竖式分批炉组件.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112735974A(43)申请公布日2021.04.30(21)申请号202011071398.X(22)申请日2020.10.09(30)优先权数据62/914,7122019.10.14US(71)申请人ASMIP私人控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒(72)发明人C.G.M.德里德(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人焦玉恒(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图4页(54)发明名称竖式分批炉组件(57)摘要用于处理晶片的竖式分批炉组件，其包括具有匣存储装置的匣装卸空间，以及匣装卸机构。所述匣装卸机构包括匣装卸器，所述匣装卸器被配置成通过在匣装卸臂上支撑和移动晶片匣而在匣存储位置与晶片传送位置之间传送所述晶片匣。所述匣装卸臂具有检测器以检测在检测区域中的匣。所述匣装卸器将所述检测器的所述检测区域朝向所述匣存储位置之一移动以检测是否存在匣。CN112735974ACN112735974A权利要求书1/2页1.一种用于处理晶片的竖式分批炉组件(10)，其具有匣装卸空间(12)，所述匣装卸空间被构造和布置成装卸晶片匣以用于存储晶片，所述空间包括：匣存储装置，其具有多个匣存储位置(24)且被配置成存储多个晶片匣(22)；以及匣装卸器(26)，其被配置成从匣存储位置(24)来回传送晶片匣(22)，同时将所述晶片匣支撑在匣装卸臂(34)上，其中所述匣装卸臂(34)具有检测器(35)以检测在检测区域中的匣，且所述匣装卸器被构造和布置成将所述检测器的所述检测区域朝向所述多个匣存储位置中的一个匣存储位置移动，以检测在所述一个匣存储位置处是否存在匣。2.根据权利要求1所述的竖式分批炉组件，其中所述匣装卸臂(34)具有夹持器(37)，所述夹持器被构造和布置成能在匣存储位置处的晶片匣下方在第一方向上移动，从而拾取所述匣。3.根据权利要求2所述的竖式分批炉组件，其中所述检测器(35)安装到所述夹持器，其检测区域在所述第一方向(39)上延伸。4.根据权利要求3所述的竖式分批炉组件，其中所述检测器(35)在所述第一方向上安装在所述夹持器的末端附近。5.根据权利要求2所述的竖式分批炉组件，其中所述检测器(35)安装在所述夹持器的边缘附近。6.根据权利要求5所述的竖式分批炉组件，其中所述检测器(35)被构造和布置成检测在检测区域中的所述匣，且所述检测器安装在所述夹持器的边缘附近，其中所述检测区域邻近所述夹持器。7.根据权利要求2所述的竖式分批炉组件，其中所述夹持器(37)具有三角形形状，其中所述夹持器的角中的一个在所述第一方向上延伸。8.根据权利要求1所述的竖式分批炉组件，其中所述匣装卸器(26、28)具有升降机构(36)，所述升降机构被配置成到达放置在所述匣装卸空间(12)内的不同竖直高度处的匣存储位置(24)上的晶片匣(22)。9.根据权利要求8所述的竖式分批炉组件，其中所述匣装卸器(26)的所述升降机构(36)布置在所述匣装卸空间(12)的壁(38)上或邻近所述壁布置。10.根据权利要求1所述的竖式分批炉组件，其中所述匣存储装置被配置成存储至少20个晶片匣(22)。11.根据权利要求1所述的竖式分批炉组件，其中所述匣存储装置被配置成存储至少40个晶片匣(22)。12.根据权利要求1所述的竖式分批炉组件，其中所述晶片匣(22)体现为前开式晶圆传送盒(FOUP)。13.根据权利要求1所述的竖式分批炉组件，其进一步包括至少一个匣进出口(42、44)，所述匣进出口设置在界定所述匣装卸空间(12)的壁(16、38、40、46)中，其中所述匣装卸机构(26、28)被配置成另外从所述至少一个匣进出口(42、44)来回传送晶片匣(22)。14.根据权利要求1所述的竖式分批炉组件，其具有大体上矩形的占据面积，所述大体上矩形的占据面积具有限定所述竖式分批炉组件(10)的宽度(50)的两个相对短边且具有限定所述竖式分批炉组件(10)的长度(52)的两个相对长边，其中所述竖式分批炉组件(10)的所述宽度(50)为2.2米或更小。2CN112735974A权利要求书2/2页15.根据权利要求11所述的竖式分批炉组件，其中所述竖式分批炉组件(10)的所述宽度(50)为1.7米或更小。16.根据前述权利要求中任一项所述的竖式分批炉组件，其进一步包括在至少一个晶片传送开口(18)前方的至少一个晶片传送位置(2)，所述至少一个晶片传送开口设置在界定所述匣装卸空间(12)的壁(16、38、40、46)中，其中所述匣装卸机构(26、28)被配置成另外从与所述至少一个晶片传送位置(20)相关联的至少一个匣装载/取出