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一种电子陶瓷用复合承烧板及其制备方法.pdf
2023-06-16
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阳炎****找我
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一种电子陶瓷用复合承烧板及其制备方法。所述制备方法包括：（1）将氧化物粉末置于烘箱中烘干；（2）将基板固定在工作平台，将步骤（1）中烘干好的粉末置于送粉器中；（3）采用冷喷涂设备，以空气或氮气为工作气体，通过加热工作气体产生压力；（4）启动冷喷涂设备，调节送粉器送粉量，通过工作气体负载粉末，均匀送到喷枪喷嘴中，加速后撞击在基板上，形成氧化物涂层；（5）将步骤（4）所述的附有氧化物涂层的基板置于电炉中退火。该复合承烧板采用冷喷涂工艺且制备过程中后续处理温度低，使得复合承烧板制作成本低但涂层结合强度高，该复合
2023-06-16
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