技术领域，特别涉及一种立式氧化炉炉体半自动装卸装置。背景技术[0002]半导体扩散设备是集成电路制造的重要工艺设备，是一种要求能长时间连续工作，具有优异的控