硅片放置架.pdf
秀华****魔王
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硅片放置架.pdf
本发明公开了一种硅片放置架,旨在提供一种硅片清洗、镀镍、光刻等各工序专用的放置架。它包括两块竖直设置且位置相对应的板块,用于固定连接板块的连接件,所述连接件和板块构成该硅片放置架的主体;其还包括竖直固定连接于硅片放置架主体上端的提手;所述板块的相对面设置有若干按一定形式排列的两两相对的竖直凹槽,该竖直凹槽的下端呈与硅片边缘形状相应的向内的圆弧,所述板块间两两相对的竖直凹槽的槽底的距离与硅片的直径相应;硅片放入竖直凹槽后,竖直凹槽下端的圆弧与硅片的边缘贴合形成支撑,且板块的下端超出硅片的边缘。本发明适用于硅
用于放置硅片的缓存装置.pdf
本发明提供了一种用于放置硅片的缓存装置,包括:安装基座活动设置在升降模组上,升降模组驱动安装基座沿升降模组的高度方向运动;多个缓存支架彼此间隔设置并形成用于放置硅片的容纳区域,各缓存支架朝向容纳区域的一侧具有定位齿结构,定位齿结构的相邻两个齿之间形成用于容置硅片的定位槽,以使多个硅片能够沿定位齿结构的延伸方向彼此独立放置在不同的定位槽内;多个缓存支架通过调节模组设置在安装基座上,且调节模组与多个缓存支架驱动连接,以使多个缓存支架彼此靠近或远离来改变容纳区域的大小,其中,多个缓存支架中至少两个缓存支架的运动
一种硅片用石英舟及硅片放置方式.pdf
本发明公开一种硅片用石英舟及硅片放置方式,石英舟包括前后相对设置的前固定板与后固定板及设在两者之间的多个上安装柱与下安装柱,上安装柱与下安装柱一一对应设置;上安装柱与下安装柱上均设有卡槽,上安装柱上的卡槽与下安装柱上的卡槽一一对应设置,且上安装柱上卡槽槽口与下安装柱上对应的卡槽的槽口相对设置,以限制放置在上安装柱与下安装柱之间的硅片向下移动;石英舟水平设置在炉管内,炉管轴心线方向与通入炉管的气体的气流方向平行,硅片所在平面与炉管的轴心线平行,或硅片所在平面与炉管的轴心线之间具有夹角。本发明提供的硅片放置方
放置架.pdf
本发明公开了一种放置架,其中,所述放置架包括支架和架设于所述支架上的放置杆(1),其中,所述支架包括多根支杆(2),所述放置杆(1)可拆卸地设置于所述支杆(2)上,所述放置杆(1)包括多根连接杆(3)和设置于相邻的连接杆(3)之间的放置辊(4),且所述连接杆(3)和所述放置辊(4)之间为可拆卸连接,所述放置辊(4)外表面上设置有多个凸起(5)。上述设计通过设置包括多根支杆的支架及架设于所述支架上的放置杆,并将放置杆可拆卸地设置于所述支杆上,同时将放置杆设置为包括多根连接杆及放置辊的结构,并设置凸起,使放置
法兰放置架.pdf
本申请公开了一种法兰放置架,包括底板以及设置在底板底部的滚轮,所述底板上竖直设有多根立柱,每根立柱包括从上往下依次可拆卸连接的多根连接柱,所述连接柱内部中空,所述连接柱底部延伸有与相邻连接柱内壁插接的延伸部,所述连接柱表面凸设有圆形的支撑台,所述底座上设有配合延伸部的插槽。该放置架通过结构调整,每个连接柱上通过支撑台支撑套设一个法兰,相邻连接柱可拆卸连接,从而使得各法兰相互独立的放置在放置架上,避免相互之间碰撞,保证法兰质量,同时可拆卸连接的方式也便于拿取。