一种SERS基底材料的制备方法以及SERS基底材料.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112626473A(43)申请公布日2021.04.09(21)申请号202011421075.9C23C14/02(2006.01)(22)申请日2020.12.08C23C14/16(2006.01)C23C14/18(2006.01)(71)申请人中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有C23C14/30(2006.01)限公司C23C14/58(2006.01)地址233000安徽省蚌埠市禹会区涂山路C23C16/06(2006.01)1047号C23C16/455(2006.01)申请人玻璃新材料创新中心（安徽）有限公C23C16/56(2006.01)司C23C18/42(2006.01)(72)发明人彭寿马立云张正义王田禾G01N21/65(2006.01)孙杨善杨勇冯良B82Y15/00(2011.01)(74)专利代理机构安徽省蚌埠博源专利商标事B82Y30/00(2011.01)务所(普通合伙)34113B82Y40/00(2011.01)代理人陈俊(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种SERS基底材料的制备方法以及SERS基底材料(57)摘要本发明公开一种SERS基底材料的制备方法，包括以下步骤：S1、清洗衬底，去除衬底表面的污垢；S2、采用溅射法、原子沉积法、气相沉积法、电子束蒸发法或者化学还原法，在衬底表面制备金属薄膜，金属薄膜为金、银或铜薄膜；S3、将制备有金属薄膜的衬底放入微波炉内进行微波处理，使金属薄膜转变成金属纳米颗粒，得到SERS基底材料；通过该方法能够制备出均一性好且可以重复性使用、灵敏高的SERS基底材料，方法简单，利于推广应用。CN112626473ACN112626473A权利要求书1/1页1.一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、清洗衬底，去除衬底表面的污垢；S2、采用溅射法、原子沉积法、气相沉积法、电子束蒸发法或者化学还原法，在衬底表面制备金属薄膜，金属薄膜为金、银或铜薄膜；S3、将制备有金属薄膜的衬底放入微波炉内进行微波处理，使金属薄膜转变成金属纳米颗粒，得到SERS基底材料。2.根据权利要求1所述的一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，步骤S1所述衬底采用单晶硅、玻璃、陶瓷或蓝宝石。3.根据权利要求1所述的一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，步骤S2制备得到的金属薄膜厚度为10～60nm。4.根据权利要求1所述的一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，步骤S3微波处理时，微波功率为300～1000W，微波处理时间为10～600s。5.根据权利要求1所述的一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，步骤S3金属纳米颗粒直径为30～150nm。6.根据权利要求1所述的一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，步骤S1清洗衬底依次用1M硫酸、无水乙醇和去离子水在超声清洗器中清洗30min。7.根据权利要求1所述的一种SERS基底材料的制备方法，其特征在于，步骤S1清洗衬底后，将衬底放入40～80℃的烘箱中干燥30～60min。8.一种SERS基底材料，其特征在于，所述SERS基底材料为采用权利要求1～7任一所述的制备方法制备所得。2CN112626473A说明书1/4页一种SERS基底材料的制备方法以及SERS基底材料技术领域[0001]本发明涉及SERS基底材料技术领域，具体是一种SERS基底材料的制备方法以及SERS基底材料。背景技术[0002]表面增强拉曼散射效应（SERS）自发现以后，大量的科学工作者们对拉曼技术进行了深入而广泛的研究，该技术在近十几年得到了迅猛的发展。拉曼技术已经应用于快速检测领域，由于该技术具有检测速度快、灵敏度高和可检测范围广等优点，实现了对多种微生物的原位、快速检测。该技术应用于检测的核心就是SERS基底的均一性要好和灵敏度要高，而纳米贵金属在SERS基底的制备中能够很大程度上增强拉曼散射的强度。使用SERS基底对待测物的检测可以达到微量级水平，因而该基底可以被广泛应用于SERS检测中。[0003]《一种高效表面增强拉曼散射基底的简便制备方法》（申请号201911017061.8）的专利，使用商用全息底板，对表面卤化金属涂层进行曝光、显影、定影、冲洗，制备出较强表面增强拉曼散射活性的基底；但是该方法制备过程复杂，成本较高，基底稳定性不好。《金属立方纳米颗粒‑‑聚乙烯柔性透明膜及其制备方法和用途》（申请号201610027622.2）的专利使用液相法获得金属立方纳米颗粒，再将金属立方纳米颗粒乙醇溶液和甲苯混合后超声分散，得到分散液，之后，先将分散液滴入水中，得到悬浮于