新型单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112680785A(43)申请公布日2021.04.20(21)申请号202011384456.4(22)申请日2020.11.30(71)申请人晶科能源有限公司地址334100江西省上饶市经济开发区晶科大道1号申请人浙江晶科能源有限公司(72)发明人欧子杨白枭龙张昕宇(74)专利代理机构北京汇思诚业知识产权代理有限公司11444代理人周放(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B15/02(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图7页(54)发明名称新型单晶炉(57)摘要本申请提供了一种新型单晶炉，其包括主炉室和副炉室，副炉室与主炉室连通，其中，该新型单晶炉还包括料室，料室上设置有加料口，料室通过加料口与主炉室连通。料室中设置有加料机构，加料机构可伸缩地穿设在加料口中，用于穿过加料口并向主炉室内的坩埚中加料。本申请提供的新型单晶炉，通过设置料室，实现了在旋出单晶棒的过程中进行加料操作，有效缩短了旋出单晶棒和加料操作共同消耗的时间，提升了生产效率。CN112680785ACN112680785A权利要求书1/2页1.一种新型单晶炉，包括主炉室(1)和副炉室(2)，所述副炉室(2)与所述主炉室(1)连通，其特征在于，所述新型单晶炉还包括料室(3)，所述料室(3)上设置有加料口(31)，所述料室(3)通过所述加料口(31)与所述主炉室(1)连通；所述料室(3)中设置有加料机构(32)，所述加料机构(32)可伸缩地穿设在所述加料口(31)中，用于穿过所述加料口(31)并向所述主炉室(1)内的坩埚(11)中加料。2.根据权利要求1所述的新型单晶炉，其特征在于，所述加料机构(32)包括料隧(321)和滑轨(322)，所述料隧(321)与所述滑轨(322)滑动相连，所述料隧(321)通过所述滑轨(322)可伸缩地穿设在所述加料口(31)中。3.根据权利要求2所述的新型单晶炉，其特征在于，所述料隧(321)中形成有料槽(3211)，所述料槽(3211)的截面形状为弧形或矩形。4.根据权利要求2所述的新型单晶炉，其特征在于，所述加料机构还包括保温机构，所述保温机构滑动设置在所述料隧(321)上，所述保温机构能够与所述加料口(31)密封配合。5.根据权利要求4所述的新型单晶炉，其特征在于，所述保温机构包括保温结构(4)和推杆(5)，所述推杆(5)和所述保温结构(4)可拆卸连接。6.根据权利要求5所述的新型单晶炉，其特征在于，所述保温结构(4)上设置有轴向连通的导向孔(41)和转动孔(42)，所述导向孔(41)的一侧露出所述保温结构(4)的端面，所述转动孔(42)的径向尺寸大于所述导向孔(41)的径向尺寸；所述推杆(5)的一端设置有连接部(51)，所述连接部(51)穿过所述导向孔(41)后卡接至所述转动孔(42)中。7.根据权利要求5所述的新型单晶炉，其特征在于，所述料隧(321)中形成有料槽(3211)，所述保温结构(4)与所述料槽(3211)滑动相连；所述保温结构(4)的侧壁上设置有凸台(44)，所述保温结构(4)通过所述凸台(44)搭接于所述料槽(3211)的边缘(3212)。8.根据权利要求1‑7任一项所述的新型单晶炉，其特征在于，所述主炉室(1)中固定设置有保温盒(6)和保温盖板(7)，所述保温盒(6)上设置有加料通道(61)和密封通道(62)，所述加料通道(61)与所述加料口(31)对接，所述密封通道(62)与所述加料通道(61)连通；所述保温盖板(7)上设置有密封塞(71)，所述密封塞(71)与所述密封通道(62)密封配合，用于打开或封堵所述加料通道(61)。9.根据权利要求1‑7任一项所述的新型单晶炉，其特征在于，所述主炉室(1)上在与所述加料口(31)对齐的位置处设置有隔热阀。10.根据权利要求2所述的新型单晶炉，其特征在于，所述料室(3)中还设置有震动平台(34)和震动发生器，所述震动发生器的动力端与所述震动平台(34)相连，所述震动平台(34)与所述料隧(321)相连。11.根据权利要求2所述的新型单晶炉，其特征在于，所述料室(3)中还设置有加料桶(33)，所述加料桶(33)设置在所述料隧(321)的上方，所述加料桶(33)的底部设置有出料孔(331)，所述出料孔(331)与所述料隧(321)位置相对。12.根据权利要求11所述的新型单晶炉，其特征在于，所述料室(3)设置在所述主炉室(1)的一侧，所述加料桶(33)上远离所述主炉室(1)的一侧壁面为竖直平面，且所述壁面形成所述出料孔(331)的侧壁。2CN112680785A权利要求书2/2页13.根据权利要求11所述的新型单晶炉，其特征在于，所述加料桶(33)中设置有