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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN104282602104282602A(43)申请公布日2015.01.14(21)申请号201310285189.9(22)申请日2013.07.08(71)申请人中国振华集团永光电子有限公司地址550000贵州省贵阳市新添大道北段270号(72)发明人刘俊罗开军谢静许小兵孙汉炳(74)专利代理机构云南派特律师事务所53110代理人张怡(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书3页说明书3页附图3页附图3页(54)发明名称硅片放置架(57)摘要本发明公开了一种硅片放置架,旨在提供一种硅片清洗、镀镍、光刻等各工序专用的放置架。它包括两块竖直设置且位置相对应的板块,用于固定连接板块的连接件,所述连接件和板块构成该硅片放置架的主体;其还包括竖直固定连接于硅片放置架主体上端的提手;所述板块的相对面设置有若干按一定形式排列的两两相对的竖直凹槽,该竖直凹槽的下端呈与硅片边缘形状相应的向内的圆弧,所述板块间两两相对的竖直凹槽的槽底的距离与硅片的直径相应;硅片放入竖直凹槽后,竖直凹槽下端的圆弧与硅片的边缘贴合形成支撑,且板块的下端超出硅片的边缘。本发明适用于硅片的批量加工使用。CN104282602ACN104286ACN104282602A权利要求书1/1页1.一种硅片放置架,其特征在于:包括两块竖直设置且位置相对应的板块(1),用于固定连接板块(1)的连接件(2),所述连接件(2)和板块(1)构成该硅片放置架的主体,其还包括竖直固定连接于硅片放置架主体上端的提手(3);所述板块(1)的相对面设置有若干按一定形式排列的两两相对的竖直凹槽(31),该竖直凹槽(31)的下端呈与硅片边缘形状相应的向内的圆弧(32),所述板块(1)间两两相对的竖直凹槽(31)的槽底的距离与硅片的直径相应;硅片放入竖直凹槽(31)后,竖直凹槽(31)下端的圆弧(32)与硅片的边缘贴合形成支撑,且板块(1)的下端超出硅片的边缘。2.根据权利要求1所述的硅片放置架,其特征在于:所述连接件(2)为分别固定连接板块(1)横向两端的两块侧板、两个X形的架子或两个矩形的框架。3.根据权利要求2所述的硅片放置架,其特征在于:所述侧板上开设有若干按一定形式排列的通孔。4.根据权利要求1所述的硅片放置架,其特征在于:所述连接件(2)为固定连接板块(1)底端的矩形框。5.根据权利要求1所述的硅片放置架,其特征在于:所述竖直凹槽(31)的上端设置倒角。6.根据权利要求1所述的硅片放置架,其特征在于:所述板块(1)的下端为与竖直凹槽(31)形状相应的圆弧状。7.根据权利要求1所述的硅片放置架,其特征在于:所述竖直凹槽(31)的槽底的开设有通孔(33)。8.根据权利要求1所述的硅片放置架,其特征在于:所述竖直凹槽(31)的截面为等腰梯形,等腰梯形的底边为竖直凹槽(31)的开口。9.根据权利要求1-8任一项所述的硅片放置架,其特征在于:所述连接件(2)通过卡接与板块(1)固定连接。10.根据权利要求1-8任一项所述的硅片放置架,其特征在于:所述提手(3)通过卡接与硅片放置架的主体固定连接。2CN104282602A说明书1/3页硅片放置架技术领域[0001]本发明涉及一种硅片加工工具,尤其是涉及一种硅片放置架。背景技术[0002]目前在硅片的清洗、镀镍、光刻等各工序的加工过程中,一般采用单片硅片进行夹持加工,硅片的夹持操作具有一定难度,硅片会出现脱落摔碎的情形;且单片加工方式的加工效率低下,工人重复劳动强度大,易疲劳,加工硅片的质量不稳定,劳动成本较高。发明内容[0003]本发明克服了现有技术中的缺点,提供了一种操作方便,可进行批量加工硅片的硅片放置架。[0004]为了解决上述技术问题,本发明是通过以下技术方案实现的:一种硅片放置架,包括两块竖直设置且位置相对应的板块,用于固定连接板块的连接件,所述连接件和板块构成该硅片放置架的主体;其还包括竖直固定连接于硅片放置架主体上端的提手;所述板块的相对面设置有若干按一定形式排列的两两相对的竖直凹槽,该竖直凹槽的下端呈与硅片边缘形状相应的向内的圆弧,所述板块间两两相对的竖直凹槽的槽底的距离与硅片的直径相应;硅片放入竖直凹槽后,竖直凹槽下端的圆弧与硅片的边缘贴合形成支撑,且板块的下端超出硅片的边缘。[0005]优选的是,所述连接件为分别固定连接板块横向两端的两块侧板、两个X形的架子或两个矩形的框架。[0006]优选的是,所述侧板上开设有若干按一定形式排列的通孔。[0007]优选的是,所述连接件为固定连接板块底端的底板。[0008]优选的是,所述竖直凹槽的上端设置倒角。[0009]优选的是,所述板块的下端